可用晶振片 6MHz \:J=tAC
频率范围 5MHz~6MHz, VBL4cU8D
频率分辨率 0.005Hz &K0b3AWc
频率稳定度 1ppm Qz[^J
膜厚分辨率 0.002A Li6|c*K'
测量更新率 10Hz xZ`z+)
材料数 112 I0zx'x)F
膜系数 20, 可自动串接 Vr},+Rj
可设定层数 112层/每膜系 !0@4*>n
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit <9,h!
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 )9`HO?
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 1@p,
探头数 1,支持六探头 B$2b=\
电源 90V~240V,AC, 20W .1[.f}g$J
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) D:Q#%wJ
控制方法 PID 32 i6j
语言 多国语言(中、英、…) ~g=&wT11
通信接口 RS232