請問關於MGF2之異常現象

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面

若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成

不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎??

希望有人可以告訴我，或者提供意見交流

P.S.

AR與MGF2皆為EB製程

膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M

起鍍真空為5E-4pa

yangyangyang	2016-05-05 22:58
从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

rexchou

2016-05-09 17:50

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58) j:e^7|.

我用的材料為石英

您說的沒錯

最外層材料換成SiO2此問題就無此現象

已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

rexchou

2016-05-09 17:51

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58) N-2([v

我用的材料為石英

您說的沒錯

最外層材料換成SiO2此問題就無此現象

已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

jakzhou	2016-05-24 17:40
好东西

jakzhou	2016-05-27 11:11
什么呀

贾松山	2016-05-27 12:51
氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

jakzhou	2016-06-02 09:54
ipnuk 泥浆中

长江	2016-07-28 21:15
是个好方法

囊中蓄乾坤	2017-04-07 12:21
好东西，学习了

奔跑的小骏马	2017-07-22 10:33
学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

爱哭的云彩	2017-08-29 22:54
jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40) 'b^l'KN:S (}Sr08m 学的很好

爱哭的云彩	2017-08-29 22:55
rexchou:我用的材料為石英 p3c"ZPO~z 您說的沒錯 !aPD}xCH# ....... (2016-05-09 17:51) g5+7p@'fV 3JO]f5 谢谢专家门的意见

爱哭的云彩	2017-08-29 22:55
yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58) yVX8e I GIyF81KR 3 原来是这样的

爱哭的云彩	2017-08-29 22:55
贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51) rG}\Zjn{ 8CbXMT 还可以这样玩

lgc1316	2020-09-28 13:28
MgF2 放最外層的在相同AR總層數下可以得到更低的模擬結果；你可以試試看做鍍率實驗應該可以得到正解或是試著從新優化降低mgf2厚度

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