| morningtech |
2020-06-25 10:51 |
仿照 晶控仪 tooling的含义，以监测片为分母，光控的tooling可以认为 w9.r`_-
光控tooling = 产品膜厚/光控片膜厚 * 100% wW !*"z
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注意，某些软件从设计膜系乘以"一定系数"变为光控片上的厚度 。前面定义的"光控tooling"与这里的"一定系数"，其含义是不一样的，刚好是反的。 "%>/rh2Iq
有用到膜林间接监控的要注意。 /l:3* u
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