| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
对五维光学调整架感兴趣的请与我联系(QQ 345139306)
五维光学调整架 Uz;z
技术参数： Y-0o>:SM
1. X,Y,Z移动距离分别为: H=_ Wio
X向: ±7.5mm 0Gq}x;8H&
Y向: ±9 mm $CgJ+ua\8
Z向: ±10 mm
$Ur-Q d
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; 0q@U>#
X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 Y(qyuS3h~*
0.005 pb \W7G
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 u?ALZxj?
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° 5Tl3k=o}
[attachment=15109] bv%A ;
# QWG5
[attachment=15110] p $qpC$F
P5qY |_
[attachment=15111]
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