| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 M_2>b:#A*
一、真空腔室内部及各部件的清理 >+Iph2]
1.腔室内部防护板 k%kEW%I yG
周期：每月清理一次 ]+B.=mO_
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 E'( nJ
2.离子源清洗 ;Bzx}7A
周期：50~100小时 tLq]#9kL
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） FH$q,BI!R
B.各个零件进行喷砂，其中： uwZ,l-6T
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 I;eoy,
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 /{R.
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 dG]B-(WTC
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 k*\)z \f
3.真空计清理 9&`";dg
周期：六个月清理一次 g; nLR<]
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 cs9h\]ZA
4.冷泵再生 .cw)Y#;IG
周期：一个月 1 ,Mm+_)B
2 k^rZ^^"
二、各计量部件校准 )|k#cT{=M
1、真空计 ~w|h;*Bj
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 ,9_O4O%
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） DG0I- "s
A.光源性能检查 :l1 -s]
周期：50小时一次 b0 9xf"D
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 lz36;Fp
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ZZTf/s*
B.光学监控系统的稳定性 llWY7u"
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 g7*U uh#
检查条件： -38"S;M8
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ;Oqf{em];
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 'd&d"E [
③测定波长：550nm ZX1 / 6|_
C.波长精确度及再现性 .s!0S-RkC
周期：2年一次 Ak kF6d+
合格标准 X"r.*fb;N
波长精确度 ±1.0 nm WWZ<[[ >
波长再现度 ±0.25 nm
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