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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
][~rk?YY  
微光学元件的分析和设计
8_3WCbe/  
微透镜阵列		 mOb@w/f  
√		 \*c=bz&l  
 '(8} <(%  
 yaAg!mW  
!@> :k3DC&  
蝇眼聚光镜		 KC54=Rf  
√		 N]G`]  
 ppO!v?  
 >,f5 5  
e(9K.3 @{  
衍射扩散器		 <O{G&  
√		 cN)noGkp  
 ^L'<%_# .  
√		 ]K<7A!+@@p  
##U/Wa3  
单元阵列    光栅单元阵列		 A$TF a:O|  
 <p[RhP  
√		 M ED_#OS  
 s$/ Z+"f(  
√
:oJ!9\5  
            棱镜单元阵列		 bW zUWLa  
 ShOB"J-  
 h5[.G!  
  FO qD  
√
?q"9ZYX<  
            反射镜单元阵列		 wT:mfS09N  
 ~bfjP2 g  
 kqLpt  
 ),0Ea~LB4  
√
'WwD$e0=  
由DOE产生的光分布
;5}"2hU>  
高帽		 Q5;EQ .#  
√		 t s=+k/Z  
 ,D`\ R V  
√		 5ma~Pjt8}  
√
 j g_;pn  
平顶		 Na`vw  
√		 "9;Ay@'B  
 $HV`bJ5!L*  
√		 /fxv^C82yv  
√
r D|Bj(X8  
焦线		 J(`(PYo\i  
√		 gR k+KGKn<  
 1VG7[#Zy  
√		 UujKgL4  
√
n Ayyjd3!S  
二元二维强度分布		 J8h H#7WMS  
 T2k# "zD  
 6CzN[R}  
√		 RaB%N$.9s  
√
SY+$8^  
任意二维强度分布		 0EUC8Ni  
 yzz(<s:o/  
 {c=H#- A  
√		 G88g@Exk  
√
K<"Y4O#]  
点阵		 )n$RHt+:>  
√		 WOf*1C  
  Qs\!Kk@  
√		 5i&+.?(Z=  
√
}U$p[Gi<  
点线		 8MCSU'uQ  
√		 fngk<$lvg  
 U9yR~pw  
√		 | PzXN+DW  
√
@4j!M1} 4  
整形和匀滑
O%busM$P)/  
单色LED		 'M3V#5l)@|  
√		 BxGz4  
 _<;westq  
√		 #jX%nqMxW  
√
yyu f  
白光LED		 @m ?&7{y#?  
√		 Pqv9> N|  
 r!O4]j_3  
 Tg#%5~IX  
√
=VDtZSa!$^  
准分子激光		 !\N|$-M  
√		 0D_{LBO6LU  
 y ;T=u(}  
√		 k[;(@e@c  
kG]FB.@bG  
常见光束整形推荐使用的工具箱
.5?Md  
推荐的工具箱		 K7gqF~5x~  
√		 J l9w/T  
√		 /? HLEX  
√		 t[?O*>  
√
j?9fb  
优化
%%Z|6V74  
局部和全局参数优化		 $61*X f+*  
√		 rQD7ZN_ R  
 D}:M0EBS  
 ao.v]6a  
,daZ KxT  
使用参数运行的全局优化		 >Y[nU~w  
√		 A;#GU`  
 5K %  
 V/i7Zh#2:  
Xw[|$#QKM  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 .#$D\cwV  
 9<S};I;  
 ]NgEN  
√		 :6X?EbXhK  
=f{YwtG  
单元阵列设计算法		 gay6dj^  
 M4(`o^n  
 Cz1o@ rt  
 Um\_G@  
√
p(]o#$ 6[  
公差仿真
ISl-W1u}  
高度公差		 >@NGX-gp  
 #9) D.d|5  
 _f5n t:-  
√		 QnNddCiu=  
√
5(sWV:_2  
掩膜蚀刻深度公差		 p[lciWEW  
√		 `jyBF  
 rq>Om MQ67  
√		 *wetPt)~v_  
C [h^bBq  
边缘圆滑模拟		 i VIpe  
√		 D,J yb0BW  
 B '"RKs]  
√		 nofK(0TF  
K<Qy1y~[  
对准误差		 |&]04  
√		 -^%YrWgd?  
 oDEvhN T  
√		 <X,0\U!lL  
√
)0W-S9e<  
波长误差		 ,>Lj>g{~  
 #XJ`/\E]  
 Pwh0Se5Z  
√		 *(sUz?t  
√
KDzTe9  
远场和近场分布的变化		 nm597WeZp  
√		 6$|!_94>*)  
 9s}y*Vp  
√		 pZv>{=2hOS  
√
9 L^:N)-  
由参数运行产生的实验系列		 z1u1%FwOfM  
√		 f^63<gqY  
 2'6:fr=R  
√		 wpLC,  
√
L)Iv] u  
加工数据的导出
)D1=jD(  
GDSII文件		 vtS [Tkk|A  
√		 c/q -WEKL  
 ?Q XS?  
√		 T8ftBIOi  
√
]7ZY|fP2  
CIF文件		 RC| t-(Z  
√		 5@xl/  
 Fl'+ C  
√		 7u9!:}Tu  
`>mT/Rmb@  
位图文件		 a8Q=_4 l  
√		 jK{)gO  
 oMj;9,WK'  
√		 eZ^-gk?  
*75?%l  
ASCII/.csv文件		 c5t],P  
√		 $Jt+>.44  
 ,?Bo x  
√		 9<ev]XaSl  
√
DfNX@gbo  
Point-Cloud文件		 UvtSNP&/2d  
√		 @}{~Ofs  
 i!!1^DMrw  
√		 m:1f7Z>  
8 )w75+&  
STL文件		 #l!Sz247  
√		 x3JX}yCX  
 ]^63n/Twj  
√		 +4,v. B@  
+Xg]@IS-eg  
蚀刻掩膜的计算		 f;k'dqlv  
√		 ~HH#aXh*  
 O#e'.n!rI  
√		 <opBOZ d  
√
W\tSXM-Hg  
自定义
]i3 1@O  
可编程元件		 %S<0l@=5`l  
√		 1Ue;hu'q:  
 '7!b#if  
 (>E 70|T  
IfH*saN7  
可编程探测器		 $ 'B0ZL  
√		 p)$DpNL% p  
 Lwg@*:`d  
 T-: @p>  
CCp8,  
可编程光源		 J1?)z+t9~  
√		 XL/?v" /  
 k|^e=I   
 1?6;Oc^  
SYPG.O?I  
MATLAB可编程界面		 !NNq(t  
√		 nH#|]gVI  
 wX_s./#JJ  
 @c<*l+Qc  
q&h&GZ  
C#可编程界面		 VPB,8zb ]  
√		 8u,f<XHi"a  
 h|_E>6d)  
 iI2 7N'g  
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