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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 搞镀膜三年多，有啥问题，可以来求教啊！ [点此返回论坛查看本帖完整版本]

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luffy17520

2013-11-21 16:50

搞镀膜三年多，有啥问题，可以来求教啊！

镀膜注重交流，从事镀膜三年，各种问题都遇到过
在此开贴交流
本人用过光驰otfc nbpf 修过mask，装过离子源
最近使用韩一的机器镀介质膜，金属膜
大家可以交流镀膜经验
本人在设计膜系方面也是比较强的，简单的ar到窄带滤光片。

x-m6	2013-11-21 22:10
我想毕业后从事这方面行业，它发展前景如何？

leehow534	2013-11-28 06:48
你好，昭和的机器用过吗？ Q672iR\#) 为什么我们的机器条件以前用得很好，现在总是不良啊，图形老是变来变去的？ !#WQ8s!?o SIO2+OS50 7层 AR

jiangguang	2013-12-02 22:26
leehow534:你好，昭和的机器用过吗？ o<txm?+N 为什么我们的机器条件以前用得很好，现在总是不良啊，图形老是变来变去的？ s]6;mI2 SIO2+OS50 7层 AR (2013-11-28 06:48) 9}a$0H h r\|_KQq 机器不稳定了维护机器吧

甲虫	2013-12-09 15:17
请问 K9玻璃镀单层氟化镁是什么颜色？

ken_jinyan1	2013-12-09 16:37
请教个问题，最近镀os50/ SIO2 6层AR膜。 vu.?@k@ 之前一直是使用AL2O3 H4 MFG2镀AR膜。 <2%9O;bV[ os50 镀4层1.5KA 测的TOOLING sio2镀5层1.2KA测的tooling +Ek1~i. 如果两种试料镀0.3KA的厚度。问下TOOLING是要变大还是变小？

ken_jinyan1	2013-12-09 16:39
我用1.5KA测的TOOLING值，计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 ,Eh]Zv1AE 经过软件模拟，好像是比较薄的膜层，镀少了。 1KA左右的膜层，变化不大。

jiangguang	2013-12-10 14:16
ken_jinyan1:我用1.5KA测的TOOLING值，计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 Dt(D5A 经过软件模拟，好像是比较薄的膜层，镀少了。 1KA左右的膜层，变化不大。 (2013-12-09 16:39) ){#INmsF na~ FT[3C 两种材料一个TOOLING？ N6u>V~i

leehow534	2013-12-11 21:06
jiangguang:机器不稳定了维护机器吧 (2013-12-02 22:26) c?_7e9}2 e/:?9 感觉还是条件问题，机器上月厂家的人才维护过，现在光量电压300+MV

jiangguang

2013-12-17 09:24

leehow534:感觉还是条件问题，机器上月厂家的人才维护过，现在光量电压300+MV (2013-12-11 21:06) "xTVu57Z[

你确定维护好了吗？厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧，基本图形变来变去就是真空不稳定，引起真空不稳定的因素：漏气，电压不稳，扩散泵有水气，可以从这两个方面研究。

leehow534

2013-12-17 22:22

jiangguang:你确定维护好了吗？厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧，基本图形变来变去就是真空不稳定，引起真空不稳定的因素：漏气，电压不稳，扩散泵有水气，可以从这两个方面研究。 =e#h;x2
(2013-12-17 09:24) /P9fcNP{y

你好，谢谢你的耐心解答。
我们的机台可以做多做产品，有些是很稳定，有些以前可以，过一段时间不做就行了，调好了过几天不做也这样，估计还是条件的问题来的。
就是不知道你们调条件的时候除了膜厚和起始气压，蒸发源功率外还会修改哪些东西呢？
我才学镀膜一年，水平有限，谢谢你哈

jiangguang	2013-12-21 21:11
没啥每次镀的时候保证条件一致就行了另外可能膜系也有问题不要太敏感的膜系如果膜系太敏感也会出现不稳定毕竟机器还打不到你想要怎么样就怎么样还是有一定误差的

lyhric	2013-12-30 18:11
不懂太高深了

leehow534	2014-01-04 19:26
你好，新年快乐! D{7^y>8_Y- 请教一下，我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象，无报警，每个月都会发生一两次，这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事，设定130的膜厚，显示镀了180，这个有可能吗？动作确认无问题 _(:$ :*@ 谢谢

top6305	2014-01-05 00:27
您好，試片粉塵無法解決?可由哪方向處理?

