| engineer-1 |
2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 tf~B,? 技术参数: QE(.w
dHP 1. X,Y,Z移动距离分别为: ResU5Ce~ X向: ±7.5mm ux&"TkEp Y向: ±9 mm F$?Ab\#B Z向: ±10 mm vAUt~X" 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; E?XaU~cpc X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 %f1%9YH 0.005 I$xZV?d. 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 SraZxuPg> 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° Zok{ndO@|f [attachment=15109] J2W-l{`r< ^U_T<x8{ [attachment=15110] [b3!H{b# :]-oo*xP [attachment=15111]
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