| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 8 3/WWL } 一、真空腔室内部及各部件的清理 2<!IYEyT 1.腔室内部防护板 'wYIJK~1
周期:每月清理一次 N.q*jY=X| 先对防护板进行更换,将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干,放入储物柜以备下次更换。 !&b|
[b 2.离子源清洗 o
o'7 周期:50~100小时 ZI1]B944ni A.离子源拆装(可参照光学镀膜机说明书) 'ZI8nMY B.各个零件进行喷砂,其中: }ssja,; 栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa,砂子为粒度#100的Al粒子,操作距离30cm以上 Ua:@,}; C超声清洗,丙酮、酒精各一次 >`WfY(Lq D.N2吹干,压力在0.05-0.1MPa之间 <'UGYY\wg0 E.烘箱烘烤,60-80℃,40-60分钟 5rbb
,* 3.真空计清理 -n[(0n3c 周期:六个月清理一次 :] U\{;q2 拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 q1eMK'1 4.冷泵再生 &)+H''JY 周期:一个月 [mjie1j/< H
I_uR$m 二、各计量部件校准 !Tv3WQ@ 1、真空计 Mh~}RA"H 清理后第一次使用先稳定20min,然后调整白点电压至8.6 1,;zX^ 2、光学监控系统(具体检测方法参见光学镀膜机说明书) qF`6l( A.光源性能检查 Mth:V45G| 周期:50小时一次 %aw.o*@: 合格标准: 1) 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 kD;pj3o&"2 2)在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500mV、1V 条件下,高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \B84 B.光学监控系统的稳定性 z#o'' 合格标准:用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时,光量信号的相对变化量在0.5%以内。 m#8[")a$" 检查条件: X|Y(* $?D7 ①腔室内温度稳定:Dome加热器关闭超过10小时以上。 DZC@^k \E ②监控玻璃温度稳定:监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ,I5SAd|dX ③测定波长:550nm s^eiym P C.波长精确度及再现性 njX$?V
周期:2年一次 T#3@r0M 合格标准 7g"u)L&32 波长精确度 ±1.0 nm =s4(Y 波长再现度 ±0.25 nm
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