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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 7c8A|E0\mF  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 g#}a?kTM@  
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目录 }.S4;#|hw  
前言 \ )'`F; P  
第1章绪论 -F338J+J24  
1.1概述 l!7O2Ai5  
1.2光学元件质量评价 v<u`wnt  
1.2.1表面质量评价 Ho!dtEs  
1.2.2亚表面质量评价 |%HTBF  
1.3干涉测量基础知识 _*1{fvv0{  
1.3.1干涉原理 )}|b6{{<  
1.3.2典型干涉测量结构 r@)_>(  
第2章子子L径拼接轮廓测量 V/,@hv`+  
2.1概述 &ZR}Z7E*=  
2.2圆形子孔径拼接 Bsc&#  
2.2.1拼接原理 ~k[mowz0  
2.2.2拼接算法 kKlcK_b;  
2.3环形子孔径拼接 u|eV'-R)s  
2.3.1孔径划分 [OU[i(,{  
2.3.2拼接原理 <n|ayxA)  
2.3.3拼接算法 !ma%Zk  
2.4广义子孔径拼接 ;D>*Pzj  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 TDY2 M  
2.4.2计算机模拟 %j4AX  
2.5子孔径拼接优化算法 =F 9!)r  
2.5.1调整误差分量及其波像差 yd+.hg&J  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 ")xd 'V  
2.5.3仿真研究  O86[`,  
2.6测量系统 s%OPoRE  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 W+5<=jXFB  
2.6.2实验研究 UD6:X&Un  
2.7超大口径拼接检测 Smc=-M}  
2.7.1方案设计 Z!eW_""wp  
2.7.2拼接算法 /$Ca }>  
2.8小结 @SX-=Nr  
参考文献 XhEJF !  
第3章接触式轮廓测量 8}_M1w6v  
3.1概述 z-g"`w:Lj  
3.2测量理论基础 )&pcRFl  
3.2.1测量原理 /t=Fx94  
3.2.2坐标系和坐标变换 gAxf5 A_x)  
3.2.3检测路径 8Ts_;uId  
3.2.4二次曲面系数研究 s-lNpOi  
3.2.5离轴镜测量模型 XtP5IN\S  
3.3测量系统 2zN"*Wkn  
3.3.1测头系统 _7=LSf,9  
3.3.2系统设计 hwj:$mR  
3.4误差分析 q:a-tdv2  
3.4.1误差源分类 *{fL t  
3.4.2固有误差 -qNun3  
3.4.3随机调整误差 2M$^|j:[  
3.4.4接触力诱导误差 Gw@]w;ed  
3.4.5高阶像差误差分析 tmVGJ+gz  
3.5小结 _i@4R<  
参考文献 29tih{ xx  
第4章结构光轮廓测量 6t!PHA  
4.1概述 `SM37({c  
4.2基于结构光原理的测量方法 k,GAHM"'  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 6U(M HxY  
4.2.2相位测量轮廓术 0CR~ vQf#r  
4.2.3莫尔测量轮廓术 SpJIEw  
4.2.4卷积解调法 8%Eemk>G{  
4.2.5调制度测量轮廓术 Zv|TvlyT"  
4.3测量系统及其标定  U rL|r.  
4.3.1结构光三维测量系统 u !@(u!Qz  
4.3.2系统参数标定 5SQqE@g%  
4.3.3快速标定方法 n5s2\(  
4.4位相展开算法 sn-P&"q  
4.4.1位相展开的基本原理 "f N=Y$G  
4.4.2空间位相展开方法 t;/s^-}  
4.4.3时间位相展开方法 OGWZq(c"6  
4.4.4光栅图像采集与预处理 J<h! H  
4.5测量误差分析 mi'3ibCG  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 rZ:-%#Q4  
4.5.2非线性误差矫正方法 3Q:HzqG  
4.6小结 D@?Tq,= [  
参考文献 @ CNe)&U  
第5章亚表面损伤检测 0/TP`3$X#"  
5.1概述 7M,(!*b  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ttfCiP$  
5.2.1产生机理 Ra)AQ n  
5.2.2表征方法 0 qp Pz|h  
5.3亚表面损伤检测技术 p{0NKyOvU  
5.3.1破坏性检测 d]r?mnN W  
5.3.2非破坏性检测 pz0Q@n/X  
5.4工艺试验 P+<4w  
5.4.1亚表面损伤的测量 <Gw>}/-^  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 /L^pU-}Z0  
5.4.3损伤抑制策略 }-N4D"d4o  
5.5小结 '4e, e|r  
参考文献 H{U(Rt]K  
第6章其他测量技术 -I'Jm=q3]  
6.1移相干涉测量技术 @O9wit.  
6.2动态干涉测量技术 :D:Y-cG*n<  
6.3剪切干涉 YS0^ !7u  
6.4点衍射干涉 PUbfQg  
6.5白光干涉测量技术 {'NXJ!I;t  
6.6外差干涉测量技术 )uRR!<"~  
6.7补偿法检测非球面 mPJ@hr%3  
6.8计算全息法检测非球面 lEXI<b'2  
参考文献 tb/`*Yl@  
文摘 *6/OLAkyF  
WbJ  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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