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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
b#Jo Xa9  
微光学元件的分析和设计
L#`7FaM?  
微透镜阵列
g;(_Y1YQ  
BSOjyy1f  
&K+  
Q^[e/U,  
:m]/u( /N  
蝇眼聚光镜
Ft)t`E'%j  
\5t`p67Ve_  
7t ZW^dF  
Tt{U"EFO  
*Kp}B}}J  
衍射扩散器
$K+4C0wX`  
tCuN?_ UG  
UaH26fWs  
i/5y^  
z\e>DdS  
单元阵列    光栅单元阵列
IRlN++I!  
aUKh}) B  
BjH~Ml2  
cSY2#u|v  
x1.3W j  
            棱镜单元阵列
3DxZ#/!  
f@wsS m  
C$$"{FfgU"  
\Pw8wayr%  
I(z>)S'7r  
            反射镜单元阵列
)$ ofl%+  
r{pI-$  
o,*folL  
s,1pZT <E  
>{O[t2&  
DOE产生的光分布
o>xxmyW|  
高帽
Y&?|k'7  
8vz_~p9%j  
:NwMb^>  
^tm++  
1_Dn?G^H  
平顶
3R)cbwL  
N oX_?  
;whFaQi 4  
A2g"=x[1@K  
"| .  +L  
焦线
7&;[an^w  
TEaD-mY3  
m [g< K  
]wkSAi5z*  
>wg9YZ~8  
二元二维强度分布
QrNL7{  
(ybtXoQs  
BNL8hK`D  
egxJ3.  
>D`fp  
任意二维强度分布
WuP([8  
jm#d7@~4  
?l\gh1{C  
AhbT/  
e6{[o@aM{  
点阵
Ac5o K  
Z!]U&Ax`Z  
[x$eF~Kp  
[}9XHhY1O=  
b2}QoJ@`  
点线
5,0 wj0l  
,IT)zCpaBP  
(:fE _H2z  
}GoOE=rhY  
48~m=mI  
整形和匀滑
ld!6|~0U  
单色LED
uwH)/BW)[  
JR a*;_  
CYFas:rPLT  
NqQ(X'W7  
#)PGQ)(  
白光LED
^+- L;XkeY  
O&?CoA?  
;8;~C "  
RZV1:hNN  
tZNad  
准分子激光
S"KTL*9D  
XJxs4a1[t  
/[0 /8f6  
]!tYrSM!  
}%>$}4 ,  
常见光束整形推荐使用的工具箱
>nIcF m  
推荐的工具箱
+{Jf]"KD  
>e$^# \D  
&W!d}, ;  
yz2oS|0'  
bJ,=yB+0  
优化
2$i 0yPv  
局部和全局参数优化
eVCkPv *  
(fGJP*YO  
Etr8lm E  
HyX4ob[X  
t!=~5YgKs  
使用参数运行的全局优化
/"%IhX-  
F{H0 %  
c7nk~K[6  
^`>Ysc(@&  
L%s4snE  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
g*AD$":  
kJ<Xq   
.vOpU4  
i;'X}KW  
NK#"qK""k  
单元阵列设计算法
#<i> <EG  
hPXVPLm7I  
4\'81"e i  
seV;f^-hR  
RAuAIiQ  
公差仿真
:Ye#NPOI  
高度公差
>*i8RqU  
f_P+qm  
"1`i]Y\'  
soVZz3F  
qT>& v_<  
掩膜蚀刻深度公差
rPGE-d3  
;!Z7-OZX  
v}@ 6"\  
2Y{9Df  
SfT]C~#$N  
边缘圆滑模拟
Xw)+5+t"{  
B4=gMVp1  
k2;yl _7  
H;`@SJBf  
nr;/:[F  
对准误差
S)?B  I  
u5[Wr:  
/qG?(3  
Dl6zl6q?  
%## bg<  
波长误差
2e &Zs%u  
FliN@RNo  
**"sru;@=  
;$]R#1i44  
o? =u#=  
远场和近场分布的变化
\)hmg  
8~7EWl  
gV0ZZ"M  
f,*e?9@;s  
Gf>T{Q`,is  
由参数运行产生的实验系列
Sw~<W%! ?  
r&w>+KIt  
DpAuI w7|  
(RF6K6~  
=`")\?z}  
加工数据的导出
IiL?@pIq  
GDSII文件
F6 Ixu_s  
4 Q.70  
1'=brc YR  
P`0aU3pl  
4Y'qo M;  
CIF文件
x<].mx  
8G=4{,(A  
@eul~%B{X  
Sc(2c.HO*  
~![R\gps  
位图文件
Xc.~6nYp  
U i;o/Z3  
7~ 2X/  
]yyfE7{q  
n*V^Q f  
ASCII/.csv文件
HV>Wf"1  
OT zh=Z^r  
DF#Ob( 1  
?tOzhrv  
2>mDT  
Point-Cloud文件
rv^j&X+EH  
){/y-ixH  
TE/2}XG)  
h0!j;fn  
OLv(  
STL文件
1}N5WBp  
s%Z3Zj(,8(  
VF4F7'  
,30&VW##  
B^oXUEOImq  
蚀刻掩膜的计算
lA{Sr0f TP  
*Owq_)_ (|  
7eY*Y"GX  
^<< Wqmx  
1=s%.0  
自定义
z19y>j  
可编程元件
pNDL:vMWP  
@wB$qd;v  
Hkpn/,D5  
E*[X\70  
,cS|fG  
可编程探测器
Yu'lD`G  
G.9?ApG9  
b-wFnMXk+  
"g0L n5&  
jn]{|QZ  
可编程光源
!Y5O3^I=u  
:?&N/ 7  
o-R;EbL  
FFPO?y$  
,1od]]>(O  
MATLAB可编程界面
5gi`&t`  
m"`&FA  
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*V>Iv/(  
U nGG%  
C#可编程界面
$/6.4" j  
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nx=Zl:Q}  
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