用于制作FBG光纤光栅的全息相位掩模板
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 >r:z`^p [attachment=32332] vKbGG X|TGM Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: !9zs>T&9a\ 一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 M1DV 9~S 二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 _}H`(d%N 三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 p)7U%NMc(* [attachment=32333] a$11u.\q+ '}Jq(ah( Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: 0ZAtBq.s 工作波长 190 - 800 nm wuqB['3 pm周期 0.4 - 1.2 μm ~:="o/wo 模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) %[?{H} y 周期测量精度 ± 0.02 nm *q1sM#;5 基底/窗口尺寸 可根据要求定制,窗口尺寸最长可做到120mm zW95qxXg 啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm Xs4G#QsAJ 啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) nzi)4"3O 损伤阈值 优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) AdF[>Wv 衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % yle~hL 0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) |msQ AR coating 可选 6:bvq?5a5 楔形角 < 30 arcsec !E/%Hv1 衬底材料 康宁7980, 熔融透明石英 iaaD1<m 厚度 3.175 mm ± 0.125 mm V+y:!t` @rW%*?$7
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