| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 BabaKSm}LP 技术参数: 4o>y9 1. X,Y,Z移动距离分别为: -CPtYG[s X向: ±7.5mm NuZ2,<~9 Y向: ±9 mm W>3S%2d Z向: ±10 mm ch
i=]*9 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; Gxr\a2Z&r% X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 0`/G(ukO 0.005 X[tt'5 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 :a wt7lqv 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° =D<0&M9C [attachment=15109] A?R`~*Q5 *%xbn8 [attachment=15110] %=**cvVy o78u>O y [attachment=15111]
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