| 1983pengya |
2015-04-01 00:12 |
193nm长工作距离深紫外物镜
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. 3 etW4
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性能参数 aO$I|!tl
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注：有限远共轭 c^EU &q{4
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2.外形尺寸 FWDAG$K@0
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3.成像质量测试报告 , FD RU
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4.检测结果 MI\35~JAN
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4.1焦距测量 cCbZ*
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焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm c Mp#_\B
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4.3 透过率测量 6_kv~`"t Z
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陪镀片的剩余反射率曲线- 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
- 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
- 整体透过率为94%（193nm处）。
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4.2像质检测 5v, _ Hgh
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a) 显微物镜对目标（小孔）所成的像 V3<H 8pL
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b)能量集中度曲线 yU'<b.]
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c) 点扩散函数 FDC c?>,o
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5. 实物照片 Yh2[
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同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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