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我为球狂	2011-11-12 23:34
均匀性的修正哪位高手可以给详细的讲解一下均匀性实验如何做？

luoxingyou	2011-11-13 17:18
其实我也不知道啊！

a272893080	2011-11-13 21:27
通过调节挡板和挂环 H)i\|?3Ip

lzh123jy	2011-11-27 10:59
？？？？？？？？？？？？？？？

lzh123jy	2011-11-29 09:19
那个多玩一下就有经念了啊

12511895	2011-11-29 19:19
你先放一排可以测量的镜片上去镀膜,镀膜出来就测量镜片的曲线是不是一致的,不是的话就修剪补正板就好了 >P:X\5Oj

zhangkong	2011-11-29 21:42
通过调节挡板

苏州膜头	2011-12-01 21:30
其实就是膜厚的地方加挡板，膜簿的地方修掉挡板，慢慢的试。

xiaoli010102	2011-12-01 21:52
你先放一排可以测量的镜片上去镀膜,镀膜出来就测量镜片的曲线是不是一致的,不是的话就修剪补正板就好了

mingyang020	2011-12-02 10:28
看看瞧瞧 <kdlXS>J.

lzh123	2011-12-02 21:58
可以调修正板大小及高度太均匀度最佳

coa520	2011-12-08 17:11
看看，

12511895	2011-12-08 18:14
修正板最好先用薄铝片去做,,修到均匀性一致时,才换厚铝板,那样对你修剪修正板会好好的

coa520	2011-12-09 08:26
路过，看看资料，有

chenchao	2011-12-16 22:24
谢谢，资料少啊，爱

dxia_xu	2011-12-17 14:00
这个要重复的调整挡板，得慢慢修慢慢调节

245136615	2011-12-28 17:54
修补正板，

天光云影	2012-01-04 22:10
均匀性实验？是调均匀性不就是气氛，压力，挡板

alex_xie	2012-01-05 22:03
看你需要修多少个点了，都是看每个位置的测试片透过率光谱图来调整

yixin008	2012-01-06 21:08
装夹一个挡板，然后用一根细线，模拟蒸发源到被镀表面的路线，修改挡板，反复多次试验。

dede	2012-01-27 17:53
你先放一排可以测量的镜片上去镀膜,镀膜出来就测量镜片的曲线是不是一致的,不是的话就修剪补正板就好了, m4 (pMrJ \~l_w ,Poo 其实就是膜厚的地方加挡板，膜簿的地方修掉挡板，可发近似认为是线性的，根据比例算出后除量，这样会快些。 o,`"*][wd

dede	2012-01-27 17:55
每种膜料的情况太也一样，是个比较麻烦的事，但可以做好

yzhuang	2012-02-05 14:36
七楼正解，要的就是耐心。

伏龙之	2012-02-29 21:02
在实验中

seasunshine	2012-03-05 16:16
那么吸引

dotakuang911	2012-03-22 10:54
mingyang020:看看瞧瞧 YN8x\|DLi? (2011-12-02 10:28) yLa@27T\A 3(BL 调修正板呵呵

tomysmith68	2012-03-28 10:19
也可以适当调整药品的速率 pR S!

nanuto	2012-03-31 12:22
有意思！有意思！

qkhhom	2012-03-31 13:20
飄過,為光幣而來

ww04010911	2012-04-08 02:42
是什么夹具？球形锅还是行星架具？夹具不同，方法也就不同了 \o>-L\`O

大男孩	2012-04-11 13:45
学习学习！

冰雨8788	2012-04-12 16:07
学习，多谢！

shenbin	2012-04-16 19:48
1.部正版调节好 X=sE1RB 2电子枪条件

baibaixian	2012-04-22 15:20
过来赚钱的啊

tfcalc68	2012-05-08 00:12
w我也不知道。来学习

稻花香香	2012-07-18 06:18
我对这个问题也有疑问

老城1234	2012-08-15 22:07
我也不太懂

华子	2012-08-17 13:43
谢谢学习中

joyjiang	2012-11-12 23:02
kankanshi smya

heronedved	2012-11-13 00:28
nengbuneng you gengxiangxidenen

xit	2012-12-03 10:26
路过，看看

ken_jinyan1	2012-12-03 18:06
均与性调到5nm以下，如何？

copland	2012-12-17 20:06
调整均匀性挡板，上下，形状都会影响均匀性，理论计算就不会了

hjstar	2012-12-30 16:41
通过调节挡板和挂环 *@ \LS!N

陶月天	2013-01-10 10:31
通过补正板的适当调整，可以解决。具体要看曲线的形状，具体分析。

拉比熊	2013-01-13 22:56
通过调节挡板和挂环

jingjing520	2013-01-22 09:52
调节补偿挡板

zmduan

2013-02-04 21:08

1,先镀一锅无修正板的,测试片要记好顺序,测出数据( 用一种膜料试)
2,再镀一锅有修正板的,修正板长方最好是长方形,测试片要记好顺序,测出数据,
(顺序出错很重要,不能出错),
3,根据1,2的数据,算出各个位的修正因子
4,再根据2的数据和各个位的修正因子,修改修正板,用改好的板再镀,测出数据
5,看数据的一致性好不好,好了就OK,不好,再根据4的数据和各个位的修正因子,修改修正板,用改好的板再镀,测出数据,
6,重复直到OK

zmduan	2013-02-04 21:14
这是一个朋友教我的, =]@Bc 7@ 不清楚的加我QQ:398616130

zmduan	2013-02-04 21:30
找到修正板和对应位的方法: ]yOM 1,拉线法,坩埚中心到对应位中心拉线,对应的修正板位置就是对应位遮挡线,用此法找出每一个位在修正板遮挡线的位置,对应位置的宽度就是计算的依据 >\JPX 2,光线法,坩埚中心放一个小灯泡,对应位中心被修正板遮挡的位置就是对应位遮挡线,找出每一个位

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