| lvse9 |
2006-08-22 10:47 |
等离子体清洗设备在光学领域的应用！
等离子体清洗设备的应用 :A zT=^S
sSW'SE?,<
["3dr@T9Z
应用领域： K?uZIDo
1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片 (GC]=
• 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片 ]DNPG"
• 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质 J'% i?cuV
• 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石 u}5CzV `
• 清洗半导体元件、印刷线路板 KqFI2@v
• 清洗生物芯片、微流控芯片 h5P_kZJ
• 清洗沉积凝胶的基片 qfDG.Zee#
8c9HJ9 vk
2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性 { M**a
jo e)b
3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌 0>{ ]*
Xd(^7~i
4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力 Cab.a)o
r)^sHpK:`
5、去除金属材料表面的氧化物 1=)M15
*JJ8\ R&P0
6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性 ;%e)t[5
?AyxRbk
7、高分子材料表面修饰 1iF=~@Nz_
'7?Y+R@|L
flmQNrC.8
一、金属表面去油及清洁 .!o]oM
U/
8US#SI'x
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果： iHPsRq!
A*OqUq/H`;
1.1灰化表面有机层 _WEJ,0* #'
－表面会受到化学轰击 9#z$GO|<
－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发 @ VWED
－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 "9caoPI0~
－紫外辐射破坏污染物 ]R T
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 JWb +
&E&~9"^hQL
1.2氧化物去除 gzs \C{4D
金属氧化物会与处理气体发生化学反应 ,U\ s89
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。 a}y b~:TC
&>\;4E.O5
1.3焊接 So 1TH%
通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。 Q a (Sb
5Y *4a%"
1.4键合 l eC!Yj
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。 E
f \|3D_
+YvF+E
二、等离子刻蚀 2d .$V,U<
r
XJx~
g
在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。 m!xv WqY+
等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。 >?@5> wF
y RxrfAdS
三、刻蚀和灰化 Qf~>5(,h
rDWAZ<;;
PTFE刻蚀 z 206fF
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。 U6&`s%mIa
等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。 q=X <QhK
$}&a*c>
PTFE混合物的刻蚀 :M " +
PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。 !)]/?&uo
__ g?xw
处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 8Yq06o38C
%E_Y4Oe1
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁 D)PX |xrn
k?fz @H8D(
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。 m \)B=H!bz
• 不需要用溶剂进行预处理 /GgID!8
• 所有的塑料都能应用 (,I:m[0
• 具有环保意义 IS]A<}j/-
• 占用很小工作空间 tNY;wl:wp
• 成本低廉 d~<$ J9%
等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等 |Y!^E % *
d ~ M;
?g ,s<{
F7<mm7BGZ
五、等离子涂镀 #f#6u2nF\
NMkP#s7.y
聚合 ql@2<V{
在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况 %r[`HF>
• 防水涂镀—环己物 >>{):r
Z
• 亲水涂镀---乙烯醋酸 X;!* D
• 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体 g@'XmT="_
*O$|,EsY
&| (K#|^@
欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 Nw. )O
PVA公司北京办事处 AZ!/{1 Az
010-65814049转8005 uj3`M9
chendashan@gerchin.com
|
|
