193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 2 yz _  

4.1焦距测量 08{@rOr  

4.3 透过率测量 =g
|FT  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 Xha..r  
a.6(K  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 YK~%xo  
               nFs(?Rv*  
Yz<1 wt7;  
  b)能量集中度曲线 L8 @1THY  
{]|J5Dgfe  
*uvQ\.  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 2GStN74Xr