VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) a5`9mR)Y$'
ExOSHKU,e
关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 )@ .0ai
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1. 描述 {'?PGk%v
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]4 \6_J&
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "Z-Y Z>2
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @<
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2. 系统 P@P e5H"o
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 0A75)T=l Q
3. 透镜系统组件编辑 e~6>8YO+7j
[attachment=67680] lO1]P&@
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 O<?.iF%
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 rGQ([e
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 StLbX?d 6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 jh ka ;m
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4. 光线追迹系统分析器-选项 G8b`>@rZ
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[attachment=67681] v
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *i,A(f'e4X
■ 可以选择选取光线的方法： t8 ~isuiK
— 在x-y-网格 *adwCiB
— 六边形 {_jbFJ
— 自由选取 eqU y>
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 LH q~`
XK@Ct eP"
5. 系统的3维视图 G=KXA'R)1.
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[attachment=67682] CYhSCT! -?
6. 其他系统参数 >\s+A2P
■ 系统由单色平面波照明 x\Kt}/9 7e
■ 照明波长266.08nm mf gUf
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： kcl Z+E
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 'RIx}vPf
— 一个虚拟屏位于焦平面 -EWC3,3
— 光束尺寸探测器置于焦平面 %/%T R@/
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !=v d:,
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8P\Rl
7. 光线追迹系统分析器的结果 F@-8J?Hl:
W@vCMy!
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 ])Z p|?Y
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） }^*m0`H
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A 1aN<!ehB
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[attachment=67685] Tl-Ix&37
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7k#0EhN 1>
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Xcc i)",!
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VP6_}9:9
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] hJ*#t<.<P;
P,K^ oz}
9. 焦平面上的结果 $gaGaB
[attachment=67687] 7_ 5-gt D
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m=D9V-P
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 8} |!p>
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iY3TB|tMt
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 zkHyx[L
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 <-=g)3_
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10. 总结 'M% uw85
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 g"X!&$ &
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Q6%Pp_$k
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _5v]69C#
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 vH>s2\V"
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（来源：讯技光电）
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