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  • 科学家首次报道自由曲面自适应精密测试技术

    作者:佚名 来源:中科院 时间:2017-10-11 18:26 阅读:842 [投稿]
    首次报道了自由曲面自适应精密测试技术,解决了自由曲面精密加工过程中难以实时高精密测试的固有难题,创建了复杂自由曲面的适配和搜索算法,提高了精密测试效率,为建立普适性复杂自由曲面精密测试提供了新颖可行的技术途径。


    图2.检测实验现场图


    图3.变形镜产生第四项和第九项zernike面形时条纹反射系统测量结果


    图4.干涉仪条纹图(a)未迭代搜索前条纹,(b)(c)迭代搜索1、2次后的条纹,(d)搜索完成后的条纹


    图5.检测结果(a)直接采用干涉仪的面形数据,(b)DM变形补偿后的干涉仪面形数据,(c)DS检测变形镜的结果,(d)系统误差标定后的最终结果

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