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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 m0dFA<5- 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ]L5Z=.z& (:tTx>V# [attachment=60103] F]dmc,Q PM#$H 定价:85.00 u *#-7 优惠价格:63.75 wa-_O< HYa$EE2
RPa?Nv?e Rx@%cuP* 目录 wN/*|?`Z 前言 t-?KKU8 第1章绪论 >"PqQO 1.1概述 S)Ub/`f{s 1.2光学元件质量评价 ,_wm, 1.2.1表面质量评价 =Qjw.6@ 1.2.2亚表面质量评价 S'v V" 1.3干涉测量基础知识 .=et{\ 1.3.1干涉原理 B.C H9M 1.3.2典型干涉测量结构 KoxGxHz^Y3 第2章子子L径拼接轮廓测量 hi4h0\L!} 2.1概述 "4Wp>B 2.2圆形子孔径拼接 V'f&JQA 2.2.1拼接原理 C7XS6Nqu 2.2.2拼接算法 {GG~E54&B 2.3环形子孔径拼接 YiY&;)w 2.3.1孔径划分 mTI\,x%<OC 2.3.2拼接原理 Nv*E .|G 2.3.3拼接算法 >yPFL' 2.4广义子孔径拼接 3_R 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 )Yy#`t 2.4.2计算机模拟 X+'^Sp 2.5子孔径拼接优化算法 u+I r:k 2.5.1调整误差分量及其波像差 n'0$>Q 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 ~_# Y,)S!z 2.5.3仿真研究 d-#u/{jG) 2.6测量系统 ]Lb?#S 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Wzf1-0t 2.6.2实验研究 9wDBC~. 2.7超大口径拼接检测 qD=m{O8%_ 2.7.1方案设计 6|"!sW`%N 2.7.2拼接算法 b[&,%Sm+6 2.8小结 ac+k 5K+ 参考文献 [iO$ c]!H 第3章接触式轮廓测量 XYxm8ee"j 3.1概述 F`ZIc7(.{ 3.2测量理论基础 HIWmh4o/. 3.2.1测量原理 kS\. 3.2.2坐标系和坐标变换 SceCucT 3.2.3检测路径 9qu24zz$P 3.2.4二次曲面系数研究 =p&'_a^$ 3.2.5离轴镜测量模型 8y4D9_{ 3.3测量系统 +DbWMm 3.3.1测头系统 5M\=+5wB 3.3.2系统设计 ma]F%E+$ 3.4误差分析 _w5~/PbWt 3.4.1误差源分类 EV?47\~ 3.4.2固有误差 VM V]TPks> 3.4.3随机调整误差 BJ.8OU*9]S 3.4.4接触力诱导误差 ]zwqG A 3.4.5高阶像差误差分析 u6S0t?Udap 3.5小结 ~&j`9jdOj 参考文献 (Q+:N; 第4章结构光轮廓测量 R{OE{8; 4.1概述 !$KhL.4P 4.2基于结构光原理的测量方法 @BHS5^| 4.2.1傅里叶变换轮廓术 v<J;S9u= 4.2.2相位测量轮廓术 U)I `:J+A 4.2.3莫尔测量轮廓术 N;`[R>Z~ 4.2.4卷积解调法 (HrkUkw 4.2.5调制度测量轮廓术 $qUta<o2@ 4.3测量系统及其标定 c!u}KVH 4.3.1结构光三维测量系统 >&TnTv?I 4.3.2系统参数标定 kj3o1 Y 4.3.3快速标定方法 r)#"$Sm 4.4位相展开算法 ng&EGM 4.4.1位相展开的基本原理 `j!2uRFe> 4.4.2空间位相展开方法 yL3<X w| 4.4.3时间位相展开方法 `F+x]<m! 4.4.4光栅图像采集与预处理 9M7(_E;)B 4.5测量误差分析 rX>y>{w~ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 R$;&O.
5M 4.5.2非线性误差矫正方法 -IEP?NX 4.6小结 ">vYEkZ3 参考文献 IL6f~! 第5章亚表面损伤检测 ME10dr 5.1概述 `7qp\vYL 5.2亚表面损伤产生机理与表征 mv%:[+! 5.2.1产生机理 >5@vY?QXO 5.2.2表征方法 QH' [( 5.3亚表面损伤检测技术 j.'"CU 5.3.1破坏性检测 &<P^Tvqq& 5.3.2非破坏性检测 Qdr-GODx 5.4工艺试验 JTh=JHJ 5.4.1亚表面损伤的测量 Nj-rZ%& 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 lQ<n
dt~ 5.4.3损伤抑制策略 q}F%o0 5.5小结 Gxa.<E^k 参考文献 hC,-9c 第6章其他测量技术 x^O2Lj,w\ 6.1移相干涉测量技术 @ Rb1)$~# 6.2动态干涉测量技术 s^?sJUj 6.3剪切干涉 .q9|XDqQc 6.4点衍射干涉 |UDD/e 6.5白光干涉测量技术 NDa|., 6.6外差干涉测量技术 //5_E7Ehu$ 6.7补偿法检测非球面 YG1`%,OW` 6.8计算全息法检测非球面 9H%xZ(`vN 参考文献 m3xj5]#^$ 文摘 gL}Y5U+s l
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