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XUV光谱仪
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谈谈光电子
2014-11-02 18:37
XUV光谱仪
XUV光谱仪是新型的像差校正平场入射X射线光谱仪,光谱范围可涵盖1-80nm.模块化设计,可以满足不同的实验条件和环境。
~0V,B1a
单光栅(标准配置)可覆盖5-80nm测量范围
(|dN6M-.K
技术参数
/NB;eV?
波长范围
vYNu=vnM
5-20
]I:h4hgw
10-60
z8JdA%YBM
25-80
_>u0vGF-
光源距离(m)
tB#-}Gf
St|B9V?eEB
0.4-0.6
(W'3Zv'f
0.5-1.5
%Z-B{I(
平场尺寸(mm)
5pz(6gA
25.4
`nv82v
50
i p; RlO
50
L(`Rf0smt
色散(nm/mm)
MVkO >s
0.5-0.7
cz;gz4d8
0.7-1.1
tdi^e;:?
0.9-1.3
+ 0 |d2_]E
光谱分辨率(nm)
O Ce;8 ^
0.06
#,;X2% c
0.09
&Xp