[技术]干涉光学测试 [复制链接]

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光学干涉装置广泛用于精密的表面或波前测试和细节分析，特别是菲索干涉仪作为工业上应用最广泛的表面轮廓检测技术之一，正占据着重要的地位。我们在VirtualLab Fusion中构建了一个基于斐索干涉仪的测试光学系统，使用几种类型的表面作为测试对象，并观察不同的干涉条纹。此外，还介绍了用于镜头测试的马赫-曾德尔干涉仪。 Kt&$Si  
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利用非序列场追迹技术建立了菲索干涉仪，给出了不同测试表面的干涉条纹。 %>*0.)wG  
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我们在VirtualLab Fusion中构建了马赫-曾德尔干涉仪，并演示了元件的倾斜和偏移对干涉条纹的影响