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2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 ;P ju O 技术参数: S},Cz 1. X,Y,Z移动距离分别为: 4\|Q;@f X向: ±7.5mm U*yOe*> Y向: ±9 mm BGj!/E Z向: ±10 mm y5aPs z 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; T!9AEG X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 l/nBin&YGv 0.005 rX5"p!z 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 l"`VvW[ 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° 73'A Q")UJ [attachment=15109] =ca[*0^Z7 |1A0YjOD [attachment=15110] 4<PupJ a]5y
CBm [attachment=15111]
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