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liyungang 2014-02-10 10:20

冷却水对晶控的影响

各位,冷却水对晶控有多大影响,讨论下。
morningtech 2014-02-13 18:59
对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 peGXU/5.I  
正常流量情况下, ]lQhIf6)k  
冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 Podm 3b  
冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 kp<9o!?)  
Z i7(lG  
上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪能实时监测晶振片的损耗,膜层应力对此值影响较大。 Fxv~;o#  
另一方面,XDM-3K有额外付费的厚度补偿功能,正是为了补偿温度效应带来的厚度计算偏差。 :BMUc-[  
sgh920 2014-02-18 12:58
morningtech:对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 F;q I^{m2  
正常流量情况下, #"i}wS  
冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 fM S-  
冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 A.WJ#1i}E  
....... (2014-02-13 18:59)  9Eg'=YJ  
*WX6C("M  
请问多少度以下是温度过低
morningtech 2014-02-19 09:47
sgh920:请问多少度以下是温度过低 (2014-02-18 12:58)  2@e<II2ha8  
@9vz%1B<l  
没有绝对的过低温度,大概20度以下吧,还跟工艺有关。 "F%cn@l  
例如,镀金属,本身应力不成问题,低水温的影响就小些。 Z#4? /'  
镀应力大的介质膜,水温可适当高一点点。有人做过试验,将水温提高到30度以上,晶振片的可使用寿命延长一倍。 p( Qm\g<  
但正如前面所说,此时可能会带来较大的频率温度效应,导致厚度准确度有所下降。 )*s.AFu]7x  
W*U\79H  
XDM-3K晶控仪本身在晶振片的可使用寿命上来说,相同条件下,比常见的3x0系列要长一倍以上。操作上简单得多就不用提了,呵呵。 lZ_i~;u4@v  
XDM-3K对频率温度效应产生的厚度误差可进行补偿,这是申请了国家发明专利的。当然此补偿功能额外付费,对担负国家项目的高校和研究所另论,呵呵。 G3?8GTH  
morningtech.cn,有对该晶控仪稍详细介绍。 ?J<4IvL/  
liyungang 2014-02-19 11:23
morningtech:没有绝对的过低温度,大概20度以下吧,还跟工艺有关。 yY,.GzIjCj  
例如,镀金属,本身应力不成问题,低水温的影响就小些。 L {5zA5#m  
镀应力大的介质膜,水温可适当高一点点。有人做过试验,将水温提高到30度以上,晶振片的可使用寿命延长一倍。 K<|eZhp~  
但正如前面所说,此时可能会带来较大的频率温度效应,导 .. (2014-02-19 09:47)  !-\*rdE {9  
5(DCq(\P*  
我们的设备就是怀疑水温有影响,厂家也说有这种可能。 nGyY`wt&Rg  
可有个奇怪的现象,我先镀低折射率材料再镀高折射率的材料,晶控显示的和稳定;但如果我先镀高折射率在镀低折射率交叉膜层的时候,显示的就不稳定,这该怎么解释、?
morningtech 2014-02-19 17:04
liyungang:我们的设备就是怀疑水温有影响,厂家也说有这种可能。 lUWjm%|  
可有个奇怪的现象,我先镀低折射率材料再镀高折射率的材料,晶控显示的和稳定;但如果我先镀高折射率在镀低折射率交叉膜层的时候,显示的就不稳定,这该怎么解释、? (2014-02-19 11:23)  k"L_0HK  
2f~s$I&l#  
镀金之前通常要打底,解决的是牢固度的问题。 (r7~ccy4  
你问题中可能的原因是二者附着牢固度不同,你的低折射率相当于打底了。 -8TJ~t%w4  
vguqk!eo4  
前面所谓有效的使用寿命,从晶振片的稳定性上来分的。 ozGK -$  
稳定性,反应的是晶振片谐振时的能量损耗。损耗越大,稳定性越差。 ,,,5pCi\  
能量损耗牵涉到了膜层的结构及应力问题。附着不良,声波传递中损耗大,稳定性是会差一些。
liyungang 2014-02-20 17:37
morningtech:镀金之前通常要打底,解决的是牢固度的问题。 @dO~0dF  
你问题中可能的原因是二者附着牢固度不同,你的低折射率相当于打底了。 ,!Ah+x  
前面所谓有效的使用寿命,从晶振片的稳定性上来分的。 JqFFI:Q5a  
....... (2014-02-19 17:04)  KqB(W ,$  
]l&_Pv!!  
使用的药品是氧化钽和氧化硅,应该氧化硅和晶振片的附着力会更好吧,现在就是第一层镀氧化硅就会调频
morningtech 2014-02-23 14:31
liyungang:使用的药品是氧化钽和氧化硅,应该氧化硅和晶振片的附着力会更好吧,现在就是第一层镀氧化硅就会调频 (2014-02-20 17:37)  T2^ @x9  
VxaJ[s3PQ&  
"第一层镀氧化硅就会调频。"  什么意思? 前面你说先镀低折射率会好些。 oXb}6YC  
H@ MUzV  
根据你的工艺来,实践中哪样更好就哪样吧。 =j }]-!  
dt ;R  
附着力、应力 与工艺参数关系之间 理论分析比较难。  牵涉到膜裂和形变就更搞不定了。而后两者对晶振片的稳定性影响可能更大。
liyungang 2014-02-24 12:15
是我写错了,先镀氧化硅后不会跳频。 \>M3E  
最经我把装晶控片的槽认真清理下,效果好一些。
morningtech 2014-02-24 18:46
嗯,装晶振片的 Holder 清洁,特别留意那个台阶,那里是接触晶振片电极的地方。另外,Holder与外部接触的双方也要清洁。 弹片周边稍清洁,让两极之间不短路。 7e>n{rl  
!J'BAq[x  
上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪有个申请了发明专利的晶振片损耗值,如果晶振片不良、安装不良或接触不良,反应在损耗值上就是增大。 很容易在安装时就能辨别出来。
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