193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 875V{fvPBU  

4.1焦距测量 zD2Bhta y  

4.3 透过率测量 3P'.)=}  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 uVOOw&q_  
8|V6RgA%  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 PX(Gx%s|  
               =s1"<hH}O)  
QT\S>}  
  b)能量集中度曲线 9 `J`(  
<;SMczR  
n5oB#>tI0  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 Qe]@`Vg