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奔跑的小骏马 2017-09-12 09:50

新镀膜机如何调试

一台新的镀膜机,在不知道折射率,没有补正板,不知道均匀性等的情况下,应该如何进行调试啊?步骤我知道,但是就是不知道具体该如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三钛为例,在没有具体的折射率情况下,用多大的折射率去做单层,单层的厚度设计多少,做出来后怎样进行修正计算实际的折射率,具体的教程谁有啊?另外知道折射率了,在做均匀性时,修正板要如何修剪? `F,*NESv  
求指点。 wxW\L!@  
ouyuu 2017-09-12 11:44
[attachment=79133][attachment=79133] ;%V)lP"o  
先看一下附件,新柯隆的补正板做成资料。 sF!nSr  
写的比较详细了。
ouyuu 2017-09-12 12:43
另外,要做单层时,先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用,里面有多少材料库,不够的话去查一下自己做材料。(推荐麦克劳德,当然TFC也可以) xwe^_7  
一般单层厚度在测量范围内3~5个PEAK(用光学软件模拟一下就可以知道)。 :J~sz)n4  
SiO2一般折射率变化不会太大,所以直接用光学软件的折射率也可以。  M_ii  
(还有就是有些分光仪分辨率不高,做出来的SiO2曲线毛刺很多,反倒不如软件里的折射率准确) a%NSL6  
做的话多用几个坩埚,一个坩埚做很厚的膜层不好(打坑深了分布变了修正板就不准了)
fly6947 2017-09-13 11:28
1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; W,-fnJk  
:+Okv$v4  
2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; xu(N'l.7&  
kY.3x# w  
3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 e>~7RN  
"&{sE RYY  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling; @q<F_'7is  
n04lTME  
5.验证膜层的光学及非光学性能;有异常者重新修改参数并重复2-4过程
奔跑的小骏马 2017-09-14 16:59
fly6947:1.设定初参数:温度、真空、充氧、离子源、速率,这个可以参考或询问; +#=l{_Z,ZJ  
2.镀单层膜  基板选择圆平片,一班镀3-5个极值; ZCuLgCP?Z  
3.修均匀性和计算折射率同步进行;高低材料均匀性交替修 {-Q=YDR  
....... (2017-09-13 11:28)  2uy<wJE >  
REc+@;B  
谢谢。不过说的流程我大概知道,就是不会具体的操作,比如我设计了单层,也镀了;出来特性也测了,如何计算折射率?
ouyuu 2017-09-14 22:19
折射率和吸收两个要一起用软件算的。 3,[#%}1(S  
你先说说手头有什么软件? <V_P)b8$1  
每种软件的使用方法不一样。 R!2oj_  
如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 &m8Z3+Ea  
at5>h   
+:jx{*}jo  
fly6947 2017-09-15 08:00
楼上大神说得对,
奔跑的小骏马 2017-09-16 17:14
ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 + 2?=W1`  
你先说说手头有什么软件? A$ Tp0v`t  
每种软件的使用方法不一样。 BfUM+RC%5  
如果你只要结果的话,直接把特性CSV文件压缩发上来,有空帮你算。 M`u&-6  
....... (2017-09-14 22:19)  #ssSs]zl  
>xB[k-C4  
麦克劳德、TFC都有
ouyuu 2017-09-16 20:52
[attachment=79253] 3I):W9$Qp  
我居然以前还翻译过这个资料…… {$H-7-O$  
& c V$`L  
一般我的资料都是免费提供。 M|DVFC  
但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 (Xv' Te?  
其实你网上找一下应该是有资料的,麦克劳德的资料百度上还挺多的。 {2,vxGi  
.,+TpP kc  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书,大概400元吧。 K}e:zR;;^  
这样做事方便很多,公司出钱应该没有问题吧。 05PRlz *x=  
|0N6]%r  
AAW])c`.  
'h.:-1# L  
futurebright 2017-09-21 11:16
很好的学习资料 sDXD>upO  
囊中蓄乾坤 2017-10-23 01:20
TFC就能搞定,MAC算了几次,只有一次算对了,好像方法没有用对。
囊中蓄乾坤 2017-10-23 01:22
ouyuu:[图片] *YO^+]nmY  
我居然以前还翻译过这个资料…… m- u0U  
一般我的资料都是免费提供。 (J 1:J  
但是这次付出的时间比较多,所以出售5个币。 YG_|L[/#  
....... (2017-09-16 20:52)  vN9R. R  
G$mAyK:  
谢谢分享,这样我应该就不会算错了。
sima 2017-12-08 11:25
真心好贴
奔跑的小骏马 2017-12-12 08:12
sima:真心好贴 (2017-12-08 11:25)  +L|x^ B3  
H <9_BA?  
多交流,要多进一些问题我们共同探讨这样才能进步
yzhuang 2017-12-31 13:38
8楼是个高人,佩服!
17873333033 2020-04-02 11:53
感谢分享资料,谢谢大佬 3 <)+)n  
18319405642 2021-05-02 09:05
正在学习光学镀膜
caorenlau 2021-05-24 09:38
谢谢分享!
holdlove1314 2021-05-31 10:46
很好的学习资料
tony肖 2021-06-29 14:14
很好的知了,,
李胡八一 2022-01-20 00:51
膜拜大佬学习学习
xiezhizhi 2022-04-01 19:45
感谢分享,
cr6808739 2022-05-11 14:09
很好的学习资料
eamery 2024-11-08 20:34
感谢感谢
脩涂 2024-11-11 20:50
很感谢分享,感谢感谢
yp99 2025-01-05 19:14
感谢,很有用的帖子!!
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