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2006-09-08 16:00 |
真空热蒸发镀膜故障的排除
真空热蒸发镀膜故障的排除 Z LB4m` !5.8]v 1.镀铝层阳极氧化故障的排除 ,X#2\r<| 故障名称 成 因 及 对 策 <L`KzaA 氧化层表面有点状痕迹 (1)预熔时电流过高或未加挡板。应适当降低预熔电流及加设挡板。 w0ht (2)蒸发电流过高。应适当降低 ;LcVr13J/ 氧化层表面有流痕印迹 (1)镀件表面清洁不良。应加强清洁处理。 &atuK*W> (2)擦拭镀件时蘸用乙醇过多。应减少乙醇的蘸用量。 prYs
$j (3)手指接触镀件表面后留下指印。应禁止手指接触镀件表面。 U@g4w!$r (4)唾液喷溅到镀件表面,使镀层表面产生圈状印迹。操作者应带上口罩 M*!agh 氧化层表面有灰点 (1)真空室底盘或室壁太脏。应使用乙醇擦拭干净。 lm!.W5-l (2)夹具太脏。应按工艺规程定期清洗夹具 o1Ph~|s*8 氧化层表面发红 (1)阳极氧化电压偏低,氧化层厚度不够。应将电压提高到120V左右。 >CrA;\l (2)氧化时间太短,导致阳极氧化后表面发红。应适当延长氧化时间 `JOOnTenQ 氧化层表面发花 (1)氧化电压太高,氧化层部分发蓝。应适当降低电压。 <%($7VMev (2)各氧化点的电压或氧化时间不相同。应使各氧化点的电压和氧化时间保持一致。 G]D+Sl4<7i (3)电解液温度太高。应适当降低 g>Y|9Y 氧化层表面发黄 (1)氧化电压太高,氧化层太厚。应适当降低电压。 d^RxQuA (2)氧化时间太长。应适当缩短。 cU;iUf (3)氧化点太多。应适当减少 #,,d>e 氧化层表面有灰白细点 (1)溶液中铝含量增加。应更换部分溶液。 ~$ng^D (2)电解液温度太高。应适当降低。 *-MM<|Qt (3)镀件水洗不足,表面残留电解液,在水分或潮湿气体作用下形成灰白色的氢氧化铝细 IzsphBI 点。应将氧化后的镀件表面用蒸馏水洗净电解液,然后擦干,最好是将氧化后的镀件擦干后 hHN'w73z 放人无水乙醇中浸1-2h,然后加温到12.0~C保温数小时 61.Brp.eP 氧化后镀层起泡脱落 (1)镀件表面油a8未除净。应加强脱脂处理。 (}a8"]Z (2>真空度太低。应适当提高蒸发时的真空度。由于铝是易氧化的金属,又容易吸收氧, 1>*#%R?W 在低真空度下蒸发,会因吸收剩余气体而形成茶褐色的氧化膜,导致反射率降低,镀层易起泡 :axRoRg 脱落。通常预熔的真空度为0.067Pa;蒸镀装饰性的铝膜,蒸发时的真空度可适当低一些,一 Px$/ _`H 般和预熔的真空度相同;蒸镀质量要求高的铝膜,真空度应当高一些,一般为(4—6.7)x10” H(bs$C4F h。 p!>oo1& (3)镀件表面有异物附着。可实施离子轰击。一般蒸镀铝膜时进行离子轰击的工艺条件 b6}H$Sx~ 为:电压2—3kV;电流60—140mA;时间5—30min qC}-_u7s 氧化后镀层露底 镀铝层太薄。应适当延长蒸镀时间,增加膜层厚度。通常,铝膜厚度为(5—20)xlo—3mm, 87Oad@FOr 控制其厚度主要采用计时法,亦可根据膜层的透光程度来判断膜厚,这些方法都需要操作人 ad.3A{ 员具有丰富的实践经验才能控制,但对装饰镀层用上述方法已足可满足要求 K&nE_.kbl 氧化层厚度不足 (1)电解时间太短。应适当延长。 6qRx0"qB (2)氧化电压偏低。