SMI表面检查仪

SMI表面检查仪
Optikos SMI检测仪重新定义了非接触测量的速度和精度。SMI是球面，环面，非球面的高速表面形貌检测设备。SMI用波前传感技术进行表面形貌的精确测量。非球面和环面部分不用借助参考表面就可以轻松地测出。SMI对比实际表面的返回波和理想球面的返回波，用三角函数（泽尼克多项式）表示表面偏差。
SMI占据的面积和一台电脑主机相当，可以在任何生产环境中操作，在你按下按钮后就开始测量。将待测试的物品放到指定的位置，按一下按钮，SMI会帮你完成后面的工作。

特点
● 无接触
● 一键操作
● 环面和非球面测量
● 锥形常数和波形因数
● ＜0.1um表面精度
● ＜3um半径精度
● 小于10s的周期
● 泽尼克多项式
● 占用面积小
● 标准配置可用.28和.42NA目标物

描述:SMI表面检查仪

图片:SMI表面检查仪.png