meiguilu	2014-02-12 14:38
你好，我们公司需要镀一个355波长的介质反射镜，你可以做吗？？我是上海的

zg306892415	2014-03-25 22:15
学习啦

rollo_tomasi	2014-04-01 13:57
甲虫:请问 K9玻璃镀单层氟化镁是什么颜色？ (2013-12-09 15:17) sieC7raO Fx1FxwIJ 可见区的增透膜，以550nm为参考波长，镀四分之一的光学厚度，看起来淡紫色

dongyesiyang	2014-04-01 22:00
和真空度没什么关系，肯定是用光控做AR膜了，光控条件设置时考虑误差因素没有，如果没设置好肯定不稳定，关机器什么事

yuxiaohu	2014-04-03 13:53
對於鍍膜方面的理解近乎為零，請教一下，一般鏡頭，例如手機鏡頭、相機鏡頭，都是鍍了膜的，光線正常進入的時候，光線透過率非常高，是不是意味著，如果光線逆向，從sensor方射出的話，光線透過率會很低？

lengxue1985	2014-04-19 15:35
kankan

chungege	2014-07-11 10:17
meiguilu:你好，我们公司需要镀一个355波长的介质反射镜，你可以做吗？？我是上海的 (2014-02-12 14:38) NN+;I^NqW& Q]K$yo 这个可以做的啊 &{qKoI]

jack1yzhong	2014-07-14 16:54
请问如何计算Tooling值,谢!!!

05俊	2014-07-24 14:21
Tooling值是什么

boyhufeng	2014-07-26 15:26
你好，请问一下，镀膜后改变基底表面曲率了，这种现象常见吗？如何处理？谢谢！~

luffy17520	2014-10-08 10:07
leehow534:你好，昭和的机器用过吗？ asmu< 为什么我们的机器条件以前用得很好，现在总是不良啊，图形老是变来变去的？ #&L7FBJ"*v SIO2+OS50 7层 AR(2013-11-28 06:48)嬀/color] vW?/: 5e7\tBab 厚度对ar影响很敏感的，少镀1个nm就差很多

lsm4019	2014-10-24 21:22
你好！ tuuwoiQ*` 请问镀膜材料Ti3O5, TiO2 ,TiO 间镀膜是否有什么差异，紫外光对这样的镀层是否有影响？

caiqiwen	2014-11-06 21:21
请问，有没有做离子注入的？

raofengxiang	2014-11-22 09:42
用韩一机做半反半透，380-720nm范围，反射率50%+-5%，反射色为镜面银效果。 f4+wP/n& 单电子枪，12个坩埚，不能用TiO2，低温镀膜。 `Gl[e4U 请教膜系设计和镀膜工艺

517222552	2015-01-18 22:27
大神哥哥你能帮帮我么。。。最近要设计一个滤光膜。。。我搞不定呀。。。

即兴以来	2015-01-19 07:44
请问怎么判定膜系的敏感度呢？仅仅依靠Tfc还是有其他方法？ 8?: 2< 谢谢不吝赐教！

rodger1123	2015-01-30 15:39
求教怎么设计远红外增透膜

rodger1123	2015-01-30 15:40
远红外增透膜的实用材料

即兴以来	2015-07-24 00:01
请问在PMMA上镀膜，怎么解决膜裂和脱膜的问题？谢谢大神指点

725514453	2015-09-02 21:10
为什么镀半透镜会有重影呢

liuzhonghua	2015-09-11 14:40
怎么计算tooling值和材料的折射率

聂凯	2015-11-16 16:46
胸不平何以平天下，枪不直何以顶天立地。呵呵

武者之心	2018-01-05 11:10
请问大神近红外滤光膜一般用什么材料？膜层厚度是多少？

852509880	2018-01-06 03:33
你好，可以交流交流吗

rexchou	2018-01-12 16:40
樓主該不會離開這行業了吧 >gM"*Laa?

