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05俊	2017-06-13 09:08
玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点的均匀的灰点玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点均匀分布的灰点，不同材质的玻璃镀出来严重程度不一样。求大神分析原因

756340418	2017-06-13 09:11
是白色灰点吗，可能离子源和中和器有问题了，需要保养了

hit2011	2017-06-13 09:22
玻璃和膜层上都可能产生吧

05俊	2017-06-13 09:31
756340418:是白色灰点吗，可能离子源和中和器有问题了，需要保养了 (2017-06-13 09:11) P8h\|2,c% >)NS U 类似麻点，我用的是电子枪不是离子源

05俊	2017-06-13 09:32
hit2011:玻璃和膜层上都可能产生吧 (2017-06-13 09:22) uJ0'`Q?6R9 HEc.3 膜层有关，怎么说

ysc212	2017-06-20 09:38
主要问题：1.机器内部脏；2 材料预熔不充分；3 膜料不纯 WPpO(@sn

iuggtg	2017-06-20 21:52
排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料.

05俊	2017-06-22 20:02
iuggtg:排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料. (2017-06-20 21:52) z'1%%.r;FM / bH2Z 同一罩出来有些镜片不会而有些镜片就会，这又是为什么，会和玻璃本身的吸附能力有关呢？

奔跑的小骏马

2017-07-22 09:55

首先要看基片表面是否干净，如果干净的话就要从机台方面去考虑了；电子枪灯丝是否使用时间过久，材料预融的程度是否充分，机台内部是否有零部件掉膜，这些都会影响成膜的外观。这一部分检查完后，看看工艺了，充氧的气体纯度够不，电子枪预蒸镀参数设置是否合理，一般要求电流缓慢爬升，光斑慢慢减小。

田彪	2017-08-18 22:26
我们这边镀ar膜也出现了，在灯光下看是一种反光的0.1mm～0.5mm的亮点

ouyuu

2017-08-20 11:52

第一要确认麻点是在膜层下，膜层中，还是膜层上。
是镀膜前就有的，还是镀膜中飞上去的，还是镀膜后粘上去的。
试着擦一下，能擦掉的是镀膜后粘上去的。
然后剥一下，看看剥下来还有没有剩下膜层。有剩下的就是镀膜中飞上去的。

镀膜前发生的，解决方法有：
彻底打扫机器，或者贴铝箔（每罩之间或者两三罩更换一下铝箔）
粗抽前的慢粗抽时间延长（一开始安全起见，抽到1000Pa后再打开主粗抽阀），慢粗抽阀开度调低。
玻璃镀膜前放置区用离子风去除静电。玻璃镀膜前检查有无斑点。

镀膜时发生的，检查一下膜料有无飞溅，
如果有，需要改善熔料，降低镀膜速率，或者改用其他厂家的膜料。
电子枪是什么牌子的，二次电子是否有影响（二次电子射击到玻璃上，会产生静电导致玻璃吸附小颗粒）

镀膜后自己擦一下了。有需要的话延长慢泄气时间，减小慢泄气阀的开度。

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