用于制作FBG光纤光栅的Lasiris全息相位掩模板
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 ()Kaxcs?+ [attachment=31070] \1joW# -O?HfQ Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: 'A.5T%n- 一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 Cy uRj[;B 二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 '}(>s%~ 三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 R|(X_A [attachment=31071] %V]v, [attachment=31072] OYt_i'Q fXWE4^jU Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: 3Fn}nek 工作波长 190 - 800 nm {
"Cu)AFy pm周期 0.4 - 1.2 μm EG qu-WBS 模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) FWW@t1) 周期测量精度 ± 0.02 nm Uv>e :U7 ; 基底/窗口尺寸 可根据要求定制 us?q^>u 啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm Zl&ED{k< 啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) zn^7#$fC 损伤阈值 优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) )@I] Rk? 衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % W`vPf 0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) ?+7~E8 AR coating 可选 v5\ALWy+p 楔形角 < 30 arcsec eL"'-d+] 衬底材料 康宁7980, 熔融透明石英 mMXDzAllB 厚度 3.175 mm ± 0.125 mm Gr&e]M[ l 3bezYk >SvS(N{ !y~nsy:&7x
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