VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) -0<ZN(?|
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 wcGv#J],
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1. 描述 d cfwUjp[
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m",G;V N
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bl\;*. s'
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :0Fc E,1
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2. 系统 =FfR?6 ~
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd }Ggn2 X
3. 透镜系统组件编辑 l`a_0
[attachment=67680] olK*uD'`
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 !(y(6u#
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 f yxc4-D
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 }sp?@C,Z
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n%! 50E6*:
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4. 光线追迹系统分析器-选项 >2NsBS(
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[attachment=67681]
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ::@ JL
■ 可以选择选取光线的方法： qJR8fQ
— 在x-y-网格 Sc RK1
— 六边形 8yM8O
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— 自由选取 bG+Gg*0p
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 {ea*dX872:
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5. 系统的3维视图 zR?1iV.]
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[attachment=67682] /mwDVP<z /
6. 其他系统参数 u(JuU/U
■ 系统由单色平面波照明 |C>\k u*
■ 照明波长266.08nm 2hTsjJ!'
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： <80M$a
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— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^c| 0?EH
— 一个虚拟屏位于焦平面 l ! ZzJ&
— 光束尺寸探测器置于焦平面 |V^f}5g d
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 J~ wu* x
&+G bklUB~
7. 光线追迹系统分析器的结果 FV%|*JW[;N
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 ,,-j5Y
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） @==
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w<Iq:3
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[attachment=67685] NU[Wj uLG
■ VirtualLab可用于计算点列图。 2t7=GA+j
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~ }Z {hs)
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {7K l #b
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] 2-^ ['R
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9. 焦平面上的结果 LtNspFoLb
[attachment=67687] lT'V=,Y
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5'EoB^`8N~
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 CC]q\%y-_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm uFaT~ 4
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 l!IN #|{(
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 \]Rmq_O
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10. 总结 =E&1e;_xlE
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 A \Z _br
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 &]c7<=`K"
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 SnoEi~Da
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 8,:lw3x1
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（来源：讯技光电）
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