rexchou	2018-01-12 16:42
725514453:为什么镀半透镜会有重影呢 (2015-09-02 21:10) {2D\|,yH= v>Kh5H5e~ 二次反射吧

xtzxwwb

2019-11-18 11:07

yuxiaohu:對於鍍膜方面的理解近乎為零，請教一下，一般鏡頭，例如手機鏡頭、相機鏡頭，都是鍍了膜的，光線正常進入的時候，光線透過率非常高，是不是意味著，如果光線逆向，從sensor方射出的話，光線透過率會很低？ (2014-04-03 13:53) a=A12<

镀膜的穿透与光线垂直于镜片传播时的方向无关，这个浙大的老师有用镀膜理论推导过。所以透过率是一样的。

realyan	2019-11-21 11:28
问一下，目前镀膜机国产品牌都有哪些？比较好的是哪个厂家？

王少伟

2020-03-06 10:21

图形变化分两种，一种是有规律的整体左右漂移或波峰波谷上下差值变动，另一种是无规律的整体形状发生变形，前者的影响因素主要是厚度和折射率变化造成的，造成厚度波动的原因有晶控寿命不足导致检测厚度不准。折射率变化的原因是镀上去的速率不稳，这个影响因素就多了，电子枪、晶控、真空度、离子源等都会影响沉积速率造成膜料折射率波动。

wflney	2020-03-18 21:27
学习学习

luffy17520	2020-03-19 15:48
leehow534:你好，昭和的机器用过吗？ P[q>;Fx* 为什么我们的机器条件以前用得很好，现在总是不良啊，图形老是变来变去的？ JvW7h(u7g SIO2+OS50 7层 AR (2013-11-28 06:48) #xu1 eX0< V'W*'wo 以前设备的状态不能对比，多抓参数，看看光斑排气充氧是否有问题

luffy17520	2020-03-19 16:01
x-m6:我想毕业后从事这方面行业，它发展前景如何？ (2013-11-21 22:10) NR_3nt^h ,z#D[5 现在回复晚了把，前景还是不错的

luffy17520	2020-03-19 16:02
ken_jinyan1:请教个问题，最近镀os50/ SIO2 6层AR膜。 !&5O~dfN 之前一直是使用AL2O3 H4 MFG2镀AR膜。 ~gZ18s` os50 镀4层1.5KA 测的TOOLING sio2镀5层1.2KA测的tooling \|?0MRX0'g 如果两种试料镀0.3KA的厚度。问下TOOLIN .. (2013-12-09 16:37) R#~l[S8u^ *: FS/ir 薄层的tooling跟厚层不一样，如果条件一下tooling需要变大一点点

luffy17520	2020-03-19 16:03
ken_jinyan1:我用1.5KA测的TOOLING值，计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 &_;=]ts 经过软件模拟，好像是比较薄的膜层，镀少了。 1KA左右的膜层，变化不大。 (2013-12-09 16:39) =>'j_\| ~0-)S@ 对镀少了所以要tooling大一点这样会多镀一点

luffy17520

2020-03-19 16:04

leehow534:你好，新年快乐! 9'|k@i:
请教一下，我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象，无报警，每个月都会发生一两次，这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事，设定130的膜厚，显示镀了180，这个有可能吗？动作确认无问题 69ycP(
谢谢 (2014-01-04 19:26) 8>vNa

你们是光控加晶控吧如果光控乱了或者晶控乱了会造成这样的情况，多数为电子枪打火或者离子源打火

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