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phoenixzqy 2012-02-14 22:14

折叠式光刻物镜

在原有光刻物镜专利的基础上，对物镜进行了简化和修改，留出了添加反射镜的空间，实现了光路的折叠。
phoenixzqy 2012-02-14 22:15
帮一学生做的光路模拟。
phoenixzqy 2012-03-27 00:43
双远心光路！
hoxomo 2012-08-31 17:47
4:1的？
phoenixzqy 2012-08-31 21:47
hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] ?u/Uov@rD  
j$h.V#1z  
差不多。从图上能看出来的。
phoenixzqy 2012-09-27 22:40
欢迎交流 合作
hoxomo 2012-09-28 15:57
NA 多少？ NPws^  
phoenixzqy 2012-09-28 20:46
hoxomo:NA 多少？ R[Q`2ggG  
(2012-09-28 15:57)嬀/color] 413,O~^  
w%jc' ;|  
专利未修改之前，NA不到0.1； P?GHcq$\  
1Wd?AyTY,  
图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。
ilyhairpin 2012-09-30 17:09
貌似很复杂
ilyhairpin 2012-09-30 17:10
貌似很复杂哎
phoenixzqy 2012-10-01 08:43
ilyhairpin:貌似很复杂哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] et|QW;*L  
#g,JNJ}  
还好。在专利基础上修改的。
deaneliu 2012-10-03 14:46
请问LZ，这是用什么软件做模拟的
phoenixzqy 2012-10-03 18:48
deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] lA[BV7.=7  
gf/$M[H!   
zemax oslo codev都可以的。
phoenixzqy 2012-10-03 18:48
deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] nNNs3h(Ss  
0BF'@r";  
成像软件都可以。
hoxomo 2012-11-22 16:40
phoenixzqy:专利未修改之前，NA不到0.1； ~qFuS933  
图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  +T]/4"^M  
a<%Ivqni  
NA有点小啊，分辨率不高啊。
phoenixzqy 2012-11-22 20:38
hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] KK-}&N8  
<L!9as]w  
这个系统分辨率很高，不要只按na计算。你可以在zemax里模拟一下。
phoenixzqy 2012-11-22 20:40
hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] @ zs.M-F  
~DJILc  
mtf@500仍大于0.35
hoxomo 2012-11-30 17:54
phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  m?y'Y`  
L"It0C  
那挺不错的
ekisyou 2012-12-08 22:11
封装上面用的吗
phoenixzqy 2012-12-24 22:50
ekisyou:封装上面用的吗(2012-12-08 22:11)嬀/color] psM&r  
\heQVWRl  
投影光刻上用的。紫外光刻。
bruce45 2013-02-04 12:12
看看了
phoenixzqy 2013-04-13 17:47
bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] nI<Ab_EB  
rEY5,'?YHv  
欢迎讨论！
darkwzj 2013-04-17 20:43
请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ IWP[?U=  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ &J}w_BFww  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？
phoenixzqy 2013-04-17 20:48
darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ KvfZj  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ [m{uJ dj\  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  v %GcNjZk5  
r4(Cb_  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf Tv`-h  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 i0e aBG]I  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了
darkwzj 2013-04-17 21:29
phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf ("$ ,FRTQ:  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 iQnIk| 8  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] %HK\  
b3RCsIz  
感谢回答~
phoenixzqy 2013-04-17 22:42
darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  Zg#VZg1 2  
!=w&=O0(  
客气 常交流
ciomplj 2013-06-13 17:07
学习学习~
phoenixzqy 2013-06-13 22:35
瞎搞的，帮一个学生做的。
chengzheng 2013-08-31 22:58
学习下，谢谢        
hehexixi2211 2013-09-01 01:42
好帖子，学习了
phoenixzqy 2013-09-02 22:19
hehexixi2211:好帖子，学习了 (2013-09-01 01:42)  .!kO2/:6  
&7{/ x~S{  
谢谢！常来。
phoenixzqy 2013-09-02 22:19
chengzheng:学习下，谢谢  [表情]  [表情]  [表情]  [表情]  (2013-08-31 22:58)  ?y] q\>  
]8}+%P,Q  
客气 常来
huangzanli 2015-09-16 09:02
不错，学习了
phoenixzqy 2015-10-08 17:01
huangzanli:不错，学习了 (2015-09-16 09:02)  4(VVEe  
W"m\|x  
常来。欢迎交流。
frra8788 2017-03-16 20:44
好帖子 学习学习。
liqiuguo 2019-05-24 11:00
帮顶！
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