用于制作FBG光纤光栅的Lasiris全息相位掩模板
相位掩模板（PM：Phase Mask）其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅，可以通过对入射光的位相调制，衰减或消除零级衍射，并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是，用UV光照射相位掩模板，然后利用衍射光束之间的干涉，在掩模板后面形成周期的光强分布，从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 tI!R5q;k
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Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司，1999年被实力雄厚的StockerYale收购，并得到了更大的发展。其特点包括： .2(@jx,[
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式，减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 `aX}.{.!
二是基底材料采用熔融石英，损伤阈值比较高（一般情况下都要比照射的激光光强要大。 # :ED 0</
三是长PM可以做的较长，最长可达120mm。 =DF@kR[CH"
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Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下： d=+Lv<
工作波长 190 - 800 nm rY_C3;B
pm周期 0.4 - 1.2 μm k>z-Zg
模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) 2Z I pzH/8
周期测量精度 ± 0.02 nm um0}`Xq ^
基底/窗口尺寸 可根据要求定制 Med"dHo7
啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm h}B# 'e
啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm（随啁啾改变） HU'`kimWb
损伤阈值 优于1 j/cm^2（248nm，50hz脉冲光的光强） B,VSFpPx
衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % gU 2c--`
0级衍射<=1.0 % ，±1级衍射>=35 %（可选） 7q{v9xKy
AR coating 可选 ! ,(bXa\^
楔形角 < 30 arcsec x_H7=\pX]
衬底材料 康宁7980， 熔融透明石英 Bdk{.oh6
厚度 3.175 mm ± 0.125 mm TeN1\rA,
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