具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的
优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。
o(!@7Lqq h|D0z_f 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
rf.`h{!! D:"{g|nW} Fh8lmOL;? 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
",yc0 2< XJ1=m 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
,WDX( dY(;]sxFr -F@L}| 利用傅立叶模态法(FMM)优化倾斜光栅,以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差,如圆形边缘。
@n-r-Q