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奔跑的小骏马 2017-09-12 09:50

新镀膜机如何调试

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ N`e[:[  
求指点。 HG^'I+Yn  
ouyuu 2017-09-12 11:44
[attachment=79133][attachment=79133] 6j}9V L77  
先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 fE mr^ R  
写的比较详细了。
ouyuu 2017-09-12 12:43
另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） ^ [@ ,  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 C?eH]hkZ3  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 H4+i.*T#  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） 6=Otq=WH  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）
fly6947 2017-09-13 11:28
1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； 3^yK!-Wp(  
pEA:L$&  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； )Pv%#P-<  
EADqC>  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 0o&5 ]lEe  
=rdV ]{Wc  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； .7X^YKR  
X"%gQ.1|{j  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程
奔跑的小骏马 2017-09-14 16:59
fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； Q,Eo mt  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； gRzxLf`K  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 \w8\1~#  
....... (2017-09-13 11:28)  3OB"#Ap8<  
C,eu9wOT  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？
ouyuu 2017-09-14 22:19
折射率和吸收两个要一起用软件算的。 % ] U  
你先说说手头有什么软件？ |uJ%5y#  
每种软件的使用方法不一样。 *n!J=yS  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 _yT Ed"$  
B)UZ`?>c  
vih9 KBT  
fly6947 2017-09-15 08:00
楼上大神说得对，
奔跑的小骏马 2017-09-16 17:14
ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 2t,zLwBdnJ  
你先说说手头有什么软件？ *z2s$EZ  
每种软件的使用方法不一样。 LH6 vLuf  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 ~QVH<`sn  
....... (2017-09-14 22:19)  T^q 0'#/  
:E?V.  
麦克劳德、TFC都有
ouyuu 2017-09-16 20:52
[attachment=79253] 048kPXm`  
我居然以前还翻译过这个资料…… A2Tw<&Tw(  
wyG;8I  
一般我的资料都是免费提供。 ,+ ~W4<f  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 !!y a  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。 =R\]=cRbg  
DTs;{c  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 0CvUc>Pj`"  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 i6N',&jFU  
tMe~vq[  
GKCroyor  
. ]M"# \  
futurebright 2017-09-21 11:16
很好的学习资料 .p$(ZH =~  
囊中蓄乾坤 2017-10-23 01:20
TFC就能搞定，MAC算了几次，只有一次算对了，好像方法没有用对。
囊中蓄乾坤 2017-10-23 01:22
ouyuu:[图片] 07$o;W@  
我居然以前还翻译过这个资料…… |)G<,FJQE_  
一般我的资料都是免费提供。 RrgGEx  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 l@:0e]8|o  
....... (2017-09-16 20:52)  9g?(BI^z  
6aV_@no.C  
谢谢分享，这样我应该就不会算错了。
sima 2017-12-08 11:25
真心好贴
奔跑的小骏马 2017-12-12 08:12
sima:真心好贴 (2017-12-08 11:25)  NN`uI6=  
Tu7QCr5*  
多交流，要多进一些问题我们共同探讨这样才能进步
yzhuang 2017-12-31 13:38
8楼是个高人，佩服！
17873333033 2020-04-02 11:53
感谢分享资料，谢谢大佬 _ORvo{[:  
18319405642 2021-05-02 09:05
正在学习光学镀膜
caorenlau 2021-05-24 09:38
谢谢分享！
holdlove1314 2021-05-31 10:46
很好的学习资料
tony肖 2021-06-29 14:14
很好的知了，，
李胡八一 2022-01-20 00:51
膜拜大佬学习学习
xiezhizhi 2022-04-01 19:45
感谢分享，
cr6808739 2022-05-11 14:09
很好的学习资料
eamery 2024-11-08 20:34
感谢感谢
脩涂 2024-11-11 20:50
很感谢分享，感谢感谢
yp99 2025-01-05 19:14
感谢，很有用的帖子！！
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