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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
!oSLl.fQd  
微光学元件的分析和设计
,j;PRJ  
微透镜阵列
(*^DN{5  
#0 y <a:}R  
:=g.o;(/N  
w[fDk1H)  
\d68-JS@~  
蝇眼聚光镜
/J%do]PDl  
(}H ,ng'4  
VK .^v<Yo  
g,lY ut  
mX_)b>iW  
衍射扩散器
_'iDF  
;x[pM_  
[STje8+V  
R8sck)k'}  
`q?RF+  
单元阵列    光栅单元阵列
hTS|_5b  
)LFD6\z1pl  
sWxK~Yg  
MQw9X  
;w6s<a@Zh  
            棱镜单元阵列
Xz1c6mX|o  
=y;@?=T  
J%P)%yX  
>q|Q-I~gs  
OD4W}Y.  
            反射镜单元阵列
qzdaN5  
Qilj/x68  
"@t-Cy:!O  
pcpxe&S  
`!Ln|_,d  
DOE产生的光分布
QWhp:] }  
高帽
2ij/N%l  
9eSRCLhgD  
kkfCAM  
NG-`ag`s  
9".Uc8^p/F  
平顶
HTNA])G  
02M7gBS  
Vu|dV\N0*  
ABiC9[Q0  
 HD|sr{Z%  
焦线
 z\$;'  
aJQXJ,>Lv  
Ar~{= X  
!u0U5>ccw  
5rF/323z  
二元二维强度分布
1Zq   
Q!) z)-hI  
.HOY q  
R#fy60  
o}!&y?mp  
任意二维强度分布
AO8:|?3S  
rG5i-'  
U,ELqi\  
GU#Q}L2  
5=.7\#D  
点阵
pP oxVvG{  
C zpsqTQ  
wLSjXpP8  
Ei~]iZ}  
hs,5LV)|y  
点线
V%o#AfMI_  
jDp]R_i  
*vXDuhQ  
p}r yKW\cJ  
9<~,n1b>x  
整形和匀滑
ZK!4>OuH`  
单色LED
e18T(g_i  
F]Pul|.l  
.Wh6(LDY(  
3liq9P_  
%N1T{   
白光LED
l]/> `62  
|y'b21 7t  
\hu':@}  
D~7%};D[  
v(k*A:  
准分子激光
y8}"DfU.  
zo87^y5?G  
BMe72  
U0zW9jB  
yh4jRe?f  
常见光束整形推荐使用的工具箱
89ZDOji?O  
推荐的工具箱
yCZ2^P!a  
9PWm@ Nlf  
vr<)Ay  
fg< ( bXC  
./2Z?,  
优化
/S/tE  
局部和全局参数优化
|\rSa^:5  
%oMWcgsdJi  
{W]bU{%.  
`g2&{)3k  
?@yank|  
使用参数运行的全局优化
S/KVN(Z  
Ae3,W  
Cd$dn HVh  
(xjqB{U  
K%kXS  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
m`[oT\  
|2[S/8g!  
q.U*X5  
{_?T:`  
t*5z1T?  
单元阵列设计算法
.Gjr`6R  
>2 FAi.,  
G*8+h  
,s\x]bh  
Omp i~  
公差仿真
H^]Nmd8Q)  
高度公差
" &_$V@S  
u4`mQ6  
UZ[/aq  
TW'E99wG  
w++B-_  
掩膜蚀刻深度公差
CM+F7#T?n  
!hwzKm=%N  
x e"4u JO  
6~:W(E}  
V=G b>_d  
边缘圆滑模拟
a!TBk=P  
wUh3Hd'  
rC* sNy2  
61ON  
pCB 5wB  
对准误差
jh<TdvF2$  
U-wq- GT  
[q0_7  
{mCKTyN+  
[ t>}SE  
波长误差
.( TQ5/ ~  
Nb|3?c_  
SH@  
0A #9C09  
~u O:tL  
远场和近场分布的变化
0~PXa(!^K  
1NE!=;VOl  
,v$2'm)V  
qK 9L+i  
j?d;xj  
由参数运行产生的实验系列
^P3g9'WK  
c%xED%X9  
!q7;{/QM6  
IS5.i95m  
twYB=68  
加工数据的导出
CPF>^Mp#  
GDSII文件
c5T~0'n  
L V[66<T  
I>YtWY|ed  
Z=e[ !c  
yi AG'[  
CIF文件
Nf/ hr%jL  
=:CGl   
onWYT}c{  
LP0;n\  
&F<J#cfe8  
位图文件
[t "_}t=w  
Q*mMF@-:  
xy-$v   
G>_42Rp  
Hz!U_?  
ASCII/.csv文件
)$lSG}WD  
 9:K  
`ohF?5J,  
8vX*SrM  
#LrCx"_&  
Point-Cloud文件
]$?zT`>(F  
?}1JL6mF{  
YP .%CD(K  
W=;(t  
"OS]\-  
STL文件
YQB]t=Ha  
L8?Z!0D/h  
u #=kb5}{  
~' Qpf 8)  
]'1N_m]?  
蚀刻掩膜的计算
[# tT o;q  
/RXk[m-  
>r4Y\"/j  
%xbz&'W,  
S7#^u`'Q_^  
自定义
9rf|r 3  
可编程元件
oRvm*"8B  
"z(fBnv  
Bgo"JNM  
,G!_ SZ  
9bzYADLI  
可编程探测器
(X`t"*y"  
t UAY]BJ*s  
[ ;3EzZL  
]Xkc0E1  
r/s&ee  
可编程光源
z }b U\3!  
;hfG$ {l;  
fXXm@tMx>  
JG+g88  
GD6'R"tJ  
MATLAB可编程界面
9(FcA5Y  
%.atWX`b  
ETH#IM8J  
onJ[&f  
9OJ\n|,(  
C#可编程界面
-)->Jx:{  
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r^o}Y  
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i]^*J1a  
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