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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
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piaodongdewo
2014-10-28 13:33
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:
LED
和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
b#Jo Xa9
微光学元件的分析和设计
L#`7 FaM?
微透镜阵列
g;(_Y1YQ
√
BSOjyy1f
&K+
Q^[e/U,
:m]/u( /N
蝇眼聚光镜
Ft )t`E'%j
√
\5t`p67Ve_
7t ZW^dF
Tt{U"EFO
*Kp}B}}J
衍射扩散器
$K+4C0wX`
√
tCuN?_UG
UaH26fWs
√
i/5y^
z\e>DdS
单元阵列 光栅单元阵列
IRlN++I!
aUKh})B
√
B jH ~Ml2
cSY2#u|v
√
x1 .3W j
棱镜单元阵列
3DxZ#/!
f@wsSm
C$$"{FfgU"
\Pw8wayr%
√
I(z>)S'7r
反射镜单元阵列
)$ ofl%+
r{pI-$
o,*folL
s,1pZT <E
√
>{O[t2&
由
DOE
产生的光分布
o>xxmyW|
高帽
Y&?|k'7
√
8vz_~p9%j
:NwMb^>
√
^tm++
√
1_Dn?G^H
平顶
3R)cbwL
√
N oX_?
;whFaQi 4
√
A2g"=x[1@K
√
"|.+L
焦线
7&;[an^w
√
TEaD-mY3
m[g< K
√
]wkSAi5z*
√
>wg9YZ~8
二元二维强度分布
QrNL7{
(ybtXoQs
BNL8hK`D
√
egxJ3.
√
>D`fp
任意二维强度分布
WuP([8
jm#d7@~4
?l\gh1{C
√
AhbT/
√
e6{[o@aM{
点阵
Ac5o K
√
Z!]U&Ax`Z
[x$eF~Kp
√
[}9XHhY1O=
√
b2}QoJ@`
点线
5,0wj0l
√
,IT)zCpaBP
(:fE _H2z
√
}GoOE=rhY
√
48~m=mI
整形和匀滑
ld!6|~0U
单色
LED
uwH)/BW)[
√
JR a*;_
CYFas:rPLT
√
NqQ(X'W7
√
#)PGQ)(
白光
LED
^+-L;XkeY
√
O&?CoA?
;8;~C"
RZV1:hNN
√
tZNad
准分子激光
S"KTL *9D
√
XJxs4a1[t
/[0 /8f6
√
]!tYrSM!
}%>$}4 ,
常见光束整形推荐使用的工具箱
>nIcFm
推荐的工具箱
+{Jf]"KD
√
>e$^#\D
√
&W!d}, ;
√
yz2oS|0 '
√
bJ,=yB+0
优化
2$i 0yPv
局部和全局参数优化
eVCkPv*
√
(fGJP*YO
Etr8lm E
HyX4ob[X
t!=~5YgKs
使用参数运行的全局优化
/"%IhX-
√
F{H0 %
c7nk~K[6
^`>Ysc(@&
L%s4snE
迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
g*AD$":
kJ<Xq
.vOpU4
√
i;'X}KW
NK#"qK""k
单元阵列设计算法
#<i><EG
hPXVPLm7I
4\'81"ei
seV;f^-hR
√
RAuAIiQ
公差仿真
:Ye#NPOI
高度公差
>*i8RqU
f_P+qm
"1`i]Y\'
√
soVZz3F
√
qT>& v_<
掩膜蚀刻深度公差
rPGE-d3
√
;!Z7-OZX
v}@6"\
√
2Y{9Df
SfT ]C~#$N
边缘圆滑模拟
Xw)+5+t"{
√
B4=gMVp1
k2;yl_7
√
H;`@SJBf
nr;/:[F
对准误差
S)?B I
√
u5[Wr :
/qG?(3
√
Dl6zl6q?
√
%# # bg<
波长误差
2e&Zs%u
FliN@RNo
**"sru;@=
√
;$]R#1i44
√
o?=u#=
远场和近场分布的变化
\)hmg
√
8~7EWl
gV0ZZ"M
√
f,*e?9@;s
√
Gf>T{Q`,is
由参数运行产生的实验系列
Sw~<W%! ?
√
r&w>+KIt
DpAuI w7|
√
(RF6K6~
√
=`")\?z}
加工数据的导出
IiL?@pIq
GDSII
文件
F6Ixu_s
√
4Q.70
1'=brc YR
√
P`0aU3pl
√
4Y'qoM;
CIF
文件
x<].mx
√
8G=4{,(A
@eul~%B{X
√
Sc(2c.HO*
~![R\gps
位图文件
Xc.~6nYp
√
U i;o/Z3
7~ 2X/
√
]yyfE7{q
n*V^Qf
ASCII/.csv
文件
HV>W f"1
√
OTzh=Z^r
DF#Ob( 1
√
?tOzhrv
√
2>mDT
Point-Cloud
文件
rv^j&X+EH
√
){/y-ixH
TE/2}XG)
√
h0!j ;fn
OLv(
STL
文件
1}N5WBp
√
s%Z3Zj(,8(
VF4F7'
√
,30&VW##
B^oXUEOImq
蚀刻掩膜的计算
lA{Sr0fTP
√
*Owq_)_(|
7eY*Y"GX
√
^<< Wqmx
√
1=s%.0
自定义
z19y>j
可编程元件
pNDL:vMWP
√
@wB$qd;v
Hkpn/,D5
E*[X\70
,cS|fG
可编程探测器
Yu'lD` G
√
G.9?ApG9
b-wFnMXk+
"g0Ln5&
jn]{|QZ
可编程光源
!Y5O3^I=u
√
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o-R;EbL
FFPO?y$
,1od]]>(O
MATLAB
可编程界面
5gi`&t`
√
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UnGG%
C#
可编程界面
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