在线研讨会：使用创新等离子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底（PSS）
牛津仪器——使用创新等离子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS) RU_L<Lpi
公司介绍 optBA3@e!
牛津仪器为客户提供灵活，可配置的加工工具，以及针对精确，可控和可重复蚀刻，沉积，微米-纳米结构生长的前沿工艺。 5P ke8K
牛津仪器的刻蚀、沉积和生长系统可以为材料的微米、纳米级工程提供工艺方法，可以应用于半导体、光电子、MEMS和微流体、高质量光学涂层及其他多种微纳技术领域。 p@I9< ^"
这些解决方案是基于如下核心技术： A,XfD} +:Z
- 等离子体刻蚀和沉积 |B[ eJq
- 原子层沉积(ALD) xFb3O|TC
- 离子束蚀刻&沉积 % e=!nRc
- 深硅刻蚀系统 |*\C{b
- 磁控溅射 x)viY5vjH
产品范围包括单机研发系统、批处理设备直到具备大规模生产能力的片盒到片盒设备。 =ApY 9`
研讨会主题：使用创新等离子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS) S/Oxr%H
举办时间：2015年6月4日 下午15:00-16:00 ZBM!MSf:
举行公司：牛津仪器 3%
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研讨会简介： <Dm Tj$
LED行业对提高经营成本的积极性推动了牛津仪器的离子技术创新。经过优化的离子体工序为提高器件产量和降低制造成本提供许多途径，达到一石二鸟的效果。LED制造商需要关键的离子体蚀刻步骤(图案化蓝宝石衬底(PSS)和GaN刻蚀)和沉积步骤进行钝化，电流阻挡以及掩模制作。这些都是通过各种技术，例如等离子体增强化学沉积(PECVD)来进行。本次研讨会阐述了通过提高加工率以及同时增加处理晶片的数量的方法，以提高这些工序的生产效率。 S+T|a:]\7
研讨会议程： <GZhH:
1. 5分钟介绍 - OFweek主持人; (F&YdWe:
2. 演讲1： 20分钟 – Dr Mark Dineen《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(英文版本); |63Y
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3. 演讲2：20分钟 – Dr Young Huang《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(中文版本); Lb~\Y n'z
4. 问答环节 - 20分钟。 eyB_l.U7
参会有礼 =vEkMJ Os
在线提问互动有机会赢得牛津仪器提供的奖品：无线鼠标2个、U盘10个! 3,$iG e
报名链接：http://t.cn/RABTvu9
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