| sbisna |
2010-07-20 10:13 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 O(T5
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， bF"l0
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 5R P kAC
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 \R#SoOd
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 )) "gWO
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. IO \4dU)
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） J usU5 e|
2.折射率n m@Z#
3.吸收系数k c7e,lgG-
4.双折射率 S I}s
5.能隙（Eg） %O"8|ZG9{
6.表面粗糙度和损伤 2e`}O
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 'R 7 \
8.薄膜温度特性 9kL,69d2
9.晶元曲率和薄膜耐压性 C96/
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 _ \D %
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： n4K! Wv&u
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