| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 AFhG{G' W
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， bg3j o1J
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ;51!a C
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 +5}T!r
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 ToXFMkwY
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. FCB/FtI0
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） I EsD =
2.折射率n =/'*(\C2
3.吸收系数k Y&Vbf>Hi+
4.双折射率 x 3co?
5.能隙（Eg） %>:)4A
6.表面粗糙度和损伤 2uR4~XjF
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） )xy{[ K|M(
8.薄膜温度特性 cz~1 1j#
9.晶元曲率和薄膜耐压性 wU3ica&[
技术参数 ~S{\wL53
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns .;v'oR1x5
2. 重复性： ± 0°（△） t:@A)i p
3. 折射率精度： ± 2*10-5 =xWW+w!r
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） <?@46d?C
5. 入射角: 0°（70°可选） p C.P
6. 测试速度： 小于 15 s 2<. /HH*f
7. 光斑直径： 小于 50 nm /@}# K P=
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 #K*q(ei,7h
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： tfIBsw.
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 QMpA~x_m
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com !Kqj&y5
SCI 网址：http://www.sci-soft.com j N{xpd
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