| erdan521 |
2015-04-11 15:02 |
博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用
一）、博开超高低温泵 i)M EK#{
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二）、博开DZB400低温泵应用 dEp7{jY1O
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一、设备情况： 9AQxNbs
1、设备腔体尺寸直径1.1米； Rko M~`CT
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； 36vgX=}
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； <CZgQ\Mt
二、使用情况： sI LS ey5`
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 [M%._ u,
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 4 CrLkr
三、对比 2YlH}fnH
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 <%P 2qgz5
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 YlF%UPp
b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， Ln!A:dP}c-
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 \+ 0k+B4 a
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 }ptq
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三）、博开DZB720低温泵应用 VUwC-)
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一、设备情况 C\*4q8(
1、设备腔体尺寸直径1.3米 y *23$fj(
2、前级泵：两台机械泵+ 罗茨泵 MTOy8 Im
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台 eOI (6U!
二、抽真空情况 S DLv i!y
附；真空度时间记录表； {d<;BLA
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