請教"氣浮平台"設計知識

各為先進
請問是否有人對氣浮平台有了解呢
或是有相關氣浮平台的資料可供分享
小弟最近需要設計由線型馬達驅動的精密氣浮平台
不知有哪位先進可以指導一下重點
如何控制平均荷重與氣孔的設計呢?

感激不盡

THANKS

bonjovi0204	2006-02-13 21:19
好像都沒有人對氣浮平台這方面有涉略 KO5Q;H 如果有人知道有相關資料麻煩請告知我 "V9!srIC 謝謝

老郑	2006-02-14 15:19
气浮平台在国内用的人现在比较少，使用也挺麻烦的，精度高，但是不易控制

huhu	2006-02-26 19:05
到各大公司网站上去看看！！ ,$}Q#q NEWPORT，国内的光学仪器厂啥的。

qsys	2006-02-28 21:45
也想看看,不知道哪位能提供

sunrui	2006-04-15 10:20
看看篇文章对你是否有用呢？

raul98111	2006-04-25 19:09
我和你一样啊，大家有知道的麻烦告知啊，小弟这里是感激涕零了

sales888

2009-01-19 14:01

北京华卓精密科技有限公司是一家专业从事超精密加工系统，超精密定位系统设计、制造以及相关国外产品代理(明立精机隔振平台)的高科技公司。产品主要应用于半导体光刻机、光学、扫描、原子力显微镜、精密分析天平、硬度计、光谱仪、圆度仪、轮廓仪、粗糙度测量仪等精密数控机床仪器设备的隔振,解决高清晰显微镜拍照因震动带来的图象不清晰等难题，为广大院所提供高效准确稳定的测量生产条件. 精密隔振工作平台是由高精度面板、隔振阻尼和高灵敏自动提升平衡系统组成，它适用于精密光学测量、干涉计量、全息技术、生物工程、电生理学、光电子技术、光纤、以及光信息处理各方面的应用与研究。:全系列防震平台(隔振平台):主动型、桌面型、大负载型、精密型、经济型、实验室型;
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