| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 8 3/WWL }
一、真空腔室内部及各部件的清理 2<!IYEyT
1.腔室内部防护板 'wYIJK~1
周期：每月清理一次 N.q*jY= X|
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 !&b|
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2.离子源清洗 o
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周期：50~100小时 ZI1]B944ni
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ' ZI8n MY
B.各个零件进行喷砂，其中： }ssja,;
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Ua:@,};
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 >`WfY(Lq
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 <'UGYY\wg0
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 5rbb
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3.真空计清理 -n[(0n3c
周期：六个月清理一次 :] U\{;q2
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 q1eMK'1
4.冷泵再生 &)+H''JY
周期：一个月 [mjie1j/<
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二、各计量部件校准 !Tv3WQ@
1、真空计 Mh~}RA"H
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 1,;zX^
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） qF `6l(
A.光源性能检查 Mth:V45G|
周期：50小时一次 %aw.o*@:
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 kD;pj3o&"2
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \ B84
B.光学监控系统的稳定性 z# o''
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 m#8[")a$"
检查条件： X|Y(* $?D7
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 DZC@^k \E
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ,I5SAd|dX
③测定波长：550nm s^eiym P
C.波长精确度及再现性 njX$?V
周期：2年一次 T#3@ r0M
合格标准 7g"u)L&32
波长精确度 ±1.0 nm =s4(Y
波长再现度 ±0.25 nm
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