| sbisna |
2009-07-29 11:39 |
上海EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
SCI美国科学计算国际公司 uK" T~
薄膜测量 软件产品 及 仪器产品 &!X<F,
网址:www.sci-soft.com U? Jk
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具. :K O&j"[
A) 薄膜测量/测试 软件 #wIWh^^ Zy
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一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) Pq [_(Nt
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏 v3 Vve:}+
二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件) tJ;qZyy(
三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包) i;^lh]u
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包 K^fs #7
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B) 薄膜测量 仪器 >va_,Y}
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SCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~ ! lNyoX/
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Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\ 5/'Q0]4h
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b 2(DhKHrF
Standard Spectral Range标准光谱范围F .?6p ~
Reflection反射测量, xS1n,gTA
Transmission透射测量5wIBS\ &B(z**+9
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY NRtH?&7
Power Spectral Density功率谱密度测量a I+ kAy;2
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y $f3 IO#N
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p] 3XQa%|N(
Index of Refraction折射系数测量~c=]o% ulsU~WW7r
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F 8S8qj"s
Energy band gap能量带隙测量U4r[n e1W9"&4>G{
Composition成分测量c*'nh) _rYW|*cIF
Crystallinity晶状测量DTE; o664b$5nsI
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF J;_4
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Surface Roughness表面粗糙度测量L" 4a Oz=/x2
etc. 等等 aNu.4c/ 5
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Typical applications典型应用:P ` qhT
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OLED有机发光二级管薄膜 ,A` | jF
Flat panel display平板显示器薄膜 95'+8*YCY
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜 9k;,WU(K<
Computer disks计算机磁盘薄膜 y-+W
Multilayer optical coatings多层光学涂层薄 hb; CpA
Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3 ]F+|C
Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜 5oG~ Fc
Laser mirrors激光镜薄膜Op)` L@H^?1*L?
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜 vcu@_N 1Dc
Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC I;'{X_9$a
etc. 等等 &'fER-
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