VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) uBe1{Z
wEImpsC`
关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 _(<D*V[
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1. 描述 %)K)h&m
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Dx-G0 KIG
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mfNYN4Um6
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (y xrK
EFg s}BV_9
2. 系统 6jIW)C
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd kM`!'0 kt
3. 透镜系统组件编辑
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[attachment=67680] ?OU+)kgzh
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 I=,u7w`m
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 fJ?$Z|
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 &x(^=sTHI
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Z-!W#
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4. 光线追迹系统分析器-选项 7Lr}Y/1=
I o z
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[attachment=67681] o9:GKc
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xCd9b:jG
■ 可以选择选取光线的方法： +C{ %pF
— 在x-y-网格 l|[8'*]r!
— 六边形 #egP*{F
— 自由选取 c !ybz{L
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 J @{yWgLg
^%v<I"<Uq5
5. 系统的3维视图 3huT T"G
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[attachment=67682] J jCzCA:K_
6. 其他系统参数 HgwL~vG
■ 系统由单色平面波照明 G B+U>nf
■ 照明波长266.08nm uW&P1 'X
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： } 3 1z
35
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~6 7L
— 一个虚拟屏位于焦平面 KB,!s7A
— 光束尺寸探测器置于焦平面 |4i,Vkfhe
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :v k+[PzJ
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7. 光线追迹系统分析器的结果 wR;_x x
Kt%` ]Wp
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 *R*Tmo"
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） Te"<.0~1
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3ySP *J5
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[attachment=67685] 7oPBe1P,K+
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ?o h3t
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A$RN7#
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q:]F* p2
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] = >6Z"L D(
]? L?q2>&
9. 焦平面上的结果 xA nAW
[attachment=67687] BCya5!uy
5Mb1 ==/R
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '3wte9E/
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
3\FiQ/?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ?-O(EY1E
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ZYBNS~Q
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 j0sR]i
KM|[:v
10. 总结 {M]m cRB(
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 C ,Je >G
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 -aGv#!aIl
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MB\vgKY
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 -5A@F Gh
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（来源：讯技光电）
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