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liyungang 2014-02-10 10:20

冷却水对晶控的影响

各位,冷却水对晶控有多大影响,讨论下。
morningtech 2014-02-13 18:59
对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 TX=yPq  
正常流量情况下, C;+h.;}<D  
冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 [F!Y%Zp  
冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 /D! ;u]  
*/:uV B,b2  
上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪能实时监测晶振片的损耗,膜层应力对此值影响较大。 Zf$Np50@(  
另一方面,XDM-3K有额外付费的厚度补偿功能,正是为了补偿温度效应带来的厚度计算偏差。 ryB}b1`D  
sgh920 2014-02-18 12:58
morningtech:对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 Y "/]|'p  
正常流量情况下, Y1]n^  
冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 7(pF[LCF  
冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 C.FI~Z  
....... (2014-02-13 18:59)  y3fGWa*7e  
Z]B~{!W1  
请问多少度以下是温度过低
morningtech 2014-02-19 09:47
sgh920:请问多少度以下是温度过低 (2014-02-18 12:58)  "W955?4m  
Ju1D = b  
没有绝对的过低温度,大概20度以下吧,还跟工艺有关。 Ng~FEl  
例如,镀金属,本身应力不成问题,低水温的影响就小些。 qKr8)}h  
镀应力大的介质膜,水温可适当高一点点。有人做过试验,将水温提高到30度以上,晶振片的可使用寿命延长一倍。 $Avjnm  
但正如前面所说,此时可能会带来较大的频率温度效应,导致厚度准确度有所下降。 1SCR.@ k<  
U@uGNMKR  
XDM-3K晶控仪本身在晶振片的可使用寿命上来说,相同条件下,比常见的3x0系列要长一倍以上。操作上简单得多就不用提了,呵呵。 LnH?dy  
XDM-3K对频率温度效应产生的厚度误差可进行补偿,这是申请了国家发明专利的。当然此补偿功能额外付费,对担负国家项目的高校和研究所另论,呵呵。 Y[}>CYO  
morningtech.cn,有对该晶控仪稍详细介绍。 UCB/=k^m  
liyungang 2014-02-19 11:23
morningtech:没有绝对的过低温度,大概20度以下吧,还跟工艺有关。 V_ :1EBzz  
例如,镀金属,本身应力不成问题,低水温的影响就小些。 ]7W&JKmA&  
镀应力大的介质膜,水温可适当高一点点。有人做过试验,将水温提高到30度以上,晶振片的可使用寿命延长一倍。 %(3|R@G.  
但正如前面所说,此时可能会带来较大的频率温度效应,导 .. (2014-02-19 09:47)  Gw/Pk4R  
o4G?nvK-  
我们的设备就是怀疑水温有影响,厂家也说有这种可能。 'f!8DGix  
可有个奇怪的现象,我先镀低折射率材料再镀高折射率的材料,晶控显示的和稳定;但如果我先镀高折射率在镀低折射率交叉膜层的时候,显示的就不稳定,这该怎么解释、?
morningtech 2014-02-19 17:04
liyungang:我们的设备就是怀疑水温有影响,厂家也说有这种可能。 f',Op1o  
可有个奇怪的现象,我先镀低折射率材料再镀高折射率的材料,晶控显示的和稳定;但如果我先镀高折射率在镀低折射率交叉膜层的时候,显示的就不稳定,这该怎么解释、? (2014-02-19 11:23)  1!xQ=DU"  
y;35WtDVb  
镀金之前通常要打底,解决的是牢固度的问题。 x,=&JtKVc  
你问题中可能的原因是二者附着牢固度不同,你的低折射率相当于打底了。 so,t   
F&!6jv  
前面所谓有效的使用寿命,从晶振片的稳定性上来分的。 Bd!bg|uO*  
稳定性,反应的是晶振片谐振时的能量损耗。损耗越大,稳定性越差。 QyEn pZ8?a  
能量损耗牵涉到了膜层的结构及应力问题。附着不良,声波传递中损耗大,稳定性是会差一些。
liyungang 2014-02-20 17:37
morningtech:镀金之前通常要打底,解决的是牢固度的问题。 8v:T.o;<  
你问题中可能的原因是二者附着牢固度不同,你的低折射率相当于打底了。 DBo%fYst  
前面所谓有效的使用寿命,从晶振片的稳定性上来分的。 M,j U}yD3  
....... (2014-02-19 17:04)  X2#2C/6#u  
216RiSr*  
使用的药品是氧化钽和氧化硅,应该氧化硅和晶振片的附着力会更好吧,现在就是第一层镀氧化硅就会调频
morningtech 2014-02-23 14:31
liyungang:使用的药品是氧化钽和氧化硅,应该氧化硅和晶振片的附着力会更好吧,现在就是第一层镀氧化硅就会调频 (2014-02-20 17:37)  Yz'K]M_Dq  
c/:b.>W  
"第一层镀氧化硅就会调频。"  什么意思? 前面你说先镀低折射率会好些。 '3R`lv   
t=BUN  
根据你的工艺来,实践中哪样更好就哪样吧。 sZ3KT&  
u0}vWkn\4  
附着力、应力 与工艺参数关系之间 理论分析比较难。  牵涉到膜裂和形变就更搞不定了。而后两者对晶振片的稳定性影响可能更大。
liyungang 2014-02-24 12:15
是我写错了,先镀氧化硅后不会跳频。 R6 y#S&]x  
最经我把装晶控片的槽认真清理下,效果好一些。
morningtech 2014-02-24 18:46
嗯,装晶振片的 Holder 清洁,特别留意那个台阶,那里是接触晶振片电极的地方。另外,Holder与外部接触的双方也要清洁。 弹片周边稍清洁,让两极之间不短路。 f- K+]aZ)  
.H escg/S  
上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪有个申请了发明专利的晶振片损耗值,如果晶振片不良、安装不良或接触不良,反应在损耗值上就是增大。 很容易在安装时就能辨别出来。
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