cyqdesign |
2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 x,UP7=6 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 7uq^TO>9f jf=\\*64r4 [attachment=60103] @6%o0p9zz :I8HRkp 定价:85.00 c|Fu6LF a 优惠价格:63.75 2<tU + I4s0
3 uJ?; l09DH+ 目录 (w-@b70E 前言 r=S,/N(1 第1章绪论 f7I!o,/ 1.1概述 N `[ ?db-% 1.2光学元件质量评价 DeTLh($\ 1.2.1表面质量评价 OPC8fX5. 1.2.2亚表面质量评价 *H~&hs>k 1.3干涉测量基础知识 3]h*6V1$ 1.3.1干涉原理 o_n 3.O= 1.3.2典型干涉测量结构 GuKiNYI_ 第2章子子L径拼接轮廓测量 ?[2>x{5Z 2.1概述 3o`c`;H%p 2.2圆形子孔径拼接 R<;;Ph 2.2.1拼接原理 ^CW{`eBwk 2.2.2拼接算法 23/;W| 2.3环形子孔径拼接 U\i7'9w]3 2.3.1孔径划分 "mc ]^O 2.3.2拼接原理 /&W~:F 2.3.3拼接算法 remRmY? 2.4广义子孔径拼接 sf8F h 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 [wn!
<#~v 2.4.2计算机模拟 ,$Xhwr
2.5子孔径拼接优化算法 :H>0/^Mg0 2.5.1调整误差分量及其波像差 7'Gkip 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 \WxBtpbQB 2.5.3仿真研究 , FR/X/8 2.6测量系统 }ZJJqJ`*e 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 6UM1>xq9A 2.6.2实验研究 Pxf /*z 2.7超大口径拼接检测 q_Z6s5O 2.7.1方案设计 f0
kz:sZ9 2.7.2拼接算法 SLda>I(p7& 2.8小结 \`R8s_S 参考文献 R)6"P?h._4 第3章接触式轮廓测量 X<&Y5\%F 3.1概述 xB5QM #w\ 3.2测量理论基础 ;Q0H7)t: 3.2.1测量原理 iH8V] % 3.2.2坐标系和坐标变换 N5.kDT 3.2.3检测路径 ~W-5-Nl{s 3.2.4二次曲面系数研究
F8|m i`f- 3.2.5离轴镜测量模型 ;*cCaB0u 3.3测量系统 BT"n;L?[ 3.3.1测头系统 2^y*O 3.3.2系统设计 p#6tKY;N 3.4误差分析 cVli^*se 3.4.1误差源分类 ?{\h`+A 3.4.2固有误差 ,,]<f*N 3.4.3随机调整误差 pd-I^Q3- 3.4.4接触力诱导误差 ef2)k4)" 3.4.5高阶像差误差分析 (Ta (Y=!uq 3.5小结 W0<2*7s 参考文献
{RI)I 第4章结构光轮廓测量 Ho1 V)T> 4.1概述 9ePom'1f1 4.2基于结构光原理的测量方法 -PTfsQk 4.2.1傅里叶变换轮廓术 OO\$'%
y` 4.2.2相位测量轮廓术 N v6=[_D 4.2.3莫尔测量轮廓术 5,?^SK|'x 4.2.4卷积解调法 Q9i[?=F:z 4.2.5调制度测量轮廓术 b-Ru UfUn0 4.3测量系统及其标定 1p8hn!V 4.3.1结构光三维测量系统 d6)+d9?< | |