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    [求助]光驰机 只有晶控 请各位大侠帮忙解决个问题! [复制链接]

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    离线ken_jinyan1
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-11-12
    我公司新买台 光驰 GENER1300真空镀膜机,只有晶控没有配光控。问下各位这种配置最多能稳定镀多少层膜。 KT5"/fv  
    OFtAT@ =O  
    现在有个问题请教一下,电子挡板打开后,成膜速度过快,速度冲到设定值的140%,然后慢慢下降,经过30秒左右后能稳定在设定值左右。我怀疑是成膜速率的PID设定有问题,具体数为:  请各位帮忙分析下 z+J4XpX0,  
    Hsoe?kUHF  
    名称    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power <<Fk[qMA  
    MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 1HBdIWhHv.  
    AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 4/rd r80  
    H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 jq4{UW'  
    M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0
     
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    离线静而不止
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-12-12
    这种机台不要光控就可以,我们20台这种镀膜机倒是都配了光控,就没怎么用。晶振片的寿命用到5985以上就OK,如果要求比较严格,用到5990就不要用了。我们现在主要镀增透膜,8层没有问题,之前我用这种机台镀过40层的IR,分两次镀,也可以。速率的话它就有这毛病,不过好像没有你说的冲到140%的现象。你刚买的机台,它有时候还会有速率突然冲到几百,也有突然变为负数的情况,晶控的保养很重要,要避免接触不良。
    离线jiangguang
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-02-06
    你把熔料是功率降低点
    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-02-13
    造成这种情况的原因可能是 熔料最后的电流设定过高造成的。  熔料电流我都是按照老机器的程序设定的,可能存在新机器电流比较猛的原因。 crJyk#_  
    我们这台机器也是镀增透膜,最多镀9层。我们晶振片新的频率是5991左右,频率用到5980换。 CapWn~*g  
    工件盘温度设定300度,侧壁150度。镀到40-50锅的时候,有时会出现光学曲线整体左移的情况。 a9ab>2G?FR  
    内壁清洁后,故障消除。  总体感觉新机器的真空室脏的快,膜料与真空壁铝箔的吸附不牢固。
    离线苏州膜头
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-02-14
    回 ken_jinyan1 的帖子
    ken_jinyan1:造成这种情况的原因可能是 熔料最后的电流设定过高造成的。  熔料电流我都是按照老机器的程序设定的,可能存在新机器电流比较猛的原因。 #`5{?2gS9  
    我们这台机器也是镀增透膜,最多镀9层。我们晶振片新的频率是5991左右,频率用到5980换。 `1F[.DdF  
    工件盘温度设定300度,侧壁150度。镀到40 .. (2013-02-13 11:48)  =dD<[Iz6  
    Gxu&o%x [  
    左移?我这的机器,会慢慢的右移。
    离线yzhuang
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    只看该作者 5楼 发表于: 2013-02-26
    无论什么移都算正常吧,如果不移倒不正常了,机器没那么稳定,再说,材料熔化后蒸发时的高度也有可能不一样呀 /238pg~Cw5  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-03-18
    看看学学
    离线拉比熊
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-03-19
    应该不是什么问题
    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-03-21
    这两天试了不同厂家的试料。混合试料的电子枪电流差别比较大。以M2为例相差能达到 rLO1Sv  
    50mA以上。 电流不同可能还会影响充O2量。
    离线tfcalc68
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-04-11
    你膜料的蒸镀速度有点高