| sbisna |
2010-07-20 10:13 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 7;RhA5M x*&
OvI/o 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, cZI )lX l{F^"_U 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Qg;A (\z 4of3#M 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 qOYCQ l[lUmE 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 ,g2|8>sJP X{zg-k(@ 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. ^_ <jg0V <6^MVaD 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) j_S/// 2.折射率n d!kiWmw, 3.吸收系数k Ci6yH( RE 4.双折射率 S6CM/ 5.能隙(Eg) YY-{&+, 6.表面粗糙度和损伤 Jv1igA21_h 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) ''Fy]CwH( 8.薄膜温度特性 g*C&Pr3 9.晶元曲率和薄膜耐压性 WF\
hXO +;~JHx.~X 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。
S!Ue+jW sW!pMkd_ 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: \hN\px 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 {o"X8 邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com _"n1"%Ns 网址:http://www.emdeccn.com
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