切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
  • ASML计划2019年出货30台EUV光刻机

    作者:佚名 来源:网络 时间:2019-01-29 22:23 阅读:509 [投稿]
    2017年出货11台,2018年出货18台,ASML计划在2019年出货30台EUV光刻机。

    2017年出货11台,2018年出货18台,ASML(阿斯麦)上周表示,计划在2019年出货30台EUV光刻机。目前,ASML占有全球光刻机市场70%的份额,远远领先尼康。更重要的是,仅荷兰ASML有能力制造和出货EUV光刻机,尼康的最高技术水平还停留在ArF氟化氩沉浸式光刻机。

    与此同时,ASML将在2019年推出产能更高的新型号Twinscan NXE: 3400C,取代现款售价1.2亿美元(约合8亿)的Twinscan NXE: 3400B。3400C的每小时晶圆雕刻能力从155片提升至170片,换装Cymer公司的340W光源。

    资料显示,截至去年7月,全球各公司、研究机构等总共仅安装了31台EUV光刻机。不过,遗憾的是,迄今,大规模使用EUV(极紫外光刻)技术的先进工艺仍未量产,三星7nm LPP理论上进度最快,但当下仅限于在S3工厂小规模投产,年底位于韩国华城、投资6万亿韩元(约合362亿元)的工厂竣工后,将是三星7nm EUV主力厂。

    另外,台积电的第二代7nm也将在非关键步骤上采用EUV技术,Intel、SK海力士也都对EUV光刻机有强烈需求。

    分享到:
    扫一扫,关注光行天下的微信订阅号!
    【温馨提示】本频道长期接受投稿,内容可以是:
    1.行业新闻、市场分析。 2.新品新技术(最新研发出来的产品技术介绍,包括产品性能参数、作用、应用领域及图片); 3.解决方案/专业论文(针对问题及需求,提出一个解决问题的执行方案); 4.技术文章、白皮书,光学软件运用技术(光电行业内技术文档);
    如果想要将你的内容出现在这里,欢迎联系我们,投稿邮箱:service@opticsky.cn
    文章点评