193nm长工作距离深紫外物镜

香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6.

性能参数

ITEM#	COATING	M	WD	EFL	NA	TFS	EA	L	SPOTSIZE
XWJ-40X-UV	UV	40×	1.5mm	4.4mm	0.6	1μm	5.3mm	43.5mm	1μm

注：有限远共轭 Ypx5:gm|J
T_)g/,5>
2.外形尺寸

3.成像质量测试报告 /78zs-

4.检测结果

4.1焦距测量 4se6+oJe

焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量 *HsA.W~2W

陪镀片的剩余反射率曲线

利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 fikDpR
g~ii^[W
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 J-|&[-Z
               3(Ns1/;?,
DfU]+;AE
  b)能量集中度曲线 7KHQ0
_dY5qW1p
74 WKy
c) 点扩散函数

5. 实物照片 04WxV(fo'

同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。

过客2014	2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865

1983pengya	2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 l1#.rg fLpWTkr0 内容来自[短消息]

京京椰树	2019-03-13 14:16
这个很厉害了

查看本帖完整版本: [-- 193nm长工作距离深紫外物镜 --] [-- top --]