| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 !`W0 ;0'Zg
一、真空腔室内部及各部件的清理 [yc7F0Aw
1.腔室内部防护板 ]vV)$xMX
周期：每月清理一次 (KPD`l8.
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 GZuWA a
2.离子源清洗 Vvfd?G"
周期：50~100小时 #IDLfQ5g
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） gg#lI|
B.各个零件进行喷砂，其中： tef>Py
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 B:cQsaty
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 n`jG[{3t&
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 %z.d;[Hs
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 P)Oe?z;G?
3.真空计清理 ]HXHz(?;F
周期：六个月清理一次 !HhF*Rlr
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 \PG_i' R
4.冷泵再生 cBOt=vg,5
周期：一个月 Be^"sC
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二、各计量部件校准 =Uo* -EH
1、真空计 Fo~q35uB
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 d6??OO=~>M
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ^Q+z^zlC
A.光源性能检查 O@ dK^o
周期：50小时一次 iO18FfM_
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 /t2H%#v{
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 _)YB*z5
B.光学监控系统的稳定性 '
eWG v
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 j+gh*\:q
检查条件： q @ wX=
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 <QaUq ` ,
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 7:JGr O
③测定波长：550nm 7;r3Bxa
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C.波长精确度及再现性 5'w&M{ { 9
周期：2年一次 yOP$~L#TWs
合格标准 y~M 6
波长精确度 ±1.0 nm Y 9st3
波长再现度 ±0.25 nm
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