光电所研制项目“大口径非球面Ronchi光栅检测仪”通过验收

近日，由光电技术研究所承担的中国科学院科研装备研制项目“大口径非球面Ronchi光栅检测仪”顺利通过中科院计划财务局组织的现场验收。验收专家组认真听取了项目负责人的研制工作报告、财务报告、测试组的测试报告和用户使用报告，现场检查了仪器运行情况，审核了相关文件档案。专家组认为，该仪器现场运行正常，功能与技术指标达到了研制任务书要求；技术资料齐全，具有可追溯性和可复制性；单位自筹经费到位，经费使用合理。验收专家组一致同意该项目通过验收。

大口径非球面RONCHI光栅检测仪

该项目首次利用Ronchi光栅检验法，采用数字图像处理技术，研制出大口径非球面Ronchi光栅检测仪，解决了大口径非球面细磨、初抛光两道工序中在线检测的技术难题，实现了较大面形误差的定量测量。该设备结构合理，测试精度高，动态范围宽，克服了其它测试设备对环境要求极为苛刻的难题。该仪器的成功研制，填补了现有不同干涉仪在细磨后、初抛光前两道工序间的测量空白。在大口径非球面光学元件的加工中，通过使用该仪器，其后期加工效率可提高50％，同时可显著降低加工过程的风险。