VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) R _WP r[P
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ;Bk?,g
V &U1WV/
1. 描述 >NWrT^rk
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l d8 E!t[
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }{Ab:+aNd
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 095:"GvO
K,{P
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2. 系统 +G';no\h
c RPW
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd MaDdiyeC
3. 透镜系统组件编辑 &<}vs`W
[attachment=67680] K' xN>qc
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 w Q
/IT}-
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 n,hl6[O L7
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 InnjZ>$
■ 包括序列光学表面和光学介质。 k%|7H,7
TbqH-R3W
4. 光线追迹系统分析器-选项 |
+osEHC
!"~x.LX \
[attachment=67681] u;f${Wn'3
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?. t naE
■ 可以选择选取光线的方法： e 4-
— 在x-y-网格 tHAr9
— 六边形 Bw
_^"e8X
— 自由选取 l"70|~
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 $+CKy>
~d] X@(G&
5. 系统的3维视图 {cmY`to
S B2R
[attachment=67682] Ws%@SK
6. 其他系统参数 DX>Yf}
■ 系统由单色平面波照明 `@%hz%8 Y
■ 照明波长266.08nm 84g$V}mp
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： a"7zz]XO2
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ctI =|K
— 一个虚拟屏位于焦平面 O# n<`;W
— 光束尺寸探测器置于焦平面 jeb ]3i=pw
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 NW nUXR
{k
BHZ$/
7. 光线追迹系统分析器的结果 D6X0(pU0
F/gA[Y|,gI
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 8t)5b.PS
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） n~ w.\939@
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 og0su
Nfv.v1Tt+
[attachment=67685] u!4i+7}
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /e|vz^#+1,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CK[w0VCT
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [;6,lI}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] \! `k:lusa
1eod;^AP9
9. 焦平面上的结果 4FwtC"G3
[attachment=67687] i2 bkgyzB.
]#$l"ss,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KZ eaM
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 vs=8x\W
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iO$Z?Dyg9
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 |q+3X)Y
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 tW$Di*h
{X r|L
10. 总结
Dk ^,iY(u
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =74yhPAW
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 J}zN] |bz
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LIah'6q R
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Y8i'=Po%,
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（来源：讯技光电）
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