VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) {_*$X
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 d9uT*5f
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1. 描述 AZjj71UE
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 cK+y3`.0
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1`8(O >5
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 KdTna6nY
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2. 系统 +S>}<OE
}x}JzA +2
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd mdD9Q
N01
3. 透镜系统组件编辑 @IwVR
[attachment=67680] 4 '-GcH
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 zE<G wVI~
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 |MXv
w6P
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 PyfOBse}r
■ 包括序列光学表面和光学介质。 C:d$
;P4tqY@
4. 光线追迹系统分析器-选项 A4uDuB;;ZQ
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[attachment=67681] 8q& *tpE
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :,(ZMx\
■ 可以选择选取光线的方法： ec` $2 u
— 在x-y-网格 ew cgg
— 六边形 V2?&3Z) W
— 自由选取 "ZyWU f
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ]tVXao
NQ(}rr'.
5. 系统的3维视图 j?n:"@!G/
R9z^=QKcH
[attachment=67682] (e;9 ,~u)
6. 其他系统参数 a,N?Gx K~
■ 系统由单色平面波照明 |.Pl[y
■ 照明波长266.08nm 2 <@27 C5
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： .%4{zaB
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?I`ru:iG
— 一个虚拟屏位于焦平面 8oj-5|ct
— 光束尺寸探测器置于焦平面 z3[0BWXs
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :i6k6=
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7. 光线追迹系统分析器的结果 5CsJghTw
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 z!I(B^)BkT
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） L){rv)?="
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l AwOp
oGLSk (T&I
[attachment=67685] 9)qjW &`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 \k|ZbCWg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &,Xs=Lv mq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .baS
mfc
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] GBZx@B[TY
WM}bM] oe
9. 焦平面上的结果 tU%-tlU9?
[attachment=67687] w^&TG3m1~
hsQrHs'k
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9J?G"JV?
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 {Z_Pry$6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm D>O{>;y[
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ;6} *0V_!k
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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7 '@l?u/6
10. 总结 d*lnXzQor
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 m GWT</=[$
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 e.0vh?{\
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,diV;d
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 rY>{L6d
F~ n}Ep~1
（来源：讯技光电）
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