| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 d`V.i6u
一、真空腔室内部及各部件的清理 HP*{1Q@5
1.腔室内部防护板 xPm{'J+b~
周期：每月清理一次 +UOVD:G
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 4=^Ha%l
2.离子源清洗
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周期：50~100小时 M _ _S)
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ehB '@_y
B.各个零件进行喷砂，其中： 4KxuSI^q
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 y,rdyt
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 0OG
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D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 <f:(nG j
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 3
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3.真空计清理 ,< P"\W
周期：六个月清理一次 2Jiy`(P
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 <tZtt9j_
4.冷泵再生 I&i6-xp
周期：一个月 'W9[ Vm
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二、各计量部件校准 o@PvA1
1、真空计 aUa+]H[
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 JT<JS6vw#
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ~eP~c"L
A.光源性能检查 0 5?`W&:9
周期：50小时一次 k
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ,ko#z}Z4r,
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 8MDivr/@
B.光学监控系统的稳定性 D,p 2MBr
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 C %<Dq0j
检查条件： {I0!q"sF
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 jT0iJ?d,!
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 =ePwGm1:c
③测定波长：550nm Q:
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C.波长精确度及再现性 \>"Zn7
周期：2年一次 ,H?e23G
合格标准 9-{.W Z
波长精确度 ±1.0 nm 4@F8-V3q4
波长再现度 ±0.25 nm
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