2023光学培训系列·第二届微纳制造技术高级培训班

王敏锐，研究员，苏州纳米所

历任江苏省微纳制造创新中心（培育）主任，中科院苏州纳米所研究员、入选中国科学院“现有关键技术人才”。中国微米纳米技术学会理事、中国机械工程学会微纳制造分会常务委员、智能传感器创新联盟副理事长、中国半导体协会MEMS分会副秘书长。主要从事MEMS与III-V族半导体器件集成技术、微纳光学、MEMS压力芯片及器件、压电声学及特种功能材料制备等的研究。作为项目负责人，主持国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金江苏省重大成果转化项目、江苏省工业支撑重点计划项目等10多项。在微米纳米结构蓝宝石图形化衬底的低成本、大面积可控制造及其评价、大功率散热技术、热电堆芯片、MEMS压力芯片、MEMS压电器件及功能薄膜材料制备等方面取得了多项创新性的研究成果。先后成功建设完成了填补国内空白的大型微纳制造开放式共享研发平台和6英寸自动化MEMS中试平台。申请国家发明专利16项。发表学术论文20余篇，单篇最高他引100多次。

王钦华，教  授，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，教授/博导，教育部、江苏省现代光学技术重点实验室，江苏省先进光学制造技术高科技重点实验室主任。获江苏省六大人才高峰计划，江苏省333人才工程和苏州市紧缺高层次人才项目资助。1996年起的近十年时间内先后在香港大学，加拿大多伦多大学，加拿大麦吉尔大学及加拿大光子器件高科技公司等单位长期从事有关应用光学和光子技术的前沿技术研究和高科技产品研发工作。曾荣获加拿大国家科学和工程研究委员会（NSERC）的博士后基金。2006年起被苏州大学聘为特聘教授。主要研究领域为微结构光子器件，激光技术与应用及光学检测技术。主要从事微结构光学器件设计与制造，光纤元件，激光光热等方面的研究及其在光电显示、光通讯，光成像、传感和无损检测方面的应用。多年来主持承担了多项国家重大专项（课题）、863项目、国家自然科学基金以及省、市高科技计划项目。担任多家国际光学和物理杂志审稿人，国家科学技术奖、国家重大专项、自然科学基金等评审专家。  在国际会议上做邀请报告/担任分会场主席20余次。近年来共发表国际杂志论文150余篇，获美国专利授权2项，中国发明专利授权近30余项。

吴建宏，研究员，苏州大学

苏州大学光电科学与工程学院，研究员/博导。主持多项国家重大科技重大专项课题，研制米级口径光栅全息掩模，并为国家强激光系统提供大口径脉冲压缩光栅和取样光栅。建立国内唯一具有米级口径光栅掩模研制能力实验室，研制的大口径光栅已成功应用于国家重大科学装置。曾获国家科技进步二等奖，江苏省科技进步一等奖、三等奖，军队科技进步一等奖、解放军科技进步二等奖。

徐科，研究员，苏州纳米所

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿真研究所，副所长，研究员/博导，江苏省第三代半导体研究院院长。主要研究方向为氮化物半导体材料与器件，1994年以来一直从事氮化物半导体材料生长研究，近十年重点开展氮化镓、氮化铝单晶材料的生长和物性研究，研制成功2英寸GaN单晶衬底并产业化，并完成4英寸氮化镓单晶的关键技术研发，实现了中试。发表SCI论文100余篇，申请专利50余项，国际专利3项，在ICNS、IWN、APWS、ISGN等化合物半导体重要国际会议上特邀报告10余次。曾荣获2010年“求是杰出青年奖”、2011年苏州市长奖、2012年全国产学研合作创新成果奖，2013年获得国家杰出青年基金资助，2014年入选科技部中青年科技领军人才，国家自然科学基金委信息学部十二五优秀成果。曾任十二五科技部 “863”计划新材料领域专家，现任科技部战略新型电子材料专题组专家、第三代半导体专家组副组长。中国电子学会高级会员、电子材料分会副主任委员，中国光学学会光学材料委员会副主任委员。

（邀请专家名录持续更新中）

三、授课内容

本课程体系内容可分为微纳光学基础知识、微纳制造工艺、微纳器件集成三个部分，是知识体系完善的微纳前沿系统课程。

（一）微纳光学与柔性制造——陈林森，研究员，苏州大学

1. 专业特色、创新平台与团队简介

2. 光子产业发展，呼唤变革性技术

3. 微纳光子制造：基础平台与关键技术

4. 光子产业的创新案例

5. 成果转化、技术创新与前沿研究

6. 结论与展望