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    [讨论]关于国产光刻机的那段历史 [复制链接]

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    在线cyqdesign
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-30
    关键词: 光刻机
    1982年,中科院研制出的KHA-75-1光刻机,和当时最先进的佳能光刻机相比,差距也就在四年左右。可惜后续因为没有投放到商用领域,以及科研经费的不足,为了促活经济,国内开始采购集成电路生产线设备,国产光刻机的研究,无奈进入了停滞状态。 LnBkd:>}  
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    关于KHA-75-1光刻机 JAgec`T%  
    科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机。
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-11-30
    那时候的条件就那样吧,留下的就是遗憾!