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sbisna 2010-10-20 18:41

上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品

高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 d6Q :{!Sd"  
wnZ*k(  
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, kOlI?wc  
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其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 XQ+-+CD  
*;ZW=%M  
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 ||"":K  
8O;rp(N.n  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 _z_3%N  
*n$m;yI  
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. S|=rF<]my  
Sf.8Ibw  
1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) 7!` C TE  
2.折射率n 2=Vkjh-  
3.吸收系数k o+6^|RP  
4.双折射率 s1*WK&@  
5.能隙(Eg) x"h)"Y[c5  
6.表面粗糙度和损伤 *6\`A!C  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) "8C(_z+]K`  
8.薄膜温度特性 6{F S /+  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 iA{chQBr  
2kmna/Qa6  
应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 [K|>s(Sf*  
M%Kx{*aw&  
 +lf@O&w  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: NiJ?no  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 KzFs#rhpn  
邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com Y;I(6`,Y  
网址:http://www.emdeccn.com j{Qbzczy,  
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