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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
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piaodongdewo
2014-10-28 13:33
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:
LED
和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
!oSLl.fQd
微光学元件的分析和设计
,j;PRJ
微透镜阵列
(*^DN{5
√
#0y<a:}R
:=g.o;(/N
w[fDk1H)
\d68-JS@~
蝇眼聚光镜
/J%do]PDl
√
(}H ,ng'4
VK .^v<Yo
g,lY ut
mX_)b>iW
衍射扩散器
_'iDF
√
;x[pM_
[STje8+V
√
R8sck)k'}
`q?RF+
单元阵列 光栅单元阵列
hTS|_5b
)LFD6\z1pl
√
sWxK~Yg
MQ w9X
√
;w6s<a@Zh
棱镜单元阵列
Xz1c6mX|o
=y;@?=T
J%P)%yX
>q|Q-I~gs
√
OD4W}Y.
反射镜单元阵列
qzdaN5
Qilj/x68
"@t-Cy:!O
pcpxe&S
√
`!Ln|_,d
由
DOE
产生的光分布
QWhp:]}
高帽
2ij/N%l
√
9eSRCLhgD
kkfCAM
√
NG-`ag`s
√
9".Uc8^p/F
平顶
HTNA])G
√
02M7gBS
Vu|dV\N0*
√
ABiC9[Q0
√
HD|sr{Z%
焦线
z\$;'
√
aJQXJ,>Lv
Ar~{= X
√
!u0U5>ccw
√
5rF /323z
二元二维强度分布
1Zq
Q!)z)-hI
.HOY q
√
R#fy60
√
o}!&y?mp
任意二维强度分布
AO8:|?3S
rG5i-'
U,ELqi \
√
GU#Q}L2
√
5=.7\#D
点阵
pP oxVvG{
√
C zpsqTQ
wLSjXpP8
√
Ei~]iZ}
√
hs,5LV)|y
点线
V%o#AfMI_
√
jDp]R_i
*vXDuhQ
√
p}r yKW\cJ
√
9<~,n1b>x
整形和匀滑
ZK!4>OuH`
单色
LED
e18T(g_i
√
F]Pul|.l
.Wh6(LDY(
√
3li q9P_
√
%N1T{
白光
LED
l]/> `62
√
|y'b217t
\hu':@}
D~7%};D[
√
v(k*A:
准分子激光
y8}"DfU.
√
zo87^y5?G
BMe72
√
U0zW9jB
yh4jRe?f
常见光束整形推荐使用的工具箱
89ZDOji?O
推荐的工具箱
yCZ2^P!a
√
9PWm@ Nlf
√
vr<)Ay
√
fg< (bXC
√
./2Z?,
优化
/S/tE
局部和全局参数优化
|\rSa^:5
√
%oMWcgsdJi
{W]bU{%.
`g2&{)3k
?@yank|
使用参数运行的全局优化
S/KVN(Z
√
Ae3,W
Cd$dnHVh
(xjqB{U
K%k XS
迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
m`[oT\
|2[S/8g!
q.U*X5
√
{_?T:`
t*5z1T?
单元阵列设计算法
.Gjr`6R
>2FAi.,
G* 8+h
,s\x]bh
√
Ompi~
公差仿真
H^]Nmd8Q)
高度公差
" &_$V@S
u4`mQ6
UZ[/aq
√
TW'E99wG
√
w++B-_
掩膜蚀刻深度公差
CM+F7#T?n
√
!hwzKm=%N
xe"4u JO
√
6~:W(E}
V=G b>_d
边缘圆滑模拟
a!TBk=P
√
wUh3Hd'
rC* sNy2
√
61ON
pCB 5wB
对准误差
jh<TdvF2$
√
U-wq- GT
[q0_7
√
{mCKTyN+
√
[ t>}SE
波长误差
.(TQ5/ ~
Nb|3?c_
SH@
√
0A#9C09
√
~u O:tL
远场和近场分布的变化
0~PXa(!^K
√
1NE!=;VOl
,v$2'm)V
√
qK9L+i
√
j?d;xj
由参数运行产生的实验系列
^P3g9'WK
√
c%xED%X9
!q7;{/QM6
√
IS5.i95m
√
twYB=68
加工数据的导出
CP F>^Mp#
GDSII
文件
c5T~0 'n
√
LV[66<T
I>YtWY|ed
√
Z=e[ !c
√
yi AG'[
CIF
文件
Nf/hr%jL
√
=:CGl
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√
LP0;n\
&F<J#cfe8
位图文件
[t"_}t =w
√
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Hz!U_?
ASCII/.csv
文件
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Point-Cloud
文件
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YP .%CD(K
√
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STL
文件
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√
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√
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]'1N_m]?
蚀刻掩膜的计算
[# tT o;q
√
/RXk[m-
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√
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√
S7#^u`'Q_^
自定义
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可编程元件
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√
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Bgo"JNM
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可编程探测器
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√
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[ ;3EzZL
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r/s&ee
可编程光源
z}b U\3!
√
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MATLAB
可编程界面
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C#
可编程界面
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