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2010-11-19 15:53 |
供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 zY\u"
'4 [attachment=30108] bWA_a]G @2"3RmYLo Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: %EU_OS(u.{ 一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 ouCh2Y/_ 二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 ^rfR<Q` 三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 ~:JAWs$\V [attachment=30109] !LH;K TI3xt-/ Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: M%_*vD 工作波长 190 - 800 nm 0 8L;u7u pm周期 0.4 - 1.2 μm I?D=Q$s 模板周期精度 ±0.3 nm (±0.1 nm可选) 5b rM.. 周期测量精度 ± 0.02 nm `>\
~y1 基底/窗口尺寸 可根据要求定制 "&SE!3*m`I 啁啾范围(啁啾) 0.03 nm/cm - 40 nm/cm PV,Z@qm@^ 啁啾精度 0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) |I1,9ex 损伤阈值 优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) KOe]JDU 衍射效率 0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % |[n\'Xy;{ 0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) I7Kgi3 AR coating 可选 g"n>v
c7 楔形角 < 30 arcsec 5P<"I[" 衬底材料 康宁7980, 熔融透明石英 @VP/kut 厚度 3.175 mm ± 0.125 mm je$H}D pHR`%2!"t 北京路科锐威科技有限公司,欢迎来电垂询!我们将竭诚为您服务! X$==J St 网址:www.tricombj.com yI8O# 联系人:孙小姐 联系电话:010-58858423-114 6?}|@y^fb Email:maggie.sun@tricombj.com
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