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shizi19 2011-03-29 09:41

光学镀膜机维护计划

光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 d`V.i6u  
一、真空腔室内部及各部件的清理 HP*{1Q@5  
1.腔室内部防护板 xPm{'J+b~  
周期:每月清理一次 +UOVD:G  
先对防护板进行更换,将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干,放入储物柜以备下次更换。 4=^Ha%l  
2.离子源清洗  1hi  
周期:50~100小时 M __S)  
A.离子源拆装(可参照光学镀膜机说明书) ehB '@_y  
B.各个零件进行喷砂,其中: 4KxuSI^q  
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa,砂子为粒度#100的Al粒子,操作距离30cm以上 y,rdyt  
C超声清洗,丙酮、酒精各一次 0OG 3#pE  
D.N2吹干,压力在0.05-0.1MPa之间 <f:(nGj  
E.烘箱烘烤,60-80℃,40-60分钟 3 []ltN_  
3.真空计清理 ,<P"\W  
周期:六个月清理一次 2Jiy`(P  
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 <tZtt9j_  
4.冷泵再生 I&i6-xp  
周期:一个月 'W9[Vm  
4w9=z,  
二、各计量部件校准 o@PvA1  
1、真空计 aUa+]H[  
清理后第一次使用先稳定20min,然后调整白点电压至8.6 JT<JS6vw#  
2、光学监控系统(具体检测方法参见光学镀膜机说明书) ~eP~c"L  
A.光源性能检查 0 5?`W&:9  
周期:50小时一次 k t!@}QP  
合格标准: 1) 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ,ko#z}Z4r,  
          2)在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500mV、1V 条件下,高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。   8MDivr/@  
B.光学监控系统的稳定性 D,p 2MBr  
合格标准:用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时,光量信号的相对变化量在0.5%以内。   C%<Dq0j  
检查条件: {I0!q"sF  
①腔室内温度稳定:Dome加热器关闭超过10小时以上。 jT0iJ?d,!  
②监控玻璃温度稳定:监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 =ePwGm1:c  
③测定波长:550nm Q: -&  
C.波长精确度及再现性  \>"Zn7  
周期:2年一次 ,H?e23G  
合格标准 9-{.WZ  
波长精确度 ±1.0 nm 4@F8-V3q4  
波长再现度 ±0.25 nm
zfl813 2011-08-30 22:44
谢谢分享!学习!
漂泊男人 2011-09-06 20:25
谢谢分享!学习!
jiangfq 2011-09-16 09:07
学习学习。。
12511895 2011-11-05 22:11
谢谢楼主 \cX9!lHl  
分享
骑驴看本1024 2012-01-09 15:27
这个东西拿出来分享,楼主好人啊 .& bc3cW  
骑驴看本1024 2012-01-09 16:18
整理了一下,由衷的感谢楼主啊
clchenxue 2012-03-13 21:36
谢谢楼主!!
chenhui8080 2012-03-13 22:05
谢谢分享
漂亮的树 2012-07-13 10:23
谢谢楼主的慷慨呀
sskcj88 2012-07-13 11:50
楼主辛苦了,学习
稻花香香 2012-07-18 06:13
谢谢您对俄分享
ff13326 2014-10-02 09:36
谢谢分享
luffy17520 2014-10-08 12:39
这个还是比较到位的。。赞一个
wugujianwgj 2014-10-17 14:51
zan yi xia
pyykun 2018-02-27 14:32
学习了!@!
gemanging 2018-03-29 16:00
谢谢楼主分享
eykid 2020-05-08 10:43
谢谢分享!学习!
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