VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) ~B' K_#
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 Ig-9Y;hdmn
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1. 描述 lUJ/ nG0l
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [k ZvBd
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4=9To|U*
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ):
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2. 系统 cE
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Dt0S"`^=k
3. 透镜系统组件编辑 7?:7}xb-
[attachment=67680] )@DH&
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 c{Nk"gEfRA
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 0(iTnzx0
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 TL ;2,@H`
■ 包括序列光学表面和光学介质。 X3NHQMI
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4. 光线追迹系统分析器-选项 ZRf-V9
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[attachment=67681] zRbooo{N
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !j#Z48=&
■ 可以选择选取光线的方法： B @H.O!
— 在x-y-网格 >:%i,K*AM
— 六边形 ]&`_5pS
— 自由选取 j(F&*aH78
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 9 ->E$W
`VCU`Y
5. 系统的3维视图 W Hk/Rg%<
]X?~Cz/wl
[attachment=67682] J?&lpsB3_l
6. 其他系统参数 L']EYK5
■ 系统由单色平面波照明 7^P!@o$v!
■ 照明波长266.08nm zA=gDuy3@
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： }A3(g$8KR
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 =|O`al
— 一个虚拟屏位于焦平面 n|dLK.Q
— 光束尺寸探测器置于焦平面 M)C. b o{p
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F /sXr(7
-K hXb
7. 光线追迹系统分析器的结果 i% 19|an
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 2qLRcA=R
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） tz \7,yGT
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4SIi<cS0
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[attachment=67685] Y4e64`V)
■ VirtualLab可用于计算点列图。 t<mT=(zt*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -fFM-gt^t
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 S'#KP zy.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] i$gm/ZO
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9. 焦平面上的结果 xZZW*d_b
[attachment=67687] `VX]vumG
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -Zc
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■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 z6 2gF|Uj
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]BGWJ A5
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 6C@,&2<yK
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 * ci,;-*C
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10. 总结 fx(^} e
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S e7NF@>9_
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ,Q! sns[T
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RO?5WJpPj
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ImO\X`{
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（来源：讯技光电）
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