| sbisna |
2010-10-20 18:41 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 PLc5 m5
j"69uj` R
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， \{lv ~I
eNAxVF0
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 V<0iYi;4=
+)j ll#}?
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 d- UeItyW*
k*hl"oL"X
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 @9gZH_ur>E
s.}K?)mH
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 2Kz+COP+
L EgP-s W
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） +&`W\?.~
2.折射率n !rM ~
3.吸收系数k `R[ZY!=+
4.双折射率 ,JV 0ib,
5.能隙（Eg） @%R<3!3v
6.表面粗糙度和损伤 }6c>BU}DF
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） ssi 7)0
8.薄膜温度特性 LSJ?;Zg(=z
9.晶元曲率和薄膜耐压性 G:=hg6 '
`@h|+`h
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 /9w>:i81
7C{ y NX#
fSuykbZ
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： %SM;B-/zHt
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 d,"LZ>hNY*
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com .w9LJ
网址：http://www.emdeccn.com y LX $SR
|
|