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    [下载]磁控溅射靶源特性研究 [复制链接]

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    离线leilinna
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-11-20
    关键词: 磁控溅射靶源
    内容介绍:设计制作了方便实用的圆形直流平面磁控溅射靶源! 测量了铝靶面上的磁场分布"给出了靶电压和靶电流随氩气压的变化曲线! y}5:CZ  
    OoIs'S-Z#  
    与大家分享资料,愿与同路人共进步。QQ150586178
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    离线玻璃人
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-09-08
    谢谢!!
    离线fightfly
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-10-09
    多谢楼主了 ?"@`SEdnU2  
    离线zfl813
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-09-01
    我下了,谢谢!
    离线wym87
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-14
    谢谢楼主的分享!不错的资料,Thanks!