应适当提高。 uv=.2U46 (3)接触不良。应改进接触方式,阳极(镍针)与镀件表面铝层必须接触良好。 ZYI{i?Te# (4)接触点的数量不够。应增加接触点。对于面积较大的镀件,应在120~的分度线上设三个氧化点。 >xF/Pl (5)电解液温度偏高。应适当降低。 P\w\N2 (6)接触点被击穿。应变换接触点 PUF/#ck 氧化层表面有针孔 (1)镀铝层太薄。应适当延长蒸发时间。 (&}i`}v_ (2)静电除尘不彻底。应严格按照工艺要求进行静电除尘。 |K6REkzr (3)离子轰击电流太大,时间太长。应适当减小离子轰击电流,一般60—140mA。离子轰击 0ZBJ~W 规范应视镀件材质的耐热程度来调整,以防镀件变形。 Y<mej][ (4)真空室和夹具太脏。应定期清洁真空室和夹具 8dZ0rPd? 氧化层脱边 (1)镀件边缘清洁不良,有抛光粉、汗渍和污物等。应加强镀件边缘的清洁,擦拭时应带上 j/>$, 工作手套。 fG}tMSI (2)夹具不清洁。应彻底清洁夹具,特别应注意清洁夹具与镀件边缘接触的部位 ,8:(OB|a 氧化层耐磨和耐蚀性能不良 (1)电解液温度偏高。应适当降低。 q<\, (2)氧化电压偏低。应适当提高。 {p;zuCF1 (3)电解时间太长。应适当缩短。 ^.#jF#u~ (4)电解液浓度过高。应适当降低。 ]vgB4~4#LP (5)镀铝层被污染。应防止镀件污染 7[I}*3Q' 氧化电压升不高 (1)接触点被击穿。应变换接触点。 `&KwtvkdI (2)电解液浓度不正常。应调整电解液浓度。 86(I^= (3)接触点接触不良。应改进接触方式 My<snmr2d 接触点烧焦 (1)镀件与夹具接触不良。应改善接触条件,使其导电性能良好。 K%"5ImM (2)氧化电压过高。应适当降低。 Q7R~{5r>W (3)电解液浓度不正常。应按配方进行调整 cc#gEm)3C 2.镀铝层表面蒸镀一氧化硅保护膜故障的排除 Q?3Gk%T0[ 故障名称 成 因 及 对 策 0/!dUWdKH 镀铝层表面呈蓝灰色 (1)镀铝层偏厚。应适当缩短蒸镀时间。 oX0 D (2)真空度太低。应适当提高蒸发时的真空度。
l7W 6qNB (3)蒸发速度太慢。应将蒸发速度提高至3x10—3mnl~$。 y$@ZN~8 (4)蒸发源上无铝,仍继续加热。应补加铝丝或铝箔。 %F!1 (5)蒸发源上铝材的纯度太低。应使用纯度为99.9%—99.99%的铝丝或铝箔 U4gF(Q 膜层表面发红 一氧化硅镀膜太薄。应适当延长蒸镀时间 odPL{XFj 膜层表面开裂 (1)一氧化硅的蒸发速度太快。应适当减慢。 9:,V5n= (2)一氧化硅镀膜太厚。应适当减少蒸发时间。一般镀膜厚度为波长l的一半为宜。精密 /wP@2ADB 控制膜层厚度需用光电膜厚控制仪,简单的方法亦可采用目测。目测法是根据表面的干涉色 pcYG~pZ9 随厚度增厚而变化的规律米控制膜厚,其表面颜色的变化规律为:黄一红一紫一绿一黄一红。 5#> 8MU?& 在蒸镀时,若观察到第二次干涉色为黄色或红色时,立即停止蒸发,即可获得适宜的膜厚。 : y5<go8e (3)镀后热处理工艺条件控制不当。应按缓慢升温和降温的要求进行烘烤处理 %;e/7`>Ma 膜层不耐磨 (1)一氧化硅镀膜太薄。应适当延长一氧化硅膜的蒸发时间。 %1O;fQL (2)镀后热处理工艺控制不当。应按工艺规程进行烘烤
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