| sbisna |
2009-06-22 18:38 |
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 :'h$]p%
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， (KI 9j7
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 $Sc _E:`]
1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 %oBP6|e
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 .!q_jl%U
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 3a:Hx|
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1.多层厚度（1? 到 250 microns） ?HG[N7=j
2.折射率n hp f0fU
3.吸收系数k >H+t ZV
4.双折射率 QN*|_H@h
5.能隙（Eg） e5mu-
6.表面粗糙度和损伤 y\v#qFVOZ
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） R*GBxJaw
8.薄膜温度特性 5V 2ZAYV
9.晶元曲率和薄膜耐压性 9L$OSy|
技术参数 cB &_':F
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns _ l{~O
2. 重复性： ± 0°（△） b5MBzFw
3. 折射率精度： ± 2*10-5 97Dq;
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） GVhqNy
5. 入射角: 0°（70°可选） DN:|
s+Lz
6. 测试速度： 小于 15 s B}[CU='P*
7. 光斑直径： 小于 50 nm L#S W!
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 k"#gSCW$
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： &~2m@X(o
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 :E}y
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邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com < T>s;b
SCI 网址：http://www.sci-soft.com "{8j!+]4i
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