一﹑晶振片的种类 8'[7
)I=
i# / Jr=
晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前，市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。 金是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。金最适合于低应力材料，如金，银，铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品，即使频率飘移1MHz，也没有负作用。然而，金电极不易弯曲，会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。 d"mkL -
n,(sBOQ
银是接近完美的电极材料，有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而，银容易硫化，硫化后的银接触电阻高，降低晶振片上膜层的牢固性。 A`$%SVgFV^
t|\%VC
银铝合金晶振片最近推出一种新型电极材料，适合高应力膜料的镀膜监控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。这些高应力膜层，由于高张力或堆积的引力，经常会使晶振片有不稳定，高应力会使基片变形而导致跳频。 银铝合金通过塑变或流变分散应力，在张力或应力使基体变形前，银铝电极已经释放了这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间，更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si02用 银铝合金晶振片比镀金寿命长400%。 {6|G@ ""O
rU:`*b<
晶振片的电极根据其外观形状分为单锚﹑双锚﹑全双锚，目前使用较多的为双锚电极晶振片。 uBKgcpvTs
aiUY>M#|
二﹑如何选用最合适的晶振片？ #Y `~(K47
Fnv;^}\z
镀膜科技日新月异，对于镀膜工程师来说，如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考：
(N6 i4
g6
%lhEM}Sm
1）镀低应力膜料时，选择镀金晶振片 最常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu，这些膜层几乎没有应力，在室温下镀膜即可。膜层较软，易划伤，但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜，经验证明，可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。 ^zmG0EH,
(Z q/
2）使用镀银或银铝合金镀高应力膜层 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力，膜层容易从晶体基片上剥落或裂开，以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时，这些情况可以容忍，但在一些情况下，会对蒸发源的功率控制有不良作用。 G6P?2@
.V/Rfq
3）使用银铝合金晶振片镀介质光学膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性，被广泛用于光学镀膜，但这些膜料也是最难监控的，只有基底温度大于200度时，这些膜层才会与基底有非常良好的结合力，所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上，在膜层凝结过程会产生巨大的应力，容易使晶振片在1000埃以内就回失效。 这时候，选用合金晶振片将是最好的选择，将大大减少调频机会。实验室显示，使用合金晶振片监视氟化镁，有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50 度，晶振片的寿命更可以再延长一倍。 A RuA<vQ
P6`u._mX
三﹑晶振片的安装及注意事项与技巧 X/!o\yyT
F#Ryu~,"
随着镀膜规格指标的需求日益严格，单靠光控已经难以达到要求，晶振控制成为镀膜必备的辅助或控制方法﹐如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的重点。所以为了使晶振片寿命最长，下面一些方法和技巧供您参考： -HbC!w v
6r0kr bN
1. 总是用摄子来挟住晶振片的边缘，不要碰晶振片中心，因为晶振片振动的活跃中心，任何灰层，油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中浸泡1分钟左右，之后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净，同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净，组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘、纸屑等吹掉﹐晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面，去除散落的灰尘。切记不要用手指直接接触晶振片以免留下油渍。 %P/Jq#FE .
6dt] `zv/
2. 保持晶振片的清洁。不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中心位置。任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触，而且会产生应力点，从而改变晶体振动的模式。 tj Gn|+|k
CS5?Ti6
3 .晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜，如果不将其除去，由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去，之后用酒精浸泡5分钟左右，如果能用超声波振荡清洗一下，效果会更好，最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟，即可使用。 BwG fTua
qvsd5P eCO
4. 保持足够的冷却水使晶振头温度在20-50度。 如果可以将温度误差保持在1-2度范围内，效果更佳。 sN*N&XG
X1|njJGO1
四﹑晶振片使用维护 晶振片要不要换主要看下方面： drP=A~?&:
&K.d '$q
1. ACT大小，一般以大于400为标准﹔ gQg"j )
K~{$oD7!
2. Life大小，分增加与减小情况且与所镀产品有关，使用寿命是否到了，一般的使用寿命从99%左右用到90-92%就该换了； `Bp.RXsd*
5"@*?X K^
3 . Rate DEV大于10%左右就要换，蒸发速率出现明显异常，此时也该换； Ad8n<zt|
$E~`\o%Ev
4 . 表面质量，晶振片的表面明显出现膜脱落或起皮的现象也要换。 S(I{NL}= $
}Yzco 52
5. 晶振片的灵敏度随着质量的增加而降低，这样在使用石英晶体监控法（晶控法）进行镀膜控制时会导致随着晶振片的Life降低而出现镀膜曲线向长波. I\{ 1u
7
:x fPx
五、晶振片的包装、运输、储存注意事项 ~{g [<Qi
@7] yl&LZ
1．晶振片一般采用方盒（5枚/盒）和圆盒（10枚/盒）包装。 u@UMP@"#
- t'jNR'
2．包装盒为无尘防静电包装，防止静电吸附灰尘影响使用。 x b~yM%*c
) e+>w=t
3．包装盒必须采用真空包装，防止受潮。 Y0@"fU35
O)*+="Rg
4．打开包装后，尽量长时间避免暴露在空气中。银及银铝合金晶振片易硫化。 HGs $*
4#xDgxg\f
5．运输过程中，箱内海棉衬托，箱外要贴有“易碎”字样的标签，防止破损。 I<mV+ex
Q800y??&J
6．一般储存环境为：温度为22-28度；湿度为30-50%的干燥箱内。
