镀膜粉尘问题-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 镀膜粉尘问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

光明世界	2014-05-28 10:05
镀膜粉尘问题镀膜粉尘来源： E2}X[EoBF umuj> 1.来自抽气时造成扬尘。 KU"+i8" & +`g~6U 2.来自泄气时造成扬尘。 x Y$x=) 7>zUT0SS 有什么能够改善。特别是镀塑料的东西，镀膜后又没用清洗。头疼

hrhhrh	2014-06-03 09:15
1.清洁真空室 \|#t^D.j 2.改排气 lrkgsv6 3.改进气

leehow534	2014-06-04 21:27
SRV,SVV时间加长可有效改善。 TPx0LDk%( 另，你的盒子干净否？

yangyangyang

2014-06-17 19:42

1，产品上镀前用静电枪除尘
2，对腔室护板进行清洁或更换
3，电子枪或阻蒸进行清洁
4，设备加装离子源（霍尔R2型，或APS都行，关键看你做的产品工艺及客户要求，要求不高国内的离子源也可以）
5，检查你们的无尘室洁净度是不是真的在控制范围内
6，检查你下面的作业人员，无尘服是不是很脏

meron	2015-05-06 20:37
学习了，谢谢各位

查看本帖完整版本: [-- 镀膜粉尘问题 --] [-- top --]