| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 rd[mC[
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一、真空腔室内部及各部件的清理 IEJ)Q$GI#
1.腔室内部防护板 @$$ J}~{
周期：每月清理一次 (R RRG;*n#
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 r8czDc),b
2.离子源清洗 \RFA?PuY
周期：50~100小时 Dsv2p~
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） QAZs1;lU
B.各个零件进行喷砂，其中： HAs/f#zAk6
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Tgi7RAY
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 - JFW ,8=8
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 7M?Sndp$
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 p#r qe<Ua
3.真空计清理 QAY:H@Gt:
周期：六个月清理一次 ]<q!pE;t
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 B/3xV:Gy
4.冷泵再生 JEZ0O&_R
周期：一个月 T`<Tj?:^&
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二、各计量部件校准 M D,BGO?C
1、真空计 G#uB%:)&0u
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 uLI ;_, /:
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ozHL'H
A.光源性能检查 %6M%PR~u
周期：50小时一次 c@4$)68
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 )QnsRW{D"
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 XZ(<Mo \v
B.光学监控系统的稳定性 z d F;!
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 YuzVh9jTI
检查条件： Hf30ve}
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 |^ F$Ta
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ?\X9 Ei
③测定波长：550nm PBiA/dG[;
C.波长精确度及再现性 W}(T5D" 3x
周期：2年一次 9]/:B8k
合格标准 j``Ku@/x0
波长精确度 ±1.0 nm rO/Sj <0^
波长再现度 ±0.25 nm
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