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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 I(ds]E
;_E 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Q$G!-y+"i ~:Dr]kt [attachment=60103] n_sCZ6uXEQ ^3IO.`| 定价:85.00 "#d}S)GlXM 优惠价格:63.75 |#$Wh+,* ( du<0J|PT
"zR+} ?%(8RQ 目录 Rer\=' 前言 {,|*99V 第1章绪论 #0"Fw$Pc 1.1概述 XKLkJZN 1.2光学元件质量评价 5E?{>1 1.2.1表面质量评价 dGf{d7 D 1.2.2亚表面质量评价 N|?"=4Z? 1.3干涉测量基础知识 "zL<:TQ" 1.3.1干涉原理 ?8fa/e 1.3.2典型干涉测量结构 ([iMOE[D3 第2章子子L径拼接轮廓测量 mu04TPj 2.1概述 {LVii}< 2.2圆形子孔径拼接 g:`V:kbY$ 2.2.1拼接原理 9a"[-B: 2.2.2拼接算法 pJ"Wg@+ 2.3环形子孔径拼接 gI6./;;x 2.3.1孔径划分 ko*Ir@SDv 2.3.2拼接原理 Wd?(B4{ 2.3.3拼接算法 1om :SHw 2.4广义子孔径拼接 m^@,0\F 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 7"wr8 2.4.2计算机模拟 u) y6 $ 2.5子孔径拼接优化算法 i-~HT4iw 2.5.1调整误差分量及其波像差 j8WnXp_ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 bEyZRG 2.5.3仿真研究 qd(C%Wk 2.6测量系统 1|l'oTAA 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 5ycccMx0V 2.6.2实验研究 CEq0ZL-W 2.7超大口径拼接检测 :^j`wd1
h 2.7.1方案设计 F\F_">5 2.7.2拼接算法 ='a[(C&Y 2.8小结 yt}Ve6 m 参考文献 L,M=ogdb 第3章接触式轮廓测量 ,<0R'R 3.1概述 &eKnLGKD 3.2测量理论基础 URdCV{@42 3.2.1测量原理 C|bnUN 3.2.2坐标系和坐标变换 FM$XMD0= 3.2.3检测路径 Pp3<K649 3.2.4二次曲面系数研究 HWOs 3.2.5离轴镜测量模型 W0J d2 *] 3.3测量系统 w4P?2-kB 3.3.1测头系统 A-Be}A 3.3.2系统设计 G?)NDRM 3.4误差分析 X*hY?'Rp 3.4.1误差源分类 o8;>E>; 3.4.2固有误差 ~VYZu=p 3.4.3随机调整误差 $OB 2ZS" 3.4.4接触力诱导误差 N}Q%y(O^ 3.4.5高阶像差误差分析 UJMM& 3.5小结 /#lhRNX 参考文献 b6Pi:!4 第4章结构光轮廓测量 5&Al 4.1概述 k#X~+}N^ 4.2基于结构光原理的测量方法 }vzP\ 4.2.1傅里叶变换轮廓术 1Kszpt(Ld 4.2.2相位测量轮廓术 o.W:R Ux 4.2.3莫尔测量轮廓术 /5 yjON{ 4.2.4卷积解调法 IA I!a1e! 4.2.5调制度测量轮廓术 BC*62m 4.3测量系统及其标定 9"hH2jc
4.3.1结构光三维测量系统 Q46^i7= 4.3.2系统参数标定 s)C5u;3! 4.3.3快速标定方法 G(gJtl 4.4位相展开算法 rYe z$e^r 4.4.1位相展开的基本原理 g<U\7Vp\1 4.4.2空间位相展开方法 3}R}|Ha
J# 4.4.3时间位相展开方法 NV\t%/ ? 4.4.4光栅图像采集与预处理 l7#5.%A 4.5测量误差分析 4FrP%|%E~ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 Nc;cb 4.5.2非线性误差矫正方法 BV)oF2b: 4.6小结 =2v/f_ 参考文献 <8;SSdoKi 第5章亚表面损伤检测 4P(muOS 5.1概述 #C^)W/dP 5.2亚表面损伤产生机理与表征 1%Hc/N- 5.2.1产生机理 3{c6)vR2 5.2.2表征方法 r{\c.\ 5.3亚表面损伤检测技术 r+v?~m! 5.3.1破坏性检测 R|&jvG=| 5.3.2非破坏性检测 wO<.wPa` 5.4工艺试验 xs#g 5.4.1亚表面损伤的测量 6[+@#IWx 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 V'b$P2 ?^ 5.4.3损伤抑制策略 vYl2_\,Y? 5.5小结 m8[XA!, 参考文献 PU8>.9x 第6章其他测量技术 .cks){\ 6.1移相干涉测量技术 1N\/61+aA 6.2动态干涉测量技术 WSEw:pln 6.3剪切干涉 }jE[vVlRw 6.4点衍射干涉 ZZ'5BfI"I% 6.5白光干涉测量技术 <|-da&7 6.6外差干涉测量技术 M02U,!di 6.7补偿法检测非球面 (8"advc6 6.8计算全息法检测非球面 a4d7;~tZ 参考文献 U80h0t% 文摘 p~Wy`g- ZLIt3
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