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e501559 2011-11-01 11:21

镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？

求解：镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ 怎么理解它们之间的关系?
yzhuang 2011-11-08 12:23
一般是通过控制功率来控制速率，而膜厚是速率乘以时间的累积，tooling是校正厚度而设的一个材料参数。具体为toolingX显示厚度＝实测厚度
xingmeng1227 2011-11-09 18:13
shoujiaole
cxb007007 2011-11-12 09:58
在一定条件下 功率大 速率高  相对折射率偏高  膜厚减少  
xingmeng1227 2011-11-26 20:15
zhemejiandan?
老城1234 2012-08-15 22:14
呵呵                这个也问啊
a060103112 2013-02-27 12:46
其实吧，这些问题你自己好好想想应该是能明白的
scenery 2013-08-03 08:54
新手，好好学习中
rexchou 2016-04-21 17:31
鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) Cv$TNkP*  
vW)GUAF[  
功率=電子槍功率 )cs y^-qw  
,}FYY66K  
膜厚:薄膜厚度(nm) S-f3rL[?  
<U,T*Ql1x  
Tooling=誤差值=實際/理想 q9WSQ$:z8  
X?7$JV-:  
"F[VqqD  
                                                                                                  來自台灣則米的SiO2王
jakzhou 2016-06-02 15:41
鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) *.nqQhW  
3?5 ~KxOE(  
功率=電子槍功率 Ha+FH8rZ  
Ugdm"  
膜厚:薄膜厚度(nm) b0t];Gc%b  
< m9O0  
Tooling=誤差值=實際/理想 IG9Q~7@  
长江 2016-07-28 21:02
有点差忠臣
轩zjw哥 2023-09-23 23:00
谢谢楼主!!!
gaofei555 2024-07-26 11:40
学习到了
renlgj 2024-07-27 15:16
学习了，各位大神
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