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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 7c8A|E0\mF 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 g#}a?kTM@ KB@F^&L { [attachment=60103] 1&2X*$]y DMXm$PU4V 定价:85.00 I
7 B$X= 优惠价格:63.75 hW Va4 f#>ubmuI^
{3H)c^Q <$+Cd=71\ 目录 }.S4;#|hw 前言 \ )'`F;
P 第1章绪论 -F338J+J24 1.1概述 l!7O2Ai5 1.2光学元件质量评价 v<u`wnt 1.2.1表面质量评价 Ho!dtEs 1.2.2亚表面质量评价 |%HTBF 1.3干涉测量基础知识 _*1{fvv0{ 1.3.1干涉原理 )}|b6{{< 1.3.2典型干涉测量结构 r@)_>( 第2章子子L径拼接轮廓测量 V/,@hv`+ 2.1概述 &ZR} Z7E*= 2.2圆形子孔径拼接 Bsc 2.2.1拼接原理 ~k[mowz0 2.2.2拼接算法 kKlcK_b; 2.3环形子孔径拼接 u|eV'-R)s 2.3.1孔径划分 [OU[i(,{ 2.3.2拼接原理 <n|ayxA) 2.3.3拼接算法 !ma%Zk 2.4广义子孔径拼接 ;D>*Pzj 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 TDY2
M 2.4.2计算机模拟 %j4AX 2.5子孔径拼接优化算法 =F9!)r 2.5.1调整误差分量及其波像差 yd+.hg&J 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 ")xd 'V 2.5.3仿真研究
O86[`, 2.6测量系统 s%OPoRE 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 W+5<=jXFB 2.6.2实验研究 UD6:X&Un 2.7超大口径拼接检测 Smc=-M} 2.7.1方案设计 Z!eW_""wp 2.7.2拼接算法 /$Ca}> 2.8小结 @SX-=Nr 参考文献 XhEJF ! 第3章接触式轮廓测量 8}_M1w6v 3.1概述 z-g"`w:Lj 3.2测量理论基础 )&pcRFl 3.2.1测量原理 /t=Fx94 3.2.2坐标系和坐标变换 gAxf5A_x) 3.2.3检测路径 8Ts_;uId 3.2.4二次曲面系数研究 s-lNpOi 3.2.5离轴镜测量模型 XtP5IN\S 3.3测量系统 2zN"*Wkn 3.3.1测头系统 _7=LSf,9 3.3.2系统设计 hwj:$mR 3.4误差分析 q:a-tdv2 3.4.1误差源分类 *{fL t 3.4.2固有误差 -qNun3 3.4.3随机调整误差 2M$^|j:[ 3.4.4接触力诱导误差 Gw@]w;ed 3.4.5高阶像差误差分析 tmVGJ+gz 3.5小结 _i@4R< 参考文献 29tih{xx 第4章结构光轮廓测量 6t!PHA 4.1概述 `SM37({c 4.2基于结构光原理的测量方法 k,GAHM"' 4.2.1傅里叶变换轮廓术 6U(MHxY 4.2.2相位测量轮廓术 0CR~ vQf#r 4.2.3莫尔测量轮廓术 SpJIEw 4.2.4卷积解调法 8%Eemk >G{ 4.2.5调制度测量轮廓术 Zv|TvlyT" 4.3测量系统及其标定
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rL|r. 4.3.1结构光三维测量系统 u!@(u!Qz 4.3.2系统参数标定 5SQqE@g% 4.3.3快速标定方法 n5s2\( 4.4位相展开算法 sn-P&"q 4.4.1位相展开的基本原理 "fN=Y$G 4.4.2空间位相展开方法 t;/s^-} 4.4.3时间位相展开方法 OGWZq(c"6 4.4.4光栅图像采集与预处理 J<h!H 4.5测量误差分析 mi'3ibCG 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 rZ:-%#Q4 4.5.2非线性误差矫正方法 3Q:Hzq G 4.6小结 D@?Tq,=
[ 参考文献 @CNe)&U 第5章亚表面损伤检测 0/TP`3$X#" 5.1概述 7M, (!*b 5.2亚表面损伤产生机理与表征 ttfCiP$ 5.2.1产生机理 Ra)AQ
n 5.2.2表征方法 0qp Pz|h 5.3亚表面损伤检测技术 p{0NKyOvU 5.3.1破坏性检测 d]r?mnN W 5.3.2非破坏性检测 pz0Q@ n/X 5.4工艺试验 P+<4w 5.4.1亚表面损伤的测量 <Gw>}/-^ 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 /L^pU-}Z0 5.4.3损伤抑制策略 }-N4D"d4o 5.5小结 '4e,
e|r 参考文献 H{U(Rt]K 第6章其他测量技术 -I'Jm=q3] 6.1移相干涉测量技术 @O9wit. 6.2动态干涉测量技术 :D:Y-cG*n< 6.3剪切干涉 YS0^!7u 6.4点衍射干涉 PUbfQg 6.5白光干涉测量技术 {'NXJ!I;t 6.6外差干涉测量技术 )uRR!<"~ 6.7补偿法检测非球面 mPJ@hr%3 6.8计算全息法检测非球面 lEXI<b'2 参考文献 tb/`*Yl@ 文摘 *6/OLAkyF WbJ
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