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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
Y6;0khp  
微光学元件的分析和设计
GqIvvnw@f  
微透镜阵列		 mf*9^}l+Zn  
√		 p(x1D]#Z[  
 7G>0,'XC  
 uwH)/BW)[  
3I>S:|=K  
蝇眼聚光镜		 JR a*;_  
√		 <D;H} ef  
 _ntW}})K  
 9s\i(/RxW  
p+`*~6Jj/  
衍射扩散器		 8)-t91hkL  
√		 6XOpB^@  
 M|Dwk3#  
√		 ?9('o\N:  
OO !S w  
单元阵列    光栅单元阵列		 \6`%NhkM_  
 {o5K?Pb  
√		 j6R{  
 }lNuf u  
√
H%NLL4&wu  
            棱镜单元阵列		  ,3@15j  
 #o r7T^  
 7u`}t83a  
 *v:,rh  
√
?^yh5   
            反射镜单元阵列		 5cNzG4z  
 /[0 /8f6  
 }d~FTre  
 L yA(.  
√
y`B!6p 5j  
由DOE产生的光分布
/qkIoF2  
高帽		 #Lxj )  
√		 8v)~J}[Bz  
 ^pQ;0[9Y0  
√		 0ZID @^  
√
TNFm7}=  
平顶		 bF Y)o Z  
√		 R8r[;u\iV  
 {ZsWZJ!  
√		 d T,m{[+  
√
-{:Lx E  
焦线		 j=jrzG+`  
√		 h&k ^l,  
 E-U;8cOMv  
√		 <C.$Db&9  
√
;DgX"Uzm  
二元二维强度分布		 <j8&u/Za~'  
 R:IS4AaS  
 ,?~UpsUx  
√		 ! ^*;c#  
√
Fx88 R !  
任意二维强度分布		 .vOpU4  
 i;'X}KW  
 Tk#&Ux{ZJ  
√		 hq8/`u YF  
√
%]sEt{  
点阵		 "MS`d+rf\  
√		 *~<]|H5~  
 C(|T/rQ-  
√		 %J ( }D7-,  
√
#2vG_B<M)  
点线		 Oi%~8J>  
√		 Y %D*O  
 PN^1  
√		 v/ 00L R  
√
:-W CW);N  
整形和匀滑
ZRq}g:  
单色LED		 CT:eV7<>s  
√		 gZ >orZL'  
 -^xKG'uth  
√		 xE-`Bb  
√
ND9>`I 5  
白光LED		 `# M.t);^  
√		 Q.E^9giC  
 [qD<U%Hi  
  q>.t~  
√
rB&j"p}Q  
准分子激光		 RJs G]`  
√		 |`;1p@w"  
 GH+FZ (F  
√		 NG W{Z~l  
$No>-^ )  
常见光束整形推荐使用的工具箱
5<BV\'  
推荐的工具箱		 ,, #rv-*  
√		 lGHu@(n<  
√		 GKx,6E#JM  
√		 sS2E8Z2  
√
3) Awj++  
优化
~rJw$v  
局部和全局参数优化		 hsVJ&-#  
√		 @C [|'[xQ  
 I)%jPH:ua  
 Q;,3W+(  
P<JkRX  
使用参数运行的全局优化		 X%1.mTU~K  
√		 J8?6G&0H  
 Odjd`DD1  
 {UC<I.5X  
z.Kq}r^  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 l3#dfW{  
 tBI+uu aa2  
 d47:2Zj  
√		 D!$ =oK  
aKzD63  
单元阵列设计算法		 |laKntv2  
 8=o5;]Cg  
 k:@Ls  
 @`8 B} C  
√
D!T4k]^  
公差仿真
uW'4 Kt  
高度公差		 j!o3g;j  
 ]`H.qV  
 ^JVP2L>o*  
√		 :.<TWBoV  
√
+9F#~{v`4a  
掩膜蚀刻深度公差		 GJ_)Cl+5E  
√		 EA E\Xv  
 [ .uaO  
√		 "t&k{\$\  
ugPI1'f  
边缘圆滑模拟		 EAXU{dRV  
√		 :k/U7 2  
 6|qvo+%  
√		 'nt,+`.y6  
TZyQOjUu  
对准误差		 m_I$"ge  
√		 LVl0:!>~  
 ?,DbV|3 _\  
√		 4l UE(#kUM  
√
E!l1a5qB  
波长误差		 KrG6z#)Uz  
 koY8=lh/  
 gO!h<1!  
√		 5(`GF|  
√
wSF#;lqd  
远场和近场分布的变化		 n$Fm~iPo,  
√		 W2Z]?l;vQQ  
 &U)s%D8e;d  
√		 c} ET#2,  
√
kzpbs?<;  
由参数运行产生的实验系列		 9<CUsq@i:  
√		 U(LR('-h  
 Qnx92   
√		 tvxcd*{  
√
gt(nZ  
加工数据的导出
u$p|hd d  
GDSII文件		 (gB=!1/|G  
√		 ua-|4@YO  
 >g0@ Bk  
√		   NX_S  
√
+%9Y7qol  
CIF文件		 K# < Wt5  
√		 (kOv  
 <yO9j   
√		 =Fl4tY#X  
CoXL;\  
位图文件		 $_5v^QL  
√		 A|Gqjy^;@  
 &bu`\|V  
√		 $m oa8  
.tsB$,/  
ASCII/.csv文件		 *3Z#r  
√		 bA,D]  
 a Z, Wa-k  
√		 #eyx  
√
Z@A1+kUS  
Point-Cloud文件		 ) <~7<.0  
√		 ^- Ji]5~  
 boovCW  
√		 HbVm O]#$D  
^ ?9 ~R"  
STL文件		 TY?io@  
√		 ka%pS  
 0M-AIQ5  
√		 O0YGjS|d  
iO`f{?b  
蚀刻掩膜的计算		 CZ}tQx5ga  
√		 vdzC2T  
 f` J"A:  
√		 ]!w52kF7  
√
{qyo#  
自定义
N6'Y N10  
可编程元件		 =&GV\ju  
√		 o*'3N/D~  
 )dcGV$4t[  
 5]JXXdt  
v}@ 6"\  
可编程探测器		 ljmHX2p  
√		 cG6+'=]3<  
 r; !us~  
 >=Veu; A  
|lY8u~%  
可编程光源		 N@S;{uK  
√		 <h[^&CY{  
 ?zqXHv#x  
 (fS4qz:&l  
m e" <+6  
MATLAB可编程界面		  >TgO|mq  
√		 l[Oxf|  
 )DMbO"7  
 q~C6+  
(ol 3vt  
C#可编程界面		 c\opPhJ! 0  
√		 V,}cDT>  
 T^W8_rm *3  
 x g@;d  
B}.ia_&DLR  
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