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    [技术]薄元近似与FMM/RCWA [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 G y[5'J`  
    gs1yWnSv5  
    用于光栅建模的TEA与FMM O[ z0+Q?6Z  
    y^H5iB[SPL  
    Milp"L?B%  
    我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 L ,R}l0kc  
    .'=S1|_(  
    闪耀光栅的傅里叶模态分析 @A6iY  
    Zd-qBOB2L  
    &S(>L[)9  
    在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 V%4P.y  
     
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