degpak09 |
2012-03-09 15:16 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 s-[ _% O.Z<dy+ 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, &jr'vS[b YvR MUT
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 *s}dtJ pPUKx=d 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 /2 ')u| |}t[-a 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 Srg`Tt] X0O@, 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. CNQ>J`4 BNL Q] 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) a!vF;J-Zqa 2.折射率n 6x7pqHM 3.吸收系数k {dTtYL$'" 4.双折射率 l*rli[No 5.能隙(Eg) dX?8@uzu 6.表面粗糙度和损伤 /z9oPIJ=* 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) %3!DRz 8.薄膜温度特性 q3<Pb,Z 9.晶元曲率和薄膜耐压性 l@Uo4b^4x \L Gj]mb1 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 CvS}U% BxVo>r 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: ~RgO9p(dY e@|/, W 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生
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