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具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。 W }8'Pf 5 xppKt 高效偏振无关透射光栅的分析与设计 OjFLPGRCh 4[.oPK=i {t0)
q 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元结构以获得高偏振无关的衍射效率。 Rtb7| 'm4W}F 倾斜光栅的参数优化与公差分析 }RzWJ@QD< OHeT,@(mh )we}6sE" 利用傅立叶模态法(FMM)优化倾斜光栅,以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差,如圆形边缘。 b6Wqr/
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