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2008-11-05 23:02 |
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五维光学调整架 P%>?[9!Nt 技术参数: a W;aA'! 1. X,Y,Z移动距离分别为: tFh|V
pB X向: ±7.5mm Q< *8<Oo4g Y向: ±9 mm H~fdbR Z向: ±10 mm N}Vn;29 2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; < o I8-f X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 H{zPft 0.005 $k0H9_ 3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 Sp?NfJ\Ie 4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° (FVX57 [attachment=15109] cyF4iG'M,y La,QB3K/ [attachment=15110] JOfV]eCL "4 k-dj [attachment=15111]
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