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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
h+UscdU l  
微光学元件的分析和设计
1l_}O1  
微透镜阵列
S nHAY <  
w8 $Qh%J'<  
%SGO"*_  
WDdi}i>2  
tZ^;{sM  
蝇眼聚光镜
}|Tg_+   
7]%il[  
(NdgF+'=  
>!1f`  
p2vBj.*J  
衍射扩散器
lM,zTNu-z  
rcx;3Vne  
j/D)UWkR  
xbC8Amo;8"  
_}@n_E  
单元阵列    光栅单元阵列
nq f<NH3i  
eC?/l*gF 3  
1gm/{w6O  
s;s-6%p  
GB?#1|,  
            棱镜单元阵列
1fW4=pF-K  
NP`s[  
m->%8{L  
$|(|Qzi%  
9>3Ltnn0  
            反射镜单元阵列
Cz r4 -#2  
_(`X .D  
D?}m h1#  
t;dQ~e20  
Gv,92ny!|  
DOE产生的光分布
x}<G!*3  
高帽
sNfb %r  
R}wwC[{  
v* ~%x  
kg I=0W>  
$Kz\ h#}  
平顶
AKKU-5 B9c  
|M<.O~|D6}  
qH%L"J  
b?] S&)"9  
m0\"C-Bk  
焦线
92aDHECo  
'%-xe3  
8U2 wH  
Ag#5.,B-  
,}IER  
二元二维强度分布
vQYfoam;  
,rFLpQl  
EkStb#  
_c9 WWp?  
 TXD^Do5^  
任意二维强度分布
]u4>;sa  
x|v[Dxf]  
xeYySM=  
VIz{}_~'s  
/cL9 ?k;o  
点阵
ADyNNMcx  
S?nNZW\6[  
_N,KHxsG8B  
D;^ZWz0  
fb0T/JT w  
点线
TFJ{fLG  
QVSsi j  
=>:% n  
@%G'U&R{  
>^T,U0T])  
整形和匀滑
|,a%z-l  
单色LED
S0.- >"L  
EAC(^+15K  
neB.Wu~WH  
4lY&=_K[)  
]O[+c*|w  
白光LED
p9&gEW  
nz&b5Xb2  
iC\rhHKQ  
lrmt)BLoh  
c+E//X|  
准分子激光
[L*[j.r7[  
(}*\ {  
r>@ B+Xi  
*C3uMiz  
h=v[i!U-eY  
常见光束整形推荐使用的工具箱
A{i][1N  
推荐的工具箱
,<Grd5em.  
=0 C l  
u-%r~ }  
{p#l!P/  
S<y>Y  
优化
8"?Vcw&  
局部和全局参数优化
CzzUi]*Ac{  
r{R[[]p  
;Xfd1    
dr,B\.|jC  
-+ ]T77r  
使用参数运行的全局优化
}{#;;5KrB  
Qb6QXjN Q  
E,*JPK-A x  
Q8;x9o@p  
tf$PaA  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
(opROsFh  
;I!+ lx3[  
{dy` %It  
]b0zkoD9<  
IL+#ynC  
单元阵列设计算法
X \b}jo^96  
' D)1ka.  
LT,iS)dY+  
vWqyZ-p,q  
V!pq,!C$v  
公差仿真
\yJZvhUk  
高度公差
wE,=%?"  
P|unUW(P  
e/]O<,*  
"B|nhd  
LCo1{wi  
掩膜蚀刻深度公差
di]$dl|Wi  
AI^AK0.L  
c*S#UD+  
=Q/w%8G  
jsk:fh0~M  
边缘圆滑模拟
,GdxUld  
8_^'(]  
m+D2hK*  
\b_-mnN"  
]iz_w`I\  
对准误差
U=haX x4N  
kdK*MUB  
?dp -}3/G  
i>ESEmb-  
L0X&03e=e:  
波长误差
+l2e[P+qA  
lEO?kn.:z  
uuI3NAi~  
U -Af7qO  
w"fCI 13  
远场和近场分布的变化
W9 n^T+2  
&GXtdO>;Zv  
W@:^aH  
:@:g*w2K  
2LCc  
由参数运行产生的实验系列
=1gDjF9|  
UlK/x"JDv  
jG+T.  
&FL%H;Kfx  
 .LX?VD  
加工数据的导出
,DE(5iDS  
GDSII文件
0^J*+  
I x( 6  
D"`%|`O  
k TFz_*6.  
cj$,ob&DX  
CIF文件
re7!p(W?,  
R!sNg   
<2n'}&F  
jFgZ}Xp  
@)  
位图文件
~&lQNl3`m6  
~ wfoK7T}  
0w^jls  
XZF%0g2$b  
DY$yiOH9  
ASCII/.csv文件
F?!FD>L{`  
8r2XGR  
jIKBgsiF/  
^/G?QR  
Xfj)gPt}  
Point-Cloud文件
cL6 6gOEL  
i:g{{Uuv  
1UC2zM"  
}'u3U"9)  
S*;#'j)4+  
STL文件
G?>qd}]y0L  
!$xzA X,  
*^n^nnCwp  
C,[ L/!  
[`q.A`Fd  
蚀刻掩膜的计算
t9ER;.e  
mG X\wta  
C=8H)Ef,l  
`hzd|GmX  
H1Q''$}Z.  
自定义
r~I.F!{  
可编程元件
b7Yq_%+  
$,!hD\a  
y*_K=}pk  
GX7VlI[  
7Ez}k}aR<  
可编程探测器
HP#ki!'  
e "_&z# 2_  
e!6eZ)l  
d"Bo8`_  
<Uf|PFVj$  
可编程光源
dZF8 R  
(WJV.GcP1  
E{<?l 7t  
=<Hy"4+?.  
8`a,D5U:  
MATLAB可编程界面
av$  
]Uu aN8  
r;9z 5'  
4AJ9`1d4  
v< Ty|(gd  
C#可编程界面
{Wh BoD  
cFw3Iw"JJ  
:|=- (z  
T=.-Cl1A  
7$K}qsr<  
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