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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
g}QTZT8  
微光学元件的分析和设计
$ n[7  
微透镜阵列		 DW&')gfQ  
√		 [Od9,XBa  
 %5?-g[  
 = [os<+  
arVf"3a  
蝇眼聚光镜		 S@NhEc  
√		 E=lfg8yb:  
 W r7e_  
 <|Eby!KXR  
k+GnF00N^8  
衍射扩散器		 BV?N_/DXp  
√		 ?9@Af{b t2  
 {eN{Zh5"  
√		 M`pTT5r  
~{Rt4o _W  
单元阵列    光栅单元阵列		 X3iRR{< @  
 E/$@ud|l"  
√		 PFgjWp"Y  
 L4*fF  
√
}SN44 di(  
            棱镜单元阵列		 }.V0SM6  
 |O+>#  
 o\;"|O}  
 ~V"cLTj"  
√
(`.qG &6p  
            反射镜单元阵列		 ss@}Dt^  
 #s R0*  
 '# IuY  
 C"Q=(3  
√
\If!5N  
由DOE产生的光分布
 zn;Hs]G  
高帽		 ^ O Xr: P  
√		 wp*&&0O!  
 To{G#QEgG  
√		 "q>I?UcZ  
√
.O%1)p  
平顶		 f(s3TLM  
√		 FoD/Q  
  )P9{47  
√		 E(3+o\w  
√
-WBz]GW4r  
焦线		 '[yqi1 &  
√		 mx(%tz^t  
 m/c&/6nk  
√		 &c?hJ8"  
√
o- QG& ]  
二元二维强度分布		 s.I1L?s1w?  
 ,{ L;B  
 FDd>(!>  
√		 H^PqYLj N  
√
w H_n$w  
任意二维强度分布		 .Lr)~  
 h[ZN >T  
 IL[|CB1v  
√		 ~UJu @M  
√
 e(;`9T  
点阵		 V3A>Ag+^~  
√		 +x9"#0|k;  
 zhX`~){N6  
√		 rq(~/Yc  
√
8}?Y;>s\  
点线		 E4v_2Q -w  
√		 e=n{f*KG`  
 hr!f: D  
√		 _z(5e  
√
Ij6Wz. *  
整形和匀滑
78a-3){  
单色LED		 `k}l$ih`X  
√		 S-LZ(o{ZL  
 #?$'nya*u  
√		 VM]GYz|#]  
√
iy.%kHC  
白光LED		 Q+!0)pG5#  
√		 <jRFN&"h}  
 B/sBYVU  
 3b?OW7H  
√
>\?z37 :T  
准分子激光		 csdOIF  
√		 QLB1:O>  
 16[-3cJ T  
√		 :<t{ =0G  
Vh#Mp!  
常见光束整形推荐使用的工具箱
pg?i F1  
推荐的工具箱		 r}y[r}vk  
√		 Ff Yd+]+?  
√		 n(Q\' ,C  
√		 ] [HGzHA  
√
mP)3cc5T  
优化
d@D;'2}Yc  
局部和全局参数优化		 FV^4   
√		 :zj9%4A  
 %7NsBR!y  
 ie$`pyj!x  
4j=<p@  
使用参数运行的全局优化		 U50s!Z t45  
√		 `s>UU- 9  
 ib(>vp$V  
 C?w <$DU  
OBI+<2`Oc  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 `\/toddUh[  
 P>{US1t  
 e'~-`Z9-)  
√		 r)6uX  
q6C6PPc  
单元阵列设计算法		 ^zaKO'KcV  
 y^mWG1"O  
 A[^qq UL'  
 J7'f@X~nM  
√
] Wx>)LT  
公差仿真
"w*+v  
高度公差		 *3_f &Y  
 `%t$s,TiP  
 IU Y> ih  
√		 $N}/1R^?r  
√
gf68iR.Gs  
掩膜蚀刻深度公差		 0^GbpSW{  
√		 )YzHk ;(  
 p~Hvl3SxR  
√		 kgbobolA  
Lh8bQH  
边缘圆滑模拟		 -,~;qSs  
√		 f {y]  
 2E`~ qn  
√		 ~Na=+}.q_  
x],8yR)R  
对准误差		 ?w+ QbT  
√		 gohAp  
 ;YK!EMM4!h  
√		 K<@[_W+  
√
`y\*m]:  
波长误差		  20I4r  
 "El^38Ho  
 V#ndyUM;  
√		 PUbaS{J7  
√
8{R_6BS  
远场和近场分布的变化		 *0%4l_i  
√		 cI*KRC U  
 cPpu  
√		 JN9^fR09G  
√
HQq`pG%m6  
由参数运行产生的实验系列		 &EAk z  
√		 v"z (JF  
 x}tKewdOSe  
√		 0o=!j3RjH  
√
Dn~Z SrJ  
加工数据的导出
>f&xJq  
GDSII文件		 jja{*PZ6H  
√		 ZlthYuJ  
 SHMl%mw  
√		 ]e^R@w  
√
w[ Axs8N'  
CIF文件		 nIfN"  
√		 "XCU'_k=  
 pG/ NuImA  
√		 '@'B>7C#  
l iw,O 6  
位图文件		 CV'&4oq  
√		 Xo2^N2I  
 )T>8XCL\}  
√		 ./$ <J6-J  
jvu N  
ASCII/.csv文件		 TbOJp  
√		 |5W8Q|>%  
 @4;&hP2Z:  
√		 br b[})}  
√
:Df)"~/mO+  
Point-Cloud文件		 "X`RQ6~]>  
√		 )AOPiC$jL  
 Q~phGD3!~  
√		 aC`Li^  
4<u;a46Z#M  
STL文件		 Zp`~}LV{  
√		 Zb]/nP1P  
 'f 3HKn<L  
√		 C5Xof|#p|  
Qh^R Ax  
蚀刻掩膜的计算		 [6H}/_nD  
√		 g^jJ8k,7(  
 d>&\V)E  
√		 ) ]73S@P(=  
√
=nzFd-P  
自定义
_74UdD{^o  
可编程元件		 6#E7!-u(-  
√		 L_^`k4ct  
 3!aEClRtq  
 GWgd8x*V  
X<Z(]`i  
可编程探测器		 q-YL]PgV  
√		 I:F <vE  
 [UoqIU  
 0pD[7~^o  
*6XRjq^#  
可编程光源		 WHP;Neb6  
√		 I]jX7.fx  
 8)pB_en3sO  
 (k8Z=/N~  
DcN"=Y  
MATLAB可编程界面		 .3@Ng  
√		 ojoxXly`  
 ;}D-:J-z_  
 PK+ x6]x  
"qS!B.rt:  
C#可编程界面		 AF GwT%ZD  
√		 ';6X!KY+]  
 #&V5H{  
 t@)my[!  
N!L'W\H,  
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