| sbisna |
2010-06-21 10:53 |
供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 lB
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， Oh,]"(+
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 &&
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 1;~| [C
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 e. R9:
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. di3 7
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） "-Wb[ *U;
2.折射率n wotw nE
3.吸收系数k 4-oaq'//BT
4.双折射率 ">vi= Tr
5.能隙（Eg） /z: mi
6.表面粗糙度和损伤 Dv ~jVI Xu
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） JgBC:t^\pV
8.薄膜温度特性 s13 3N?
9.晶元曲率和薄膜耐压性 l\ Vr D2j8
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 _Sl3 )
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： x7/";L>
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 Cl!9/l?z
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com a`>H69(bU
网址：http://www.emdeccn.com
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