| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Q}ZBr^*]1e
一、真空腔室内部及各部件的清理 Z0z)
1.腔室内部防护板 P ]_ Vz
周期：每月清理一次 2q$X>ImI$
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 % $\}z( G
2.离子源清洗 ?xf~!D
周期：50~100小时 X
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书）
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B.各个零件进行喷砂，其中： `O jvt-5}E
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 I$F\ (]"@
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 R =QM;
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Cb<~i
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 6vZt43"m?\
3.真空计清理 _ q k 9o
周期：六个月清理一次 SaTEZ.
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 =1_j aDp
4.冷泵再生 ]#+5)[N$>
周期：一个月 r$Kh3EEF`E
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二、各计量部件校准 ^r%i3
1、真空计 'fX er!L}
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Vc{/o=1 u
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 8F.(]@NY
A.光源性能检查 *E$H;wKs8
周期：50小时一次 .Pqj6Ko9
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 UYl JO{|a
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 N n:m+ZDo^
B.光学监控系统的稳定性 C[^a/ P`i
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 I(F1S,7
检查条件： 69 [w/\
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 o (vZ*^\
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 if\k[O 1T6
③测定波长：550nm Pau&4h0
C.波长精确度及再现性 c M|af#o
周期：2年一次 Uia)5z z8
合格标准 `,<>){c|
波长精确度 ±1.0 nm 7ZrJ#n8?ih
波长再现度 ±0.25 nm
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