| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 tF=96u_X
一、真空腔室内部及各部件的清理 q`qbaX\J3
1.腔室内部防护板 "S6d ^
周期：每月清理一次 n!f @JHL
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 9v/1> rziE
2.离子源清洗 v/CXX<^U(
周期：50~100小时 jg 2>=}
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） '{ C=vW
B.各个零件进行喷砂，其中： R|5w :+=z
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 )2:d8J\
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 SVeL c
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 _%.atW7
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 hGzj}t
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3.真空计清理 E?%rmdyhL!
周期：六个月清理一次 ?HU(0Vgn'
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 M`S >Q2{
4.冷泵再生 QCMt4`% 'u
周期：一个月 W${0#qq
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二、各计量部件校准 esFBWJ
1、真空计 ]BX|G`CCc
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 gX]?`u
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） X(N!y"z
A.光源性能检查 k`xPf\^tf
周期：50小时一次 &(irr i_
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Lw2 EA 5
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 = q;ACW,z
B.光学监控系统的稳定性 td{$ c6
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 v-g2k_ o|
检查条件： 2gukK8R$
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 EtKy?]i
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 | [P!9e
③测定波长：550nm l2z@ t3{
C.波长精确度及再现性 }z j_Pp
周期：2年一次 "){ "{~
合格标准 arRb q!mO
波长精确度 ±1.0 nm l g~Gkd 6
波长再现度 ±0.25 nm
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