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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 j H(&oV  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ~ eHRlXL'  
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目录 8qN"3 Et  
前言 B=r0?%DX"1  
第1章绪论 cI3y  
1.1概述 i=-8@  
1.2光学元件质量评价 !Qcir&]C>  
1.2.1表面质量评价 A])OPqP{  
1.2.2亚表面质量评价 kymn)Ea  
1.3干涉测量基础知识 H/^B.5RYE>  
1.3.1干涉原理 %Z7%jma  
1.3.2典型干涉测量结构 `os8;`G  
第2章子子L径拼接轮廓测量 @7fm1b  
2.1概述 Rnr#$C%  
2.2圆形子孔径拼接 C-Ig_Nc  
2.2.1拼接原理 U,'EF[t  
2.2.2拼接算法 {M [~E|@D  
2.3环形子孔径拼接 R5~gH6K|  
2.3.1孔径划分 Z2#`}GI_m  
2.3.2拼接原理 ~H u"yAR  
2.3.3拼接算法 y+A{Y  
2.4广义子孔径拼接 )yrAov\z*  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 I(n }<)eF  
2.4.2计算机模拟 g,=^'D  
2.5子孔径拼接优化算法 nS.2C>A  
2.5.1调整误差分量及其波像差 )km7tA 0a  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 VRF6g|0;  
2.5.3仿真研究 k1#5nYN.  
2.6测量系统 ~,gLplpG0  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 rGQ5l1</  
2.6.2实验研究 Yy hny[fa9  
2.7超大口径拼接检测 q? 9GrwL8F  
2.7.1方案设计 \Tyf*:_F>  
2.7.2拼接算法 [zQ WyDu  
2.8小结 +xZQJeKb  
参考文献 j=9ze op %  
第3章接触式轮廓测量 #9\THfb  
3.1概述 Oc~aW3*A(  
3.2测量理论基础 i4<BDX5  
3.2.1测量原理  HxIoA  
3.2.2坐标系和坐标变换 3cixQzb}u  
3.2.3检测路径 krjN7&  
3.2.4二次曲面系数研究 Xu#:Fe}:  
3.2.5离轴镜测量模型 ZdH1nX(Yh3  
3.3测量系统 oRq3 pO}f  
3.3.1测头系统 K6B4sE  
3.3.2系统设计 TBnvV 5_  
3.4误差分析 c+2sT3).D  
3.4.1误差源分类 6,+nRiZ  
3.4.2固有误差 gu<V (M\  
3.4.3随机调整误差 %i"}x/CD[  
3.4.4接触力诱导误差 [7.agI@=  
3.4.5高阶像差误差分析 f-D>3qSS  
3.5小结 1TZPef^y  
参考文献 ")%r}:0  
第4章结构光轮廓测量 7@l<? (  
4.1概述 k':s =IXW  
4.2基于结构光原理的测量方法 NXI[q 'y  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 [zh"x#AyI  
4.2.2相位测量轮廓术 R=M!e<'  
4.2.3莫尔测量轮廓术 [PWL<t::c  
4.2.4卷积解调法 lhO2'#]i  
4.2.5调制度测量轮廓术 3m=2x5 {L  
4.3测量系统及其标定 ($>XIb9f  
4.3.1结构光三维测量系统 9i%9   
4.3.2系统参数标定 6I>^Pf'ND  
4.3.3快速标定方法 Q7GY3X*kA  
4.4位相展开算法 z"UPyW1?  
4.4.1位相展开的基本原理 O('Nn]wo~9  
4.4.2空间位相展开方法 P1V1as  
4.4.3时间位相展开方法 " U8S81'  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ; )llt G  
4.5测量误差分析 &{z<kmc$6  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 Uc&iZFid2K  
4.5.2非线性误差矫正方法 W&C-/O,m  
4.6小结 Cj^{9'0  
参考文献 >emcJVYV`[  
第5章亚表面损伤检测 <kbyZXV@K  
5.1概述 c1%rV`)]  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 y LM"+.?pL  
5.2.1产生机理 :(p )1=I  
5.2.2表征方法 KDTDJ8  
5.3亚表面损伤检测技术 yZ3nRiuRT  
5.3.1破坏性检测 8omC%a}9m  
5.3.2非破坏性检测 Oy_c  
5.4工艺试验 H l<$a"K7\  
5.4.1亚表面损伤的测量 c\.P/~  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 fdv`7u+}a  
5.4.3损伤抑制策略 ROdK8*jL  
5.5小结  CdZ BG  
参考文献 n:4uA`Vg  
第6章其他测量技术 v(O=IUa  
6.1移相干涉测量技术 i9m*g*"2  
6.2动态干涉测量技术 b{5K2k&,  
6.3剪切干涉 o#D.9K(  
6.4点衍射干涉 yPgmg@G@/  
6.5白光干涉测量技术 XG 0v  
6.6外差干涉测量技术 }}T,W.#%u  
6.7补偿法检测非球面 TH?9< C-C  
6.8计算全息法检测非球面 !')y&7a~  
参考文献 Y*LaBxt Q  
文摘 qf8[!5GM  
#YK5WTn5  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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