| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 .0u@PcE:O
一、真空腔室内部及各部件的清理 ,7w[r<7
1.腔室内部防护板 ^,N=GZRWW
周期：每月清理一次 Zdll}nO"E
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 u|D|pRM-LT
2.离子源清洗 -jQM h
周期：50~100小时 :PF6xL&
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） s^ R i g[
B.各个零件进行喷砂，其中： t7qY!S (
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Jde@T h
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 A1V^Gi@i
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 M*lCoJ
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 MWron_xg
3.真空计清理 zY &/^^y
周期：六个月清理一次
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拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 1o%E(*M4I
4.冷泵再生 a\?-uJ+
周期：一个月 byetbt(IF
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二、各计量部件校准 t*{BN>B
1、真空计 N@r`+(_t
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 68-2E Wq
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） y?@(%PTp
A.光源性能检查 P\2UIAPa\b
周期：50小时一次 ;<)<4N"
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 EHqcQx`K_
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 s2ixiv=
B.光学监控系统的稳定性 Cqc5jx 0 )
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 - TU^*
检查条件： f15f)P
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 z*B-`i.
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 K \_JG $(9
③测定波长：550nm #Qn l,lf
C.波长精确度及再现性 ^L"EN sOs
周期：2年一次 yV/A%y-P
合格标准 5x/LHsr=m
波长精确度 ±1.0 nm 1&Ruz[F5
波长再现度 ±0.25 nm
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