中科院光电所的22mn光刻机到底是个什么东西？

而中科院这个项目，走了另外一条道路。拿一块金属片和非金属片亲密接触，界面上有一些乱蹦的电子;光投影在金属上，这些电子就有序地震荡，产生波长几十纳米的电磁波，可用来光刻。这叫表面等离子体光刻。

这条道路的优势是未来的成本可以低于目前主流的技术，极限可能高于未来的主流技术，在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。

就是说，虽然目前技术还很稚嫩，但是未来一旦成就，确实有希望走出一条全新的道路，超越目前的世界先进水平，这才是这次突破的意义。

三、依然任重道远

从人类历史看，独辟蹊径，理论上优秀的技术路线很多，但是大多数最后都证明走不通而死掉了。

譬如，在汽车历史上，马自达的转子发动机曾经引发了普遍的关注，完全不一样的原理，理论上更有优势，马自达甚至造出来几辆量产车，也夺得了大赛冠军。

但是，事实证明，这种技术路线的缺陷至今难以解决，如今的世界还是往复式发动机的天下。

中科院的这次突破，只能算技术路线尝试的一小步，未来有很大的概率走不下去，所以我们目前要谨慎乐观。动不动就突破技术封锁之类的心态要不得。

脚踏实地，一个个问题去解决，也许有一天中国的芯片制造真的能弯道超车。但是现在还不是庆祝的时候。