可用晶振片 6MHz 0dQ\Y]b
频率范围 5MHz~6MHz, HYG1BfEaW
频率分辨率 0.005Hz _8ks`O#}
频率稳定度 1ppm >3*a&_cI=k
膜厚分辨率 0.002A Q+/P>5O/
测量更新率 10Hz R T~oJ~t;
材料数 112 A2p% Y},
膜系数 20, 可自动串接 kkW }:dBl
可设定层数 112层/每膜系 9-vQn/O^D
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit CMyz!jZ3
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 Q,Y^9g"B`~
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 %eh.@8GL`
探头数 1,支持六探头 B~M6l7^?
电源 90V~240V,AC, 20W M`8c|*G
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) ggrkj0
控制方法 PID cnRgzj<ek
语言 多国语言(中、英、…) a]Y9;(
通信接口 RS232