PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！

现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。
求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！

[attachment=64610]

[attachment=64611]

yzhuang	2015-08-19 14:06
不用离子源吗？用了离子源后50度咋可能控制在50度？除非设置离子源的功率特小，要不离子源的温升效果也很明显呀

即兴以来	2015-08-19 14:48
离子源的功率较低，所以整个镀膜过程中温升不明显。

dumoty	2015-08-21 13:20
镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。

woshiyiyun	2015-08-30 17:46
膜层与基底结合力不够

即兴以来	2015-09-06 20:42
dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20) Jm#p!G+ Vo+.s#wN`h 请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ /]_\|uN)Q 谢谢！

即兴以来	2015-09-06 20:43
woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46) gzn:]Y^ m;\nMdn 是的，附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力，不知您有没有好的建议？ WW{_D 谢谢！

即兴以来	2015-09-06 20:44
dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20) "_\"S ][tR=Y#&y5 退火处理？因为PMMA基板不耐高温，退货处理意义不大吧？ gC(S(osF 有点儿不太明白，能否详细说一下？ dm[cl~[ Q 谢谢！

dumoty	2015-09-07 00:41
应该不可以用酒精擦吧？ .Z'NH wCy 超声波清洗，走中性或碱性洗剂。 tc[Ld# 用60-70度恒温箱退火，去硬力很必要的步骤。

西北风	2015-09-17 15:47
现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589

波哥	2015-11-07 16:15
回火处理。

jackiamine	2016-09-26 22:56
学习了

joss_lee	2016-10-20 15:53
虚心学习

韦方龙	2016-10-24 00:58
楼上都是大神，学习了

121331768	2017-03-08 13:38
学习了。

jakzhou	2017-04-06 04:32
为什么要退火

囊中蓄乾坤	2017-04-07 11:50
应该加温就行了。

囊中蓄乾坤	2017-05-04 01:06
加点温度试试不要太高

lzh123	2017-07-08 18:12
就是膜应力问题，

斯文未遂	2017-07-21 11:52
为什么要用胶带拉呢，上次镀的反射膜就被我用胶带粘完了

1592203609	2018-07-02 22:09
西北风:现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589 (2015-09-17 15:47) Zl&ED{k< r2+ZxMo\| 能分享一下如何解决的吗？

xtzxwwb	2018-07-14 11:52
即兴以来:请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ :TP4f ?FA 谢谢！ (2015-09-06 20:42) $eT[`r !9HWx_,\|Z 用酒精就大错特错了，如果镀膜后也用酒精擦拭，再好的附着力都会脱膜，膜裂

凯歌一万年	2022-03-25 13:40
这个要用硅铝混合物和五氧化三钛

蚂蚁啃大象	2022-05-11 09:24
PMMA基板加硬处理，再镀膜

sgsmta	2022-06-09 13:32
改用耐温的PMMA吗？ "{E%Y*

f4213705	2022-06-10 15:21
的，附着力不行

菲涅尔	2024-02-06 10:18
膜层与基底结合力不够

renlgj	2024-08-22 17:37
感觉应该是膜层与基底亲和度问题

查看本帖完整版本: [-- PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ --] [-- top --]