VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) J]}FC{CD!
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ohrw\<xsu
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1. 描述 -B1YZ/.rz"
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4!l
sk:R
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 e(yQKwVD
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 5M%,N-P ^
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2. 系统 fokwW}>B[f
! FNf>z+
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd +w"_$Tj@;
3. 透镜系统组件编辑 aSOU#Csx
[attachment=67680] c 9rVgLqn!
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 h|bqyu
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 cYGRy,'gH
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 8HMo.*Ti9
■ 包括序列光学表面和光学介质。 N-[n \}'
- $U@By<SJ
4. 光线追迹系统分析器-选项 )ll?-FZ
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[attachment=67681] v&xKi>A il
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NQ? x8h3
■ 可以选择选取光线的方法： NuU'0_")/
— 在x-y-网格 (NX )o P
— 六边形 R0% ?:!
F
— 自由选取 Oqpp= 7
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 >DL/ . .
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5. 系统的3维视图 A j, ]n>{
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[attachment=67682] \}D pb%^\
6. 其他系统参数 < CDA"
■ 系统由单色平面波照明 p ZtgIS(3
■ 照明波长266.08nm OCCEL9d
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： v"rl5x
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3[VWTq)D=
— 一个虚拟屏位于焦平面 =f>HiF
— 光束尺寸探测器置于焦平面 @7-= zt+f
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $,TGP+vH
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7. 光线追迹系统分析器的结果 ?cJY
B)
Q:mZ" i5
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 MEEAQd<*
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） <P1rq M9^
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?0{yq>fTu
R2l[Q){!
[attachment=67685] GR<c =
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qm<
g b+
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NCi>S%pD`<
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~ FGe ~
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] E/ijvuO
22 >;vM."
9. 焦平面上的结果 !i^]UN
[attachment=67687] 3YW=||;|Yg
BEWro|]cM
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [ByQ;s5tY
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 3qtr9NI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \^&
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 $Z ]z
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 lyyX<=E{)
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10. 总结 #zt*xS[{0
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Q[uAIyv0
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 =h |ww QE
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M LV :U
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 # ORO&78
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（来源：讯技光电）
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