| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 ;5" r)F+P 技术参数: <LZvG IMl 1. X,Y,Z移动距离分别为: CL9p/PJ%e X向: ±7.5mm r]BB$^@@V Y向: ±9 mm $CL=M Z向: ±10 mm O%(:8nIgZ 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; JYm@Llf)$ X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 k@4]s_2 0.005 9N=Dls 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 JZu7Fb]L9 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° b%,5B [attachment=15109] =kZPd>&L .__X[Mzth3 [attachment=15110] c0!bn b ~O@V;y [attachment=15111]
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