| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 h-<('w:A
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， +Z/ *=;
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ^0pd- n@pn
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 fp.,MIS
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 ">v76%>Z7
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. =Qsh3b&<P
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） Ra%RcUf~sh
2.折射率n pTprU)sa7
3.吸收系数k i`z1if6O
4.双折射率 % q V=PC
5.能隙（Eg） 2h I M!wQ
6.表面粗糙度和损伤 + Hc [5WL
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） )%- FnW
8.薄膜温度特性 /[q6"R!uMz
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Cf91#% :cN
技术参数 &;&i#ZO
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns lr=? &>MXj
2. 重复性： ± 0°（△） ,5mK_iUw3
3. 折射率精度： ± 2*10-5 Qo4]_,kR
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） WJ<nc+/v:
5. 入射角: 0°（70°可选） blpX _N
6. 测试速度： 小于 15 s P%8
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7. 光斑直径： 小于 50 nm fFMGpibkM
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 ONH!ms(kb
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： aqQ
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电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 B: \\aOEj
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com ~pO6C*"
SCI 网址：http://www.sci-soft.com ^ r-F@$:.
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