193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 VBu6,6  

4.1焦距测量 3_Re>i  

4.3 透过率测量 <(o) * Zmo  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 ]A:G>K  
nA#dXckoc  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 $C&E3 'O  
               zO)3MC7l*  
~jOk?^6  
  b)能量集中度曲线 +C[%^
G-:  
$%3%&+z$I  
k iY1  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 xAAwH@ +