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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
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piaodongdewo
2014-10-28 13:33
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:
LED
和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
][~rk?YY
微光学元件的分析和设计
8_3WCbe/
微透镜阵列
mOb@w/f
√
\*c=bz&l
'(8} <(%
yaAg!mW
!@>:k3DC&
蝇眼聚光镜
KC54=Rf
√
N]G`]
ppO!v?
>,f5 5
e(9K.3@{
衍射扩散器
<O{G&
√
cN)noGkp
^L'<%_#.
√
]K<7A!+@@p
##U/Wa3
单元阵列 光栅单元阵列
A$TFa:O|
<p[RhP
√
MED_#OS
s$/Z+"f(
√
:oJ!9\5
棱镜单元阵列
bWzUWLa
ShOB"J-
h5[.G!
FOqD
√
?q"9ZYX<
反射镜单元阵列
wT:mfS09N
~bfjP2 g
kqLpt
),0Ea~LB4
√
'WwD$e0=
由
DOE
产生的光分布
;5}"2hU>
高帽
Q5;EQ.#
√
ts=+k/Z
, D`\ RV
√
5ma~Pjt8}
√
j g_;pn
平顶
Na`vw
√
"9;Ay@'B
$HV`bJ5!L*
√
/fxv^C82yv
√
r D|Bj(X8
焦线
J(`(PYo\i
√
gR k+KGKn<
1VG7[#Zy
√
UujKgL4
√
nAyyjd3!S
二元二维强度分布
J8hH#7WMS
T2k# "zD
6CzN[R}
√
RaB%N$.9s
√
SY+$8^
任意二维强度分布
0EUC8Ni
yzz(<s:o/
{c=H#- A
√
G88g@Exk
√
K<"Y4O#]
点阵
)n$RHt+:>
√
WOf*1C
Qs\!Kk@
√
5i&+.?(Z=
√
}U$p[Gi<
点线
8MCSU'uQ
√
fngk<$lvg
U9yR~pw
√
| PzXN+DW
√
@4j!M1}4
整形和匀滑
O%busM$P)/
单色
LED
'M3V#5l)@|
√
BxGz4
_<;westq
√
#jX%nqMxW
√
yyuf
白光
LED
@m ?&7{y#?
√
Pqv9>N|
r!O4]j_3
Tg#%5~IX
√
=VDtZSa!$^
准分子激光
!\N|$-M
√
0D_{LBO6LU
y ;T=u(}
√
k[;(@e@c
kG]FB.@bG
常见光束整形推荐使用的工具箱
.5?Md
推荐的工具箱
K7gqF~5x~
√
J l9w/T
√
/? HLEX
√
t[?O*>
√
j?9fb
优化
%%Z|6V74
局部和全局参数优化
$61*X f+*
√
rQD7ZN_ R
D}:M0EBS
ao.v]6a
,daZKxT
使用参数运行的全局优化
>Y[nU~ w
√
A;#GU`
5K %
V/i7Z h#2:
Xw[|$#QKM
迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
.#$D\cwV
9<S};I;
]NgEN
√
:6X?EbXhK
=f{YwtG
单元阵列设计算法
gay6dj^
M4(`o^n
Cz1o@rt
Um\_G@
√
p(]o#$ 6[
公差仿真
ISl-W1u}
高度公差
>@NGX-gp
#9)D.d|5
_f5n t:-
√
QnNddCiu=
√
5(sWV:_2
掩膜蚀刻深度公差
p[lciWEW
√
`jyBF
rq>OmMQ67
√
*wetPt)~v_
C [h^bBq
边缘圆滑模拟
i VIpe
√
D,Jyb0BW
B'"RKs]
√
nofK(0TF
K<Qy1y~[
对准误差
| &]04
√
-^%YrWgd?
oDEvhNT
√
<X,0\U!lL
√
)0 W-S9e<
波长误差
,>Lj>g{~
#XJ`/\E]
Pwh0Se5Z
√
*(sUz?t
√
KDzTe9
远场和近场分布的变化
nm597WeZp
√
6$|!_94>*)
9s}y*Vp
√
pZv>{=2hOS
√
9L^:N)-
由参数运行产生的实验系列
z1u1%FwOfM
√
f^63<gqY
2'6:fr=R
√
wpLC,
√
L)Iv]u
加工数据的导出
)D1=jD(
GDSII
文件
vtS[Tkk|A
√
c/q -WEKL
?Q XS?
√
T8ftBIOi
√
]7ZY|fP2
CIF
文件
RC| t-(Z
√
5@xl/
Fl'+ C
√
7u9!:}Tu
`>mT/Rmb@
位图文件
a8Q=_4 l
√
jK{)gO
oMj;9,WK'
√
eZ^-gk?
*75?%l
ASCII/.csv
文件
c5t],P
√
$Jt+>.44
,?Bo x
√
9<ev]XaSl
√
DfNX@gbo
Point-Cloud
文件
UvtSNP&/2d
√
@}{~Ofs
i!!1^DMrw
√
m:1f7Z>
8 )w75+&
STL
文件
#l!Sz247
√
x3JX}yCX
]^63n/Twj
√
+4,v.B@
+Xg]@IS-eg
蚀刻掩膜的计算
f;k'dqlv
√
~HH#aXh*
O#e' .n!rI
√
<opBOZ d
√
W\tSXM-Hg
自定义
]i3 1@O
可编程元件
%S<0l@=5`l
√
1Ue;hu'q:
'7!b#if
(>E70|T
IfH*saN7
可编程探测器
$ 'B0ZL
√
p)$DpNL% p
Lwg@*:`d
T-: @p>
CCp8,
可编程光源
J 1?)z+t9~
√
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k|^e=I
1?6;Oc^
SYPG.O?I
MATLAB
可编程界面
!NNq( t
√
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wX_s./#JJ
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C#
可编程界面
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√
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