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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 x,UP7=6  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 7uq^TO>9f  
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目录 (w-@b70E  
前言 r=S,/N(1  
第1章绪论 f7I!o, /  
1.1概述 N `[ ?db-%  
1.2光学元件质量评价 DeTLh($\  
1.2.1表面质量评价 OPC8fX5.  
1.2.2亚表面质量评价 *H~&hs>k  
1.3干涉测量基础知识 3]h*6 V1$  
1.3.1干涉原理 o_n 3.O=  
1.3.2典型干涉测量结构 GuKiNYI_  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ?[2>x{5Z  
2.1概述 3o`c`;H%p  
2.2圆形子孔径拼接 R<;;Ph  
2.2.1拼接原理 ^CW{`eBwk  
2.2.2拼接算法 23/;W|   
2.3环形子孔径拼接 U\i7'9w]3  
2.3.1孔径划分 "mc ]^ O  
2.3.2拼接原理 /&W~:F  
2.3.3拼接算法 remRm Y?  
2.4广义子孔径拼接 s f8F h  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 [wn! <#~v  
2.4.2计算机模拟 ,$Xhwr  
2.5子孔径拼接优化算法 :H>0/^Mg0  
2.5.1调整误差分量及其波像差 7' Gk ip  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 \WxBtpbQ B  
2.5.3仿真研究 , FR/X/8  
2.6测量系统 }ZJJqJ`*e  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 6UM1>xq9A  
2.6.2实验研究 Pxf/*z  
2.7超大口径拼接检测 q_Z6s5O  
2.7.1方案设计 f0 kz:sZ9  
2.7.2拼接算法 SLda>I(p7&  
2.8小结 \ `R8s_S  
参考文献 R)6"P?h._4  
第3章接触式轮廓测量 X<&Y5\%F  
3.1概述 xB5QM #w\  
3.2测量理论基础 ;Q0H7)t:  
3.2.1测量原理 iH8V]%  
3.2.2坐标系和坐标变换 N 5.kDT  
3.2.3检测路径 ~W-5-Nl{s  
3.2.4二次曲面系数研究 F8|m i`f-  
3.2.5离轴镜测量模型 ;*cCaB0u  
3.3测量系统 BT"n;L?[  
3.3.1测头系统 2^y*O  
3.3.2系统设计 p#6tKY;N  
3.4误差分析 cVl i^*se  
3.4.1误差源分类 ?{\h`+A  
3.4.2固有误差 ,,]<f*N  
3.4.3随机调整误差 pd-I^Q3-  
3.4.4接触力诱导误差 ef2)k4)"  
3.4.5高阶像差误差分析 (Ta(Y=!uq  
3.5小结 W0<2*7s  
参考文献 {RI)I  
第4章结构光轮廓测量 Ho1V)T>  
4.1概述 9ePom'1f1  
4.2基于结构光原理的测量方法 -PTfsQk  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 OO\$'% y`  
4.2.2相位测量轮廓术 N v6=[_D  
4.2.3莫尔测量轮廓术 5,?^SK|'x  
4.2.4卷积解调法 Q9i[?=F:z  
4.2.5调制度测量轮廓术 b-RuUfUn0  
4.3测量系统及其标定 1p8hn!V  
4.3.1结构光三维测量系统 d6)+d9?<  
4.3.2系统参数标定 B_* Ayk  
4.3.3快速标定方法 sfk;c#K  
4.4位相展开算法 9-!GYa'Z  
4.4.1位相展开的基本原理 )FN$Jlo  
4.4.2空间位相展开方法 Y]DC; ,  
4.4.3时间位相展开方法 q@1xYz:J  
4.4.4光栅图像采集与预处理 !C ZFbz~:  
4.5测量误差分析 gt\kTn."  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 xNjWo*y v  
4.5.2非线性误差矫正方法 Zgo%Jo  
4.6小结 I3u)y|Y=  
参考文献 a%5/Oc[[  
第5章亚表面损伤检测 e m  
5.1概述 *MQ`&;Qa,  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 LCW}1H:Q  
5.2.1产生机理 !|8"}ZF  
5.2.2表征方法 L_o/fTz4  
5.3亚表面损伤检测技术 ""*g\  
5.3.1破坏性检测 3i~X`@$k>  
5.3.2非破坏性检测 V>D}z8w7  
5.4工艺试验 {W HK|l   
5.4.1亚表面损伤的测量 }G<~Cx5[  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 D@kf^1G  
5.4.3损伤抑制策略 MaPI<kYQv  
5.5小结 kn/xt  
参考文献 0 {  
第6章其他测量技术 GJ F &id  
6.1移相干涉测量技术 j4u ["O3  
6.2动态干涉测量技术 (T%Ue2zlY  
6.3剪切干涉 qae|?z  
6.4点衍射干涉 mtdy@=?1Y  
6.5白光干涉测量技术 '_5|9 }  
6.6外差干涉测量技术 0o:R:*  
6.7补偿法检测非球面 F@mxd  
6.8计算全息法检测非球面 v]Aop<KLX  
参考文献 X4{<{D`0t8  
文摘 VfUHqdg-  
8H|ac[hXK2  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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