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关于国产光刻机的那段历史
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关于国产光刻机的那段历史
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楼主
发表于: 2021-11-30
关键词:
光刻机
1982年,中科院研制出的KHA-75-1光刻机,和当时最先进的
佳能
光刻机
相比,差距也就在四年左右。可惜后续因为没有投放到商用领域,以及科研经费的不足,为了促活经济,国内开始采购集成
电路
生产线
设备
,国产光刻机的研究,无奈进入了停滞状态。
LnBkd:>}
R (6Jvub"I
<{'':/tXI
关于KHA-75-1光刻机
JAgec` T%
科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机。
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1楼
发表于: 2021-11-30
那时候的条件就那样吧,留下的就是遗憾!
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