| sbisna |
2010-10-20 18:41 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 MzEeDN
(g" {A
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， pbCj
^
~7p!t%;$
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 {F! /\ 2a
ak,KHA6u
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 4^ r4 O#
( p (/
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 mM9a T0_w
vYFtw L`
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 9sP;s^#t7U
yv[3 &E?
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） uzoI*aqk-s
2.折射率n zA %YaekJ
3.吸收系数k C n"_x
4.双折射率 P"(VRc6x
5.能隙（Eg） WC T mf8f
6.表面粗糙度和损伤 "Jahc.I
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） ]?<
wUd
8.薄膜温度特性 BGd# \2
9.晶元曲率和薄膜耐压性 SND@#?hiO
+3yG8
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 nx Wm
kzE<Y
reQr=OAez
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： QdIx@[+WOq
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 >jU25"XI[
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com bO i -QD
网址：http://www.emdeccn.com ) $`}~
|
|