请教前辈关于修正板-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 请教前辈关于修正板 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

学习使我快乐	2017-12-10 21:07
请教前辈关于修正板制作修正板的时候得算补正幅，那么是否做出来的修正板只对应一种膜系，还是说所有膜系都可以用

rexchou	2017-12-11 13:48
理論上應該要所有膜系都適合用，但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 FC+-\|1?C G T~rr*X 我簡單說明如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 rS>.!DiYr, ,C6( 此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 +(DzE H \| 3YLK?X8 拜託回你問題就幫忙評個分吧~回得很無力(我沒光幣了)

奔跑的小骏马	2017-12-11 14:11
rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用，但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 "WY5Pzsi: 我簡單說明如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 k{!9f=^ 此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 e2%mD.I ....... (2017-12-11 13:48) I7h v'3u $2]>{g 哈哈，没光币了

奔跑的小骏马

2017-12-11 14:18

首先你要懂得，修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的，你试想以下，它就是起一个遮挡作用，如果球罩是水平的那你还需要修正不？答案肯定是不需要的，因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点，修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟工艺参数有关，即离子源功率、蒸镀材料光斑大小、电流大小。所以要想一副修正板能够用于其他的产品，那么你的膜系参数，包括光斑的、离子源的都需一致。不然你就只能一个膜系对应一套修正板。个人建议做修正板时，修正板对应不同圈的精度一定要高，不然你做不同大小镜片时特性差异也会比较大。还有什么不懂得可以多交流。

囊中蓄乾坤	2017-12-11 18:06
看看，说的对。

学习使我快乐

2017-12-11 22:43

奔跑的小骏马:首先你要懂得，修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的，你试想以下，它就是起一个遮挡作用，如果球罩是水平的那你还需要修正不？答案肯定是不需要的，因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点，修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟 .. (2017-12-11 14:18) ~USyN'5lU7

明白了明白了，就是说如果膜系工艺上的参数基本相同的话，就可以用同一个修正板。同一个膜系镀分别大小不同的镜片，用同一个修正板的话，差异是不是不大啊？因为我上班的地方就是这样做的

学习使我快乐	2017-12-11 22:43
rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用，但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 J{5p4bkb 我簡單說明如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 Lv)1 )'v0 此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 s gZlk9x!Q ....... (2017-12-11 13:48) ^FTS'/Q soLmr's

学习使我快乐

2017-12-11 22:50

rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用，但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 m|OB_[9
我簡單說明如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 (Y^tky$9
此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 |GP&!]
....... (2017-12-11 13:48) H%}/O;C

ARC是什么意思啊，mask是修正板的意思吗，
刚刚工作，小白一个，镀膜学了一个月，明天要调到另一个部门学工艺去磨镜片了

奔跑的小骏马

2017-12-12 08:06

学习使我快乐:明白了明白了，就是说如果膜系工艺上的参数基本相同的话，就可以用同一个修正板。同一个膜系镀分别大小不同的镜片，用同一个修正板的话，差异是不是不大啊？因为我上班的地方就是这样做的 (2017-12-11 22:43) OkCAvRg

你问的后一个问题，就是不同大小的镜片在其他工艺不变得时候用同一个修正板的问题，说明你还没有完全看懂我的意思。修正板是补正球罩的缺陷用的，如果你的修正板修的十分的精确（每圈的每个点都能一一对应修正）那么只要是你工艺不变、球罩不变，那这个修正板就可以通吃，做啥片子都可以。但你只要变更工艺、变更不同曲率半径的球罩，那你的修正板基本就得重新做了。

奔跑的小骏马	2017-12-12 08:10
学习使我快乐:ARC是什么意思啊，mask是修正板的意思吗， >mG64N 刚刚工作，小白一个，镀膜学了一个月，明天要调到另一个部门学工艺去磨镜片了 (2017-12-11 22:50) Q;A\M P\|]r*1^5 ARC应该是增透膜。mask就是修正板

gaofei5588	2017-12-12 16:31
IR是红外截止滤光膜. 1楼所说的IR和AR 应该是从膜层的厚度和层数来说的，，简单点理解是既然相应的MASK在镀层数较多，膜厚较大的IR时，均匀性可以的话，镀只有几层厚AR时，均匀性是没有问题的。 ,CuWQ'H .aVtd [ PL3hrI 5 ek0!~v<I

学习使我快乐

2017-12-13 17:39

奔跑的小骏马:你问的后一个问题，就是不同大小的镜片在其他工艺不变得时候用同一个修正板的问题，说明你还没有完全看懂我的意思。修正板是补正球罩的缺陷用的，如果你的修正板修的十分的精确（每圈的每个点都能一一对应修正）那么只要是你工艺不变、球罩不变，那这个修正板就可以通吃，做啥片 .. (2017-12-12 08:06) c;fLM`{*

懂了。。。。

奔跑的小骏马	2017-12-13 19:12
学习使我快乐:懂了。。。。 (2017-12-13 17:39) L-C^7[48= V<jj'dZfW 多交流，共同进步

hpkyy

2019-02-17 17:04

奔跑的小骏马:首先你要懂得，修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的，你试想以下，它就是起一个遮挡作用，如果球罩是水平的那你还需要修正不？答案肯定是不需要的，因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点，修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟 .. (2017-12-11 14:18) +u0of^}=

工件盘如果是平的，也需要用修正板

cgl155410	2019-02-18 16:19
看看，说的对。

sosjinyan	2019-04-02 12:59
你们谁的工件盘是平的？我这遇到一个，平的工件盘最外圈，修正不了。正正准备换球罩了。 /-[vC$B"

shenhan0701	2019-05-19 19:11
只要是影响膜厚分布的因素都对补正板的形状有影响 h$!YKfhq} 一般来说如果同种材料的工艺参数稳定了，只是修改膜厚的话，还是可以直接拿来用的

查看本帖完整版本: [-- 请教前辈关于修正板 --] [-- top --]