| sbisna |
2009-02-23 14:04 |
代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 vw` '9~
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， =IIE]<z
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 l_x>.' a
1) Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 #elaz8 5
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 87nsWBe
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. dRTpGz
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） b*a }~1
2.折射率n cH7D@p}
3.吸收系数k 98WJ"f_ #
4.双折射率 =k+i5:@]
5.能隙（Eg） ,0$b8lb;x/
6.表面粗糙度和损伤 UOI Z8Po
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） I q47^
8.薄膜温度特性 %;G!gJeE
9.晶元曲率和薄膜耐压性 y] ~X{v
技术参数 uMP&.Y(
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns S[uHPYhlA
2. 重复性： ± 0°（△） :: 8E?c
3. 折射率精度： ± 2*10-5 3K_!:[
4. 光谱范围: 380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） <lLk (fC
5. 入射角: 0°（70°可选） J15$P8J
6. 测试速度： 小于 15 s $E@ke:
7. 光斑直径： 小于 50 nm to 3i!b
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 PiIILX{DuH
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： 4>@-1nt}
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 Mq,_ DQ
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Iyv l6
SCI 网址：http://www.sci-soft.com fKT(.VN q